特種加工培訓(xùn)資料課件

特種加工培訓(xùn)資料內(nèi)容特種加工技術(shù)概述電火花加工電解加工高能束加工

非傳統(tǒng)加工又稱(chēng)特種加工，通常被理解為別于傳統(tǒng)切削與磨削加工方法的總稱(chēng)。非傳統(tǒng)加工方法產(chǎn)生于二次大戰(zhàn)后。兩方面問(wèn)題傳統(tǒng)機(jī)械加工方法難于解決：

1）難加工材料的加工問(wèn)題。宇航工業(yè)等對(duì)材料高強(qiáng)度、高硬度、高韌性、耐高溫、耐高壓、耐低溫等的要求，使新材料不斷涌現(xiàn)。

2）復(fù)雜形面、薄壁、小孔、窄縫等特殊加工問(wèn)題。非傳統(tǒng)加工方法將電、磁、聲、光等物理量及化學(xué)能量或其組合直接施加在工件被加工的部位上，從而使材料被去除、累加、變形或改變性能等。特種加工技術(shù)概述主要不是依靠機(jī)械能，而是用其它能量（如電能、光能、聲能、熱能、化學(xué)能等）去除材料。工具不受顯著切削力的作用，對(duì)工具和工件的強(qiáng)度、硬度和剛度均沒(méi)有嚴(yán)格要求。一般不會(huì)產(chǎn)生加工硬化現(xiàn)象。加工變形小，發(fā)熱少(或僅局限于工件表層加工部位很小區(qū)域內(nèi))，工件熱變形小，加工應(yīng)力小，易于獲得好的加工質(zhì)量。加工中能量易于轉(zhuǎn)換和控制，有利于保證加工精度和提高加工效率。材料去除速度一般低于常規(guī)加工方法，這也是目前常規(guī)加工方法仍占主導(dǎo)地位的主要原因。特種加工方法特點(diǎn)

機(jī)械過(guò)程：利用機(jī)械力，使材料產(chǎn)生剪切、斷裂，以去除材料。如超聲波加工、水噴射加工、磨料流加工等。

熱學(xué)過(guò)程：通過(guò)電、光、化學(xué)能等產(chǎn)生瞬時(shí)高溫，熔化并去除材料，如電火花加工、高能束加工、熱力去毛刺等。

電化學(xué)過(guò)程：利用電能轉(zhuǎn)換為化學(xué)能對(duì)材料進(jìn)行加工，如電解加工、電鑄加工（金屬離子沉積）等。

化學(xué)過(guò)程：利用化學(xué)溶劑對(duì)材料的腐蝕、溶解，去除材料，如化學(xué)蝕刻、化學(xué)銑削等。特種加工分類(lèi)(加工機(jī)理和采用的能源分)

復(fù)合過(guò)程利用機(jī)械、熱、化學(xué)、電化學(xué)的復(fù)合作用，去除材料。常見(jiàn)的復(fù)合形式有：◎機(jī)械化學(xué)復(fù)合—如機(jī)械化學(xué)拋光、電解磨削、電鍍珩磨等。◎機(jī)械熱能復(fù)合—如加熱切削、低溫切削等?！驘崮芑瘜W(xué)能復(fù)合—如電解電火花加工等。◎其它復(fù)合過(guò)程—如超聲切削、超聲電解磨削、磁力拋光等。特種加工分類(lèi)

拓寬現(xiàn)有非傳統(tǒng)加工方法的應(yīng)用領(lǐng)域。探索新的加工方法，研究和開(kāi)發(fā)新的元器件。優(yōu)化工藝參數(shù)，完善現(xiàn)有的加工工藝。向微型化、精密化發(fā)展。

采用數(shù)控、自適應(yīng)控制、CAD/CAM、專(zhuān)家系統(tǒng)等技術(shù)，提高加工過(guò)程自動(dòng)化、柔性化程度。EI收錄文章數(shù)比較70年代80年代90年代20841104232142244424214441321252353316激光加工電火花加工超聲加工電化學(xué)加工特種加工技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)幾種代表性特種加工方法電火花加工的原理示意圖原理：利用工具電極與工件電極之間脈沖性火花放電，產(chǎn)生瞬時(shí)高溫，工件材料被熔化和氣化。同時(shí)，該處絕緣液體也被局部加熱，急速氣化，體積發(fā)生膨脹，隨之產(chǎn)生很高的壓力。在這種高壓作用下，已經(jīng)熔化、氣化的材料就從工件的表面迅速被除去

