超聲波電動機(jī)

超聲波電動機(jī)第一頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制1超聲波電動機(jī)的基本原理3超聲波電動機(jī)的優(yōu)點及其應(yīng)用2超聲波電動機(jī)的發(fā)展6超聲波電機(jī)存在的問題及研究重點4超聲波電動機(jī)的常見結(jié)構(gòu)與分類5行波型超聲波電動機(jī)的驅(qū)動控制教學(xué)基本要求超聲波電動機(jī)及其發(fā)展概況分析與思考練習(xí)題返回主頁第二頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制超聲波電動機(jī)(UltrasonicMotor，簡稱USM)是近年來發(fā)展起來的一種全新概念的驅(qū)動裝置，它利用壓電材料的逆壓電效應(yīng)(即電致伸縮效應(yīng))，把電能轉(zhuǎn)換為彈性體的超聲振動，并通過摩擦傳動的方式轉(zhuǎn)換成運(yùn)動體的回轉(zhuǎn)或直線運(yùn)動。這種新型電機(jī)一般工作于20kHz以上的頻率，故稱為超聲波電動機(jī)。1超聲波電動機(jī)的基本原理上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)超聲波電動機(jī)的不同命名：如振動電動機(jī)(VibrationMotor)、壓電電動機(jī)(PiezoelectricMotor)、表面波電動機(jī)(SurfaceWaveMotor)、壓電超聲波電動機(jī)(PiezoelectricUltrasonicMotor)、超聲波壓電驅(qū)動器/執(zhí)行器(Ultrasonicpiezoelectricactuator)等等。

第三頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制1.1超聲波電動機(jī)的結(jié)構(gòu)上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)第四頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)

超聲波電動機(jī)由定子(振動體)和轉(zhuǎn)子(移動體)兩部分組成但電機(jī)中既沒有線圈也沒有永磁體，其定子由彈性體(Elasticbody)和壓電陶瓷(Piezoelectricceramic)構(gòu)成轉(zhuǎn)子為一個金屬板。定子和轉(zhuǎn)子在壓力作用下緊密接觸，為了減少定、轉(zhuǎn)子之間相對運(yùn)動產(chǎn)生的磨損，通常在二者之間(在轉(zhuǎn)子上)加一層摩擦材料。第五頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)工作原理：對極化后的壓電陶瓷元件施加—定的高頻交變電壓，壓電陶瓷隨著高頻電壓的幅值變化而膨脹或收縮，從而在定子彈性體內(nèi)激發(fā)出超聲波振動，這種振動傳遞給與定子緊密接觸的摩擦材料以驅(qū)動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)。第六頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)當(dāng)對粘接在金屬彈性體上的兩片壓電陶瓷施加相位差為90電角度的高頻電壓時，在彈性體內(nèi)產(chǎn)生兩組駐波(StandingWave)，這兩組駐波合成一個沿定子彈性體圓周方向行進(jìn)的行波(ProgressiveWave/TravellingWave)，使得定子表面的質(zhì)點形成一定運(yùn)動軌跡(通常為橢圓軌跡)的超聲波微觀振動，其振幅一般為數(shù)微米，這種微觀振動通過定子(振動體)和轉(zhuǎn)子(移動體)之間的摩擦作用使轉(zhuǎn)子(移動體)沿某一方向(逆行波傳播方向)做連續(xù)宏觀運(yùn)動。

第七頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)A.行波的形成將極化方向相反的壓電陶瓷依次粘貼于彈性體上，當(dāng)在壓電陶瓷上施加交變電壓時，壓電陶瓷會產(chǎn)生交替伸縮變形，在一定的頻率和電壓條件下，彈性體上會產(chǎn)生圖示的駐波，用方程表示為

1)高頻電壓駐波1.2USM的工作原理第八頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)A.行波的形成2)兩駐波行波設(shè)A、B兩個駐波的振幅同為0，二者在時間和空間上分別相差90，方程分別為

