GB/T 42604-2023真空技術(shù)真空計(jì)熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范

ICS23160

CCSJ7.8

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T42604—2023/ISO278942009

:

真空技術(shù)真空計(jì)

熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范

Vacuumtechnology—Vacuumgauges—

Specificationforhotcathodeionizationgauges

ISO278942009IDT

(:,)

2023-05-23發(fā)布2023-05-23實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T42604—2023/ISO278942009

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

符號(hào)和縮略語

4……………5

熱陰極電離真空計(jì)的原理

5………………6

制造商給出的熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范

6…………………6

制造商另給出的熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范可選

7()………8

熱陰極電離真空計(jì)測(cè)量不確定度的貢獻(xiàn)分量

8…………9

附錄資料性典型的玻璃殼體的型真空計(jì)

A()B-A…………………12

附錄資料性型真空計(jì)的典型電連接

B()B-A…………13

附錄資料性電離真空計(jì)的問題

C()……………………14

參考文獻(xiàn)

……………………15

Ⅰ

GB/T42604—2023/ISO278942009

:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用真空技術(shù)真空計(jì)熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范

ISO27894:2009《》。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出

。

本文件由全國(guó)真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC18)。

本文件起草單位中國(guó)航天科技集團(tuán)有限公司第五研究院第五一〇研究所上海精密計(jì)量測(cè)試研究

:、

所合肥智海光電技術(shù)有限公司沈陽匯真真空技術(shù)有限公司佛山市順德區(qū)質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督標(biāo)準(zhǔn)與編碼

、、、

所重慶大學(xué)湖南維格磁流體股份有限公司淄博市計(jì)量技術(shù)研究院廣州涂氏精怡科技有限公司惠

、、、、、

州市宇之光科技有限公司廣東唯沃科技有限公司深圳市時(shí)代高科技設(shè)備股份有限公司沈陽真空技

、、、

術(shù)研究所有限公司

。

本文件主要起草人成永軍趙瀾孫雯君張虎忠肖寅楓翁俊倪博劉磊趙燕宋青竹王壯

:、、、、、、、、、、、

李春侯軍霞羅付強(qiáng)言繼春言文靜張曉琳董猛陳聯(lián)張瑞芳管保國(guó)馮天佑涂進(jìn)紅蔣振蘭

、、、、、、、、、、、、、

張海鷹田漢溶王玲玲

、、。

Ⅲ

GB/T42604—2023/ISO278942009

:

引言

電離真空計(jì)是測(cè)量高真空和超高真空的常用儀器在已知溫度的高真空和超高真空環(huán)境下該真

。,

空計(jì)收集的離子流與氣體密度和壓力成正比高速運(yùn)動(dòng)的電子碰撞電離中性氣體分子產(chǎn)生離子電子

。,

則是通過自持放電或電子發(fā)射陰極產(chǎn)生在商用電離真空計(jì)中電子發(fā)射陰極為熱絲也稱為熱陰

。,,“

極它是通過熱發(fā)射原理實(shí)現(xiàn)電子發(fā)射

”,。

由于交叉電磁場(chǎng)自持放電的電離真空計(jì)在放電電流與氣體密度之間展現(xiàn)出的非線性特征使其校

,,

準(zhǔn)非常繁瑣因此在高真空度和超高真空度的壓力范圍內(nèi)測(cè)量線性更好的熱陰極電離真空計(jì)可用

。,,“”

于量值傳遞

。

電離真空計(jì)若用于高真空和超高真空范圍的量值傳遞和精確測(cè)量真空計(jì)相關(guān)參數(shù)和不確定度值必

,

不可少本文件將對(duì)其加以描述因此當(dāng)使用電離真空計(jì)作為參考標(biāo)準(zhǔn)時(shí)本文件是對(duì)的

,。,,ISO/TS3567

補(bǔ)充

。

Ⅳ

GB/T42604—2023/ISO278942009

:

真空技術(shù)真空計(jì)

熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范

1范圍

本文件定義了與熱陰極電離真空計(jì)相關(guān)的術(shù)語并規(guī)定熱陰極電離真空計(jì)制造商要給出的具體參

,

數(shù)以及在操作這些儀表時(shí)需要考慮的測(cè)量不確定度分量原因如下

,,。。

本文件更新了中給出的一些術(shù)語和定義

a)ISO3529-3:1981。

熱陰極電離真空計(jì)通常用作參考標(biāo)準(zhǔn)本文件為適用的實(shí)驗(yàn)室明確規(guī)定了便于在高真空和超

b),

高真空下正確校準(zhǔn)真空計(jì)的相關(guān)信息使用電離真空計(jì)開展高真空和超高真空的可溯源壓力

。

測(cè)量時(shí)適于在制造商說明書中引述含有真空計(jì)相關(guān)參數(shù)和特征的信息

,。

本文件還列出了與電離真空計(jì)壓力測(cè)量相關(guān)的重要的不確定度分量也給出了這些不確定度

c),

分量的評(píng)估指南對(duì)于某些當(dāng)前或未來的真空計(jì)來說不確定度分量的清單可能并不全面

。,。

將電離真空計(jì)用作參考標(biāo)準(zhǔn)時(shí)本文件是對(duì)和的補(bǔ)充

d),ISO/TS3567ISO/TS27893。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

測(cè)量不確定度評(píng)定和表示

GB/T27418—2017(ISO/IECGuide98-3:2008,MOD)

注被引用的內(nèi)容與被引用的內(nèi)容沒有技術(shù)上的差異