缺陷檢查培訓(xùn)演示

（優(yōu)選）缺陷檢查培訓(xùn)目前一頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)21xxCapabilities2目前二頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)3目前三頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)RunOverview4目前四頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)RunonewaferInspectionQueue5目前五頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)6目前六頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)7目前七頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)8目前八頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)9目前九頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)StoppingtheInspection10目前十頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)DefectOverviewWhymonitordefects?

Toimproveproductionyields,defectsneedtobemonitoredandstatisticallyanalyzedateachstageofwaferproduction.11目前十一頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)DefectSort1.False:Foundnothingafterreviewwithinspectiondata.2.Unkown:Defectswerefoundbutthereisnosuitabledefectcodetoassign.3.Fallonparticle:Particleonsurfaceofpatten.

4.Infilmparticle:Particlewascontainedinfilm,suchaspoly,HDP,metalandsoon.HDPPoly12目前十二頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)5.Scratch:Especiallyforscratchcausedbyrobot,othertoolpartsorman-made.Defectmap:Defectiamge:MicroMacro13目前十三頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)6.Discolor:Colordifference7.Masking：Shouldbeetchedbutstillremian(poly,SiN,spacer,metalandsoon).

Someconnectmorethantwolines,it’sbridge(killer).14目前十四頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)8.Ringlikedefect:SuchasdefectscausedbyARCsplash,usuallyrelatedtoPHOTO.PolyMetal9.Grapelikedefect:InducesbyPHOTOPU.15目前十五頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)10.Residue：Alwayshappenafterwetstationclean.11.Pattenabnormal:Roughness,Defocus,Pattenshiftandsoon.RoughnessDefocusPattenshiftPattenAbnormal16目前十六頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)12.Concave:COP（Crystalorientedpits）,OxideLoss，Pits.13.Peeling:Patternshiftormissing（Wplugisoneofpeeling,alwaysappearatwaferedge.）17目前十七頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)14.Blind:CTorViahavenotbeenopened.15.Pattendamage:MetaldamagePolybrokenispattendamagetoo,alwayshappenduringHighImp.18目前十八頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)16.WResidue:1).CausedbyOxideLoss;2).CausedbyCMP.NORMALABNORMAL17.Under_Pat：Underlayerpatternfailissue.19目前十九頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)18.Salicide_abnormal:Salicidepoorformation.19.Grain:Includingpolyormetalgrain.20目前二十頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)20.Slurry:

21.PR/Polymer_remain:PRhasnotbeenstrippedcompletely,typicallycontainsCarbon21目前二十一頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)22.Arcing:23.Lineopen:22目前二十二頁(yè)\總數(shù)二十三頁(yè)\編于十二點(diǎn)24.Corrosion:Causedbyetch