電火花加工進(jìn)給系統(tǒng)放電間隙工具電極工件電極直流脈沖電源工作液◆4個(gè)階段：介質(zhì)電離、擊穿，形成放電通道；火花放電產(chǎn)生熔化、氣化、熱膨脹；拋出蝕除物；間隙介質(zhì)消電離（恢復(fù)絕緣狀態(tài)）。

電火花加工電火花加工機(jī)床

電極材料——要求導(dǎo)電，損耗小，易加工；常用材料：紫銅、石墨、鑄鐵、鋼、黃銅等，石墨最常用。工作液——主要功能壓縮放電通道區(qū)域，提高放電能量密度，加速蝕物排出；常用工作液有煤油、機(jī)油、去離子水、乳化液等。放電間隙——合理的間隙是保證火花放電的必要條件。為保持適當(dāng)?shù)姆烹婇g隙，在加工過(guò)程中，需采用自動(dòng)調(diào)節(jié)器控制機(jī)床進(jìn)給系統(tǒng)，并帶動(dòng)工具電極緩慢向工件進(jìn)給。電火花加工工作要素脈沖寬度與間隔——影響加工速度、表面粗糙度、電極消耗和表面組織等。脈沖頻率高、持續(xù)時(shí)間短，則每個(gè)脈沖去除金屬量少，表面粗糙度值小，但加工速度低。通常放電持續(xù)時(shí)間在2μs至2ms范圍內(nèi)，各個(gè)脈沖的能量2mJ到20J（電流為400A時(shí)）之間。電火花加工工作要素電火花加工類(lèi)型電火花線切割原理圖XY儲(chǔ)絲筒導(dǎo)輪電極絲工件電火花成形加工：主要指孔加工，型腔加工等電火花線切割電火花線切割加工：用連續(xù)移動(dòng)的鉬絲（或銅絲）作工具陰極，工件為陽(yáng)極。機(jī)床工作臺(tái)帶動(dòng)工件在水平面內(nèi)作兩個(gè)方向移動(dòng)，可切割出二維圖形。同時(shí)，絲架可作小角度擺動(dòng)，可切割出斜面。電火花線切割加工過(guò)程顯示電火花線切割機(jī)床不受加工材料硬度限制，可加工任何硬、脆、韌、軟的導(dǎo)電材料。加工時(shí)無(wú)顯著切削力，發(fā)熱小，適于加工小孔、薄壁、窄槽、形面、型腔及曲線孔等，且加工質(zhì)量較好。脈沖參數(shù)調(diào)整方便，可一次裝夾完成粗、精加工。易于實(shí)現(xiàn)數(shù)控加工。電火花加工特點(diǎn)

電火花成形加工：電火花打孔常用于加工冷沖模、拉絲模、噴嘴、噴絲孔等。型腔加工包括鍛模、壓鑄模、擠壓模、塑料模等型腔加工，以及葉輪、葉片等曲面加工。電火花線切割：廣泛用于加工各種硬質(zhì)合金和淬硬鋼的沖模、樣板、各種形狀復(fù)雜的板類(lèi)零件、窄縫、柵網(wǎng)等。

電火花加工應(yīng)用工作原理：工件接陽(yáng)極，工具（銅或不銹鋼）接陰極，兩極間加直流電壓6～24V，極間保持0.1～1mm間隙。在間隙處通以6～60m/S高速流動(dòng)電解液，形成極間導(dǎo)電通路，工件表面材料不斷溶解，溶解物及時(shí)被電解液沖走。工具陰極不斷進(jìn)給，保持極間間隙。

電解加工電解加工原理圖電解液直流電源泵工件陽(yáng)極陰極進(jìn)給工具陰極電解加工特點(diǎn)不受材料硬度限制，能加工高硬度、高韌性的導(dǎo)電材料，能以簡(jiǎn)單進(jìn)給運(yùn)動(dòng)一次加工出形狀復(fù)雜的面和型腔。效率率高（比EDM高5-10倍）。采用振動(dòng)進(jìn)給和脈沖電流等新技術(shù)，可進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率和加工精度。陰極在加工中損耗小。加工表面質(zhì)量好，無(wú)毛刺、殘余應(yīng)力和變形層。設(shè)備投資大，有污染，需防護(hù)。電解加工應(yīng)用模具型腔、槍炮膛線、發(fā)電機(jī)葉片、花鍵孔、內(nèi)齒輪、小而深的孔，電解拋光、倒棱、去毛刺等。電解加工特點(diǎn)及應(yīng)用電解加工整體葉輪電解倒棱去毛刺機(jī)加工中去毛刺工作量很大，電解去毛刺效率高，節(jié)省費(fèi)用。原理是尖角處電流密度最高去毛刺時(shí)間與加工電壓、加工間隙及電解液參數(shù)有關(guān)