在彈性體中，這兩個駐波的合成為一行波第九頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)極化規(guī)律：將一片壓電陶瓷環(huán)極化為A、B兩相區(qū)，兩相區(qū)之間有/4的區(qū)域未極化，用作控制電源反饋信號的傳感器，另有3/4波長的區(qū)域作為兩相區(qū)的公共區(qū)。極化時，每隔1/2波長反向極化，極化方向為厚度方向。圖中“+”“”代表壓電片的極化方向相反，兩組壓電片空間相差/4，相當(dāng)于90，分別通以同頻、等幅、相位相差為90的超聲頻域的交流信號，這樣兩相區(qū)的兩組壓電體就在時間與空間上獲得90相位差的激振。

A.行波的形成3)在USM中形成行波USM的定子由環(huán)形彈性體和環(huán)形壓電陶瓷構(gòu)成，壓電陶瓷按圖示的規(guī)律極化，即可產(chǎn)生兩個在時間和空間上都相差90的駐波。第十頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)B.彈性體表面的橢圓運(yùn)動設(shè)彈性體厚度為h。若彈性體表面任一點P在彈性體未撓曲時的位置為P0，則從P0到P在y方向的位移為由于行波的振幅比行波的波長小得多，彈性體彎曲的角度

很小，故y方向的位移近似為第十一頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)B.彈性體表面的橢圓運(yùn)動從P0到P在x方向的位移為又所以第十二頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)彈性體表面上任意一點P按照橢圓軌跡運(yùn)動，這種運(yùn)動使彈性體表面質(zhì)點對移動體產(chǎn)生一種驅(qū)動力，且移動體的運(yùn)動方向與行波方向相反。B.彈性體表面的橢圓運(yùn)動第十三頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)彈性體表面質(zhì)點的橫向運(yùn)動速度為橫向速度在行波的波峰和波谷處最大。若假設(shè)在彈性體與移動體接觸處的滑動為零，則移動體的運(yùn)動速度與波峰處質(zhì)點橫向速度相同。其最大速度為V——行波在定子中的傳播速度

f

——電機(jī)的激振頻率調(diào)節(jié)激振頻率可以調(diào)節(jié)電機(jī)的轉(zhuǎn)速，但是有非線性。在保持兩相駐波等幅的前提下，若忽略壓電陶瓷的應(yīng)變隨激勵電壓的非線性，改變駐波的振幅0，即調(diào)節(jié)壓電陶瓷的激振電壓，可以做到線性調(diào)速，這是調(diào)壓調(diào)速的一大優(yōu)點。C.USM的調(diào)速方法第十四頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)2超聲波電動機(jī)的發(fā)展超聲波電動機(jī)的發(fā)展大體可分為以下三個階段：

探索階段(1948年——20世紀(jì)70年代末)USM原型出現(xiàn)實用化階段(20世紀(jì)70年代末——80年代末)

商用USM產(chǎn)品出現(xiàn)深層次研究(20世紀(jì)90年代——)

機(jī)理、材料、結(jié)構(gòu)、驅(qū)動控制、應(yīng)用多樣化第十五頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)1.探索階段(1948年——20世紀(jì)70年代末)1）超聲波電動機(jī)的概念出現(xiàn)于1948年，英國的Williams和Brown申請了“壓電電動機(jī)(PiezoelectricMotor)”的專利，提出了將振動能作為驅(qū)動力的設(shè)想，然而由于當(dāng)時理論與技術(shù)的局限，有效的驅(qū)動裝置未能得以實現(xiàn)。2）1961年，BulovaWatchLtd．公司首次利用彈性體振動來驅(qū)動鐘表齒輪，工作頻率為360Hz，這種鐘表走時準(zhǔn)確，每月的誤差只有一分鐘，打破了那個時代的紀(jì)錄，引起了轟動。3）前蘇聯(lián)學(xué)者V.V.Lavrinenko于1964年設(shè)計了第一臺壓電旋轉(zhuǎn)電機(jī)，此后前蘇聯(lián)在超聲波電機(jī)研究領(lǐng)域一度處于世界領(lǐng)先水平，如設(shè)計了用于微型機(jī)器人的有2或3個自由度的超聲波電機(jī)、

人工超聲肌肉及超聲步進(jìn)電機(jī)等。不過，由于語言等方面的原因,前蘇聯(lián)的一些重要研究成果并未被西方科學(xué)界所充分了解。4）1969年，英國Salfod大學(xué)的兩名教授介紹了一種伺服壓電電機(jī)，這種電機(jī)采用二片式壓電體結(jié)構(gòu)，其速度、運(yùn)動形式和方向都可以任意變化，響應(yīng)速度也是傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)電機(jī)所不能及的。5）美國IBM公司的Barth也在1973年提出了一種超聲波電動機(jī)的模型，從而使這種新型電機(jī)可以實現(xiàn)真正意義上的工作。

