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人工寶石及寶石優(yōu)化處理教育部職業(yè)教育寶玉石鑒定與加工專業(yè)教學資源庫GemsandJadeIdentificationandProcessingTeachingResourceLibrary化學氣相沉積法的原理化學氣相沉積法的原理原因:在氣相中發(fā)生氣相-氣相反應，然后生成粉末，該粉末出現(xiàn)在反應系統(tǒng)之外。從氣相析出固相的驅動力(drivingforce)是根據基體材料和氣相間的擴散層內存在的溫差和不同化學物質的濃度差，由化學平衡所決定的過飽和度?；瘜W氣相沉積法的原理過飽和度(β)定義為

β=(P)g/(P)式中，(pA)是氣體熱力學平衡求出A的分壓;(pA)是在AB固體化合物的析出溫度時的平衡蒸氣壓。化學氣相沉積法的原理CVD法析出的化合物形狀的決定因素:反應溫度、有助于反應的不同化學物質的過飽和度、在反應溫度時的成核速率等。為了得到優(yōu)質的薄膜，必須防止在氣相中由氣相-氣相反應生成均相核，即應首先設定在基片表面促進成核的條件?；瘜W氣相沉積

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