工件與磨輪保持一定接觸壓力，突出的磨料使磨輪導(dǎo)電基體與工件之間形成一定間隙。電解液從中流過(guò)時(shí)，工件產(chǎn)生陽(yáng)極溶解，表面生成一層氧化膜，其硬度遠(yuǎn)比金屬本身低，易被刮除，露出新金屬表面，繼續(xù)進(jìn)行電解。電解作用與磨削作用交替進(jìn)行，實(shí)現(xiàn)加工。電解磨削

電解磨削效率比機(jī)械磨削高，磨輪損耗遠(yuǎn)比機(jī)械磨削小，特別是磨削硬質(zhì)合金時(shí)效果更明顯。

電解磨削導(dǎo)電磨輪電解液電刷工作臺(tái)工件絕緣板導(dǎo)電基體磨料陽(yáng)極膜

把磁性磨料放工件與磁極間的入磁場(chǎng)中，磁性磨料在延磁力線方向有序排列成具有一定柔性的磁力刷。加工時(shí)工件旋轉(zhuǎn)，并作相對(duì)磁極軸向振動(dòng)；磁性磨料使工件表面上極薄的金屬層及毛邊去除，將表面逐步整平以達(dá)良好的研磨效果磁力拋光工件（陶瓷滾柱）磁性材料磁極振動(dòng)運(yùn)動(dòng)NS磁力拋光研磨前研磨后工件磁力線高能束加工激光加工激光器工件工作臺(tái)激光加工原理圖光闌反射鏡聚焦鏡電源

激光是一種受激輻射而得到的加強(qiáng)光。其基本特征：

◎強(qiáng)度高，亮度大

◎波長(zhǎng)頻率確定，單色性好

◎相干性好，相干長(zhǎng)度長(zhǎng)

◎方向性好，幾乎是一束平行光

激光加工工作原理當(dāng)激光束照射到工件表面時(shí)，光能被吸收，轉(zhuǎn)化成熱能，使照射斑點(diǎn)處溫度迅速升高、熔化、氣化而形成小坑，由于熱擴(kuò)散，使斑點(diǎn)周?chē)饘偃刍?，小坑?nèi)金屬蒸氣迅速膨脹，產(chǎn)生微型爆炸，將熔融物高速?lài)姵霾a(chǎn)生一個(gè)方向性很強(qiáng)的反沖擊波，于是在被加工表面上打出一個(gè)上大下小的孔。普通燈光與激光的比較

激光產(chǎn)生過(guò)程及特性自發(fā)吸收-電子透過(guò)吸收光子從低能階躍遷到高能階自發(fā)輻射-電子自發(fā)地透過(guò)釋放光子從高能階躍遷到較低能階受激輻射-光子射入物質(zhì)誘發(fā)電子從高能階躍遷到低能階，并釋放光子。

固體激光器YAG（釔、鋁和石榴石構(gòu)成）激光器,紅寶石激光器特點(diǎn):器件小、堅(jiān)固、使用方便、輸出功率大

氣體激光器CO2激光器,氦－氖激光器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、造價(jià)低；操作方便；工作介質(zhì)均勻，光束質(zhì)量好；能長(zhǎng)時(shí)間較穩(wěn)定地連續(xù)工作(市場(chǎng)達(dá)60％左右)激光器半導(dǎo)體激光器砷化鎵激光器體積小、質(zhì)量輕、壽命長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單而堅(jiān)固液體激光器染料激光器原理復(fù)雜,輸出波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)，且覆蓋面寬◎混合氣體：氦約80%，氮約15%，CO2約5%◎通過(guò)高壓直流放電進(jìn)行激勵(lì)◎波長(zhǎng)10.6μm，為不可見(jiàn)光◎能量效率5%～15%反射凹鏡反射平鏡電極放電管CO2氣體冷卻水進(jìn)口冷卻水出口激光高壓直流電源CO2氣體激光器

加工材料范圍廣，適用各種金屬/非金屬材料，高熔點(diǎn)材料，耐熱合金及陶瓷、金剛石等硬脆材料。加工性能好，工件可離開(kāi)加工機(jī)進(jìn)行加工，可透過(guò)透明材料加工，可在不易達(dá)到的狹小空間加工。非接觸加工方式，熱變形小，加工精度較高。可進(jìn)行微細(xì)加工。激光聚焦直徑理論上可至1μm以下，實(shí)際可實(shí)現(xiàn)φ0.01mm的小孔加工和窄縫切割。加工速度快，效率高。激光加工不僅可以進(jìn)行打孔和切割，也可進(jìn)行焊接、熱處理等工作?？煽匦院?，易于自動(dòng)控制。加工設(shè)備昂貴。激光加工特點(diǎn)◎廣泛應(yīng)用于金剛石拉絲模、鐘表寶石軸承、陶瓷、玻璃等非金屬材料，和硬質(zhì)合金、不銹鋼等金屬材料的小孔加工。

◎激光打孔具有高效率、低成本的特點(diǎn)，特別適合微小群孔加工。

◎焦點(diǎn)位置對(duì)孔的質(zhì)量影響：若焦點(diǎn)與加工表面之間距離很大，則激光能量密度顯著減小，不能進(jìn)行加工。如果焦點(diǎn)位置偏離加工表面1mm，可以進(jìn)行加工，此時(shí)加工出孔的斷面形狀隨焦點(diǎn)位置不同而發(fā)生變化激光打孔激光加工應(yīng)用焦點(diǎn)位置對(duì)孔形狀影響激光打孔示意圖

激光熱處理原理：照射到金屬表面上的激光使表面原子迅速蒸發(fā)，產(chǎn)生微沖擊波會(huì)導(dǎo)致大量晶格缺陷形成，達(dá)到硬化。優(yōu)點(diǎn)：快速、不需淬火介質(zhì)、硬化均勻、變形小、硬化深度可精確控制。

激光焊接與打孔相比，激光焊接所需能量密度較低，不需將材料氣化蝕除，只要將工件的加工區(qū)燒熔使其粘合在一起。優(yōu)點(diǎn)：無(wú)焊渣，不需去除工件氧化膜，可實(shí)現(xiàn)不同材料之間的焊接，特別適宜微型機(jī)械和精密焊接。

激光切割具有切縫窄、速度快、熱影響區(qū)小、省材料、成本低等優(yōu)點(diǎn)，并可以在任何方向上切割，包括內(nèi)尖角?？梢郧懈钿摪濉⒉讳P鋼、鈦、鉭、鎳等金屬材料，以及布匹、木材、紙張、塑料等非金屬材料。激光加工應(yīng)用激光加工的各種應(yīng)用激光加工的各種應(yīng)用鉆孔切削表面處理鉆微孔焊接打標(biāo)激光焊接車(chē)身激光切割激光加工應(yīng)用激光修復(fù)刀具激光打孔時(shí)孔實(shí)例在鋁上刻槽

在鉬上打直徑為100um的孔

在厚度為1.1mm的鋁上打直徑為200um的孔

激光加工實(shí)例在陶瓷上打直徑為25um的孔陣列

在硅片上打直徑為6um的孔陣列頭發(fā)直徑70um特征尺寸25um激光切割激光切割的不銹鋼齒輪激光切割木工藝品激光切割有機(jī)玻璃電腦機(jī)箱面板

激光模具焊接模具焊接激光模具焊接激光模具焊接超聲波加工

變幅桿超聲波發(fā)生器振動(dòng)方向工具換能器工作液噴嘴工件超聲切割技術(shù)超聲波加工原理圖

利用工具端面作超聲（16～25kHz）振動(dòng)，使工作液中的懸浮磨粒對(duì)工件表面撞擊拋磨來(lái)實(shí)現(xiàn)加工。超聲波發(fā)生器將工頻交流電能轉(zhuǎn)變?yōu)橛幸欢üβ瘦敵龅某曨l電振蕩，通過(guò)換能器將超聲頻電振蕩轉(zhuǎn)變?yōu)槌暀C(jī)械振動(dòng)，此時(shí)振幅一般很小，再通過(guò)振幅擴(kuò)大棒（變幅桿）使固定在變幅桿端部的工具振幅增大到0.01～0.15mm。

工作原理超聲波加工當(dāng)工具以16000Hz以上的振動(dòng)頻率作用于懸浮液磨料時(shí)，磨料便以極高的速度強(qiáng)力沖擊加工表面；同時(shí)由于懸浮液磨料的攪動(dòng)，使磨粒以高速度拋磨工件表面；此外，磨料液受工具端面的超聲振動(dòng)而產(chǎn)生交變的沖擊波和“空化現(xiàn)象”。所謂空化現(xiàn)象，是指當(dāng)工具端面以很大的加速度離開(kāi)工件表面時(shí)，加工間隙內(nèi)形成負(fù)壓和局部真空，在磨料液內(nèi)形成很多微空腔；當(dāng)工具端面以很大的加速度接近工件表面時(shí)，空泡閉合，引起極強(qiáng)的液壓沖擊波，從而使脆性材料產(chǎn)生局部疲勞，引起顯微裂紋。超聲波加工機(jī)床超聲波加工樣件超聲波加工

適用于加工各種脆性金屬材料和非金屬材料，如玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體、寶石、金剛石等?？杉庸じ鞣N復(fù)雜形狀的型孔、型腔、形面。工具與工件不需作復(fù)雜的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，機(jī)床結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。被加工表面無(wú)殘余應(yīng)力，無(wú)破壞層，加工精度較高，尺寸精度可達(dá)0.01～0.05mm。加工過(guò)程受力小，熱影響小，可加工薄壁、薄片等易變形零件。生產(chǎn)效率較低。采用超聲復(fù)合加工（如超聲車(chē)削，超聲磨削，超聲電解加工，超聲線切割等）可提高加工效率。超聲波加工特點(diǎn)及應(yīng)用

細(xì)微孔型腔異形通孔切片多個(gè)圓片落料多片圓板落料超聲波加工的基本種類(lèi)切割單晶硅片超聲波加工應(yīng)用應(yīng)用:型孔、型腔加工；切割加工單晶硅片、陶瓷模塊；超聲波拋磨電子束加工原理圖控制柵極加速陽(yáng)極電子束斑點(diǎn)旁熱陰極聚焦系統(tǒng)工件工作臺(tái)電子束加工真空條件下，利用電流加熱陰極發(fā)射電子束，經(jīng)控制柵極初步聚焦后，由加速陽(yáng)極加速，通過(guò)透鏡聚焦系統(tǒng)進(jìn)一步聚焦，使能量密度集中在直徑5～10μm斑點(diǎn)內(nèi)。高速而能量密集的電子束沖擊到工件上，被沖擊點(diǎn)處形成瞬時(shí)高溫（幾分之一微秒時(shí)間內(nèi)升高至幾千攝氏度），工件表面局部熔化、氣化直至被蒸發(fā)去除。

工作原理電子束加工電子束加工電子束加工曲面、穿孔電子束加工的噴絲頭異形孔

電子束束徑小（最小直徑可達(dá)0.01-0.05mm），而其長(zhǎng)度可達(dá)束徑幾十倍，可加工微細(xì)深孔、窄縫。材料適應(yīng)性廣（原則上各種材料均能加工），特別適用于加工特硬、難熔金屬和非金屬材料。非接觸加工，無(wú)工具損耗；無(wú)切削力，加工時(shí)間極短，工件無(wú)變形。加工速度高，切割1mm厚鋼板，速度可達(dá)240mm/min。在真空中加工，無(wú)氧化，特別適于加工高純度半導(dǎo)體材料和易氧化的金屬及合金。加工設(shè)備較復(fù)雜，投資較大。多用于微細(xì)加工。

電子束加工特點(diǎn)及應(yīng)用電子束加工過(guò)程模型利用電子束熱效應(yīng)的加工低功率密度、中等功率密度高功率密度照射電子束加工原理電子束焊接

焊縫熔深大,熔寬小,焊縫金屬純度高,焊接精度高,可實(shí)現(xiàn)精密微細(xì)焊可進(jìn)行薄材料的精密焊接，又可實(shí)現(xiàn)厚件焊接，但不適于大批量產(chǎn)品所有用其它焊接方法能進(jìn)行熔化焊的金屬及合金都可以用電子束焊接主要用于高質(zhì)量焊接,能解決異種金屬,易氧化金屬及難熔金屬的焊接價(jià)格昂貴(如用CO2保護(hù)焊機(jī)焊接后橋,價(jià)格僅幾萬(wàn)元,而電子束焊機(jī)價(jià)格在200萬(wàn)左右

)電子束焊接與CO2氣體保護(hù)焊的比較CO2氣保焊焊接的車(chē)橋.要開(kāi)坡口填絲,熱變形大電子束焊機(jī)焊接的車(chē)橋電子束焊接后橋設(shè)備電子束焊接毛細(xì)管板結(jié)構(gòu)電子束釬焊接頭電子束釬焊試樣電子束用于微細(xì)加工

縮小投影型電子暴光裝置1.電子槍2.照射透鏡3.掩模板4.縮小投影透鏡5.工件6.位置對(duì)準(zhǔn)7.電子束光刻加工技術(shù)1.原版制作2.光刻涂膠暴光顯影與烘片刻蝕剝膜與檢查光學(xué)光刻原理與印像片相同，只是用涂覆了感光膠(抗蝕劑)的硅片取代了相紙，掩模版取代了底片。UV光母板掩膜光刻膠SiO2光刻膠SiO2

曝光：將掩模覆蓋在涂有光刻膠的硅片上，掩模相當(dāng)于照相底片，一定波長(zhǎng)的光線通過(guò)這個(gè)“底片”，使光刻膠獲得與掩模圖形同樣的感光圖形。顯影與后烘：曝光之后進(jìn)行顯影、定影、堅(jiān)膜等步驟，在光刻膠膜上有的區(qū)域被溶解掉，有的區(qū)域保留下來(lái)，形成了版圖圖形?？涛g：把經(jīng)曝光、顯影后光刻膠微圖形中下層材料的裸露部分去掉，即在下層材料上重現(xiàn)與光刻膠相同的圖形。

光刻工藝過(guò)程光刻工藝圖示

涂光刻膠

曝光

顯影與后烘

腐蝕

剝膠

光刻加工過(guò)程在真空條件下，將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過(guò)加速、聚焦后投射到工件表面的加工部位以實(shí)現(xiàn)加工的。離子帶正電荷，其質(zhì)量比電子大數(shù)千倍乃至數(shù)萬(wàn)倍，故在電場(chǎng)中加速較慢，但一旦加至較高速度，就比電子束具有更大的撞擊動(dòng)能。離子束加工是靠微觀機(jī)械撞擊能量轉(zhuǎn)化為熱能進(jìn)行的。離子束加工是離子束射到材料表面時(shí)所發(fā)生的撞擊效應(yīng)、濺射效應(yīng)和注入效應(yīng)。離子束加工離子刻蝕：離子轟擊工件，將工件表面的原子逐個(gè)剝離，又稱(chēng)離子銑削，實(shí)質(zhì)是一種原子尺度的切削加工。離子濺射沉積：離子轟擊靶材，將靶材原子擊出，沉積在靶材附近的工件上，使工件表面鍍上一層薄膜。離子鍍(離子濺射輔助沉積)：離子同時(shí)轟擊靶材和工件表面，可增強(qiáng)膜材與工件基材間的結(jié)合力。離子注入：離子束直接轟擊被加工材料，由于離子能量相當(dāng)大，離子就鉆入被加工材料的表層。工件表面層含有注入離子后，就改變了化學(xué)成分，從而改變了工件表面層的機(jī)械物理性能。離子束加工的分類(lèi)是目前特種加工中最精密、最微細(xì)的加工。離子刻蝕可達(dá)納米級(jí)精度，離子鍍膜可控制在亞微米級(jí)精度，離子注入的深度和濃度亦可精確地控制。在高真空中進(jìn)行，污染少，特別適宜于對(duì)易氧化的金屬、合金和半導(dǎo)體材料進(jìn)行加工。離子束加工是靠離子轟擊材料表面的原子來(lái)實(shí)現(xiàn)的，是一種微觀作用，所以加工應(yīng)力和變形極小，適宜于對(duì)各種材料和低剛件零件進(jìn)行加工。主要應(yīng)用于刻蝕加工(如加工空氣軸承的溝槽，加工極薄材料等)、鍍膜加工(如在金屬或非金屬材料上鍍制金屬或非金屬材料)、注入加工(如某些特殊的半導(dǎo)體器件)等。離子束加工特點(diǎn)和應(yīng)用排水器噴嘴閥控制器蓄能器供水器過(guò)濾器泵增壓器液壓裝置工件射流d水噴射加工

工作原理：

加工裝置

噴嘴材料及工作條件

項(xiàng)目材料孔徑/mm至工件距離/mm噴射角度/°參數(shù)金剛石，藍(lán)寶石，淬火鋼0.075～0.42.5～500～30水噴射加工利用超高壓水（或水與磨料的混合液）對(duì)工件進(jìn)行切割（或打孔），又稱(chēng)高壓水切割，或“水刀”。水噴射加工水噴射加工特點(diǎn)數(shù)控設(shè)備控制下，進(jìn)行任意圖案切割；高壓元件質(zhì)量可靠，易損件質(zhì)優(yōu)價(jià)廉，維修成本低；鉆孔及切割功能設(shè)