第十六頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制2.實用化階段(20世紀(jì)70年代末——80年代末)1978年，前蘇聯(lián)的Vasiliev成功地構(gòu)造了一種能夠驅(qū)動較大負(fù)載的壓電超聲波電動機(jī)，這種電機(jī)使用由位于兩個金屬塊之間的壓電元件所組成的超聲換能器，將該換能器激起與轉(zhuǎn)子接觸的振動片縱向振動，通過振動片與轉(zhuǎn)子間的摩擦來驅(qū)動轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動。這種結(jié)構(gòu)的優(yōu)點在于不僅能降低共振頻率，而且能放大振幅，遺憾的是，這種電機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)時由于溫度的升高、摩擦及磨損等原因，很難保持振動片的恒幅振動。日本的T.Sashida在Vasiliev的研究基礎(chǔ)上，于1980年提出并成功地制造了一種駐波型超聲波電動機(jī)。該電機(jī)使用Langevin激振器，驅(qū)動頻率為27.8kHz，電輸入功率為90W，機(jī)械輸出功率為50W，輸出扭矩為0.25Nm，首次達(dá)到了能夠滿足實際應(yīng)用的要求，但由于振動片與轉(zhuǎn)子的接觸是固定在一個位置上，仍存在著接觸表面上摩擦和磨損等問題。上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)第十七頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制1982年，Sashida又提出并制造了另一臺超聲波電動機(jī)——行波型超聲波電動機(jī)，從原來的由駐波定點、定期推動轉(zhuǎn)子變換成由行波連續(xù)不斷地推動轉(zhuǎn)子，大大地降低了定子與轉(zhuǎn)子接觸面上的摩擦和磨損。這種電機(jī)能夠運(yùn)轉(zhuǎn)的實質(zhì)就是定子表面的質(zhì)點形成了橢圓運(yùn)動。之后，在日本掀起了利用各種振動模態(tài)的研究熱潮，如利用縱向、彎曲、扭轉(zhuǎn)等振動來獲得橢圓運(yùn)動。這種電機(jī)的研究成功，為超聲波電動機(jī)走向?qū)嵱秒A段奠定了基礎(chǔ)。1987年，行波超聲波電動機(jī)終于達(dá)到了商業(yè)應(yīng)用水平。此后許多超聲波電動機(jī)新產(chǎn)品不斷地研制出來并推向市場。到20世紀(jì)80年代中期日本已形成三個系列的超聲波電動機(jī)：即日立馬克賽爾公司的駐波扭轉(zhuǎn)耦合器系列、松下電器公司的行波系列和新生公司的彎曲波模態(tài)系列。除日本外，ElectroMechanicalSystems公司也推出了英國第一個商用超聲波電動機(jī)系列產(chǎn)品——USR30。上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)第十八頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制3.深層次研究(20世紀(jì)90年代——)在20世紀(jì)80年代，國外的研究工作主要集中在研究新的驅(qū)動機(jī)理、構(gòu)造新的結(jié)構(gòu)形式、開發(fā)新型電機(jī)等方面，著重于動力傳輸?shù)膶崿F(xiàn)，尚未能顧及到性能的改善。由于對超聲波電動機(jī)的基礎(chǔ)理論研究得不夠透徹，沒有形成完整的設(shè)計理論，使超聲波電動機(jī)的研究帶有一定程度的盲目性。直到90年代后，超聲波電動機(jī)的建模、性能預(yù)測等理論問題才開始引起關(guān)注，但至今尚無系統(tǒng)的論述。目前，世界各國對超聲波電動機(jī)的研究極為活躍，超聲波電動機(jī)的研究趨向多元化。例如，美國利用其先進(jìn)的材料和IC工藝研制出的微型超聲波電動機(jī)，其尺寸僅有數(shù)百微米(250m500m2m)，驅(qū)動電壓的典型值是5V，最低為1.5V，轉(zhuǎn)速為150r/min。而大型超聲波電動機(jī)的扭矩達(dá)400Nm。上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)第十九頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制3超聲波電動機(jī)的優(yōu)點及其應(yīng)用超聲波電動機(jī)將電致伸縮、超聲振動、波動原理這些毫不相干的概念與電機(jī)聯(lián)系在一起，創(chuàng)造出一種完全新型的電動機(jī)。(1)低速大轉(zhuǎn)矩:

在超聲波電機(jī)中，超聲振動的振幅一般不超過幾微米，振動速度只有幾厘米每秒到幾米每秒。無滑動時轉(zhuǎn)子的速度由振動速度決定，因此電機(jī)的轉(zhuǎn)速一般很低，每分鐘只有十幾轉(zhuǎn)到幾百轉(zhuǎn)。由于定子和轉(zhuǎn)子間靠摩擦力傳動，若兩者之間的壓力足夠大，轉(zhuǎn)矩就很大。(2)體積小、重量輕:

超聲波電機(jī)不用線圈，也沒有磁鐵，結(jié)構(gòu)相對簡單，與普通電機(jī)相比，在輸出轉(zhuǎn)矩相同的情況下，可以做得更小、更輕、更薄。(3)反應(yīng)速度快，控制特性好:

超聲波電動機(jī)靠摩擦力驅(qū)動，移動體的質(zhì)量較輕，慣性小，響應(yīng)速度快，起動和停止時間為毫秒量級。因此它可以實現(xiàn)高精度的速度控制和位置控制。第二十頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制4)無電磁干擾:

超聲波電動機(jī)沒有磁極，因此不受電磁感應(yīng)影響。同時，它對外界也不產(chǎn)生電磁干擾，特別適合強(qiáng)磁場下的工作環(huán)境。在對EMI(電磁干擾)要求嚴(yán)格的環(huán)境下，采用超聲波電機(jī)也很合適。(5)停止時具有保持力矩:

超聲波電動機(jī)的轉(zhuǎn)子和定子總是緊密接觸，切斷電源后，由于靜摩擦力的作用，不采用剎車裝置仍有很大保持力矩，尤其適合宇航工業(yè)中失重環(huán)境下的運(yùn)行。(6)形式靈活，設(shè)計自由度大:

超聲波電動機(jī)驅(qū)動力發(fā)生部分的結(jié)構(gòu)可以根據(jù)需要靈活設(shè)計。3超聲波電動機(jī)的優(yōu)點及其應(yīng)用第二十一頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制由于超聲波電動機(jī)具有電磁電機(jī)所不具備的許多特點，盡管它的發(fā)明與發(fā)展僅有20多年的歷史，但在宇航、機(jī)器人、汽車、精密定位、醫(yī)療器械、微型機(jī)械等領(lǐng)域已得到成功的應(yīng)用。日本Canon公司將超聲波電機(jī)用于其EOS620/650自動聚焦單鏡頭反射式照相機(jī)中；歐洲將超聲波電機(jī)用于實驗平臺及微動設(shè)備，如1986年獲Nobel物理學(xué)獎的掃描隧道顯微鏡(STM)；美國在宇宙飛船、火星探測器、導(dǎo)彈、核彈頭等航空航天工程中也都陸續(xù)應(yīng)用了超聲波電動機(jī)。3超聲波電動機(jī)的優(yōu)點及其應(yīng)用第二十二頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)Tiny,Ultrasonic,PiezoelectricMotorsPennStateUniversity，USAChinaDevelopsWorld'sThinnestUltrasonicMotor(People'sDailyOnline,December06,2001)Thewhitecylindricalmotor,developedbyChina'sprestigiousQinghuaUniversity,is5-millimeterlongandweighs36mg.Itsdiameterisonlyonemillimeter.Theminimotorcanbeusedinmedicalapplications,bioscienceandnationaldefense.清華大學(xué)研制的微型超聲電機(jī)（2001）第二十三頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)日本Canon公司將USM用于照相機(jī)的聚焦系統(tǒng)第二十四頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制NASA將超聲電機(jī)用于空間機(jī)器人技術(shù)CoddarSpaceFlightCenter將超聲電機(jī)應(yīng)用于空間機(jī)器人技術(shù)。其中微型機(jī)器手MicroArmI使用了具有力矩0.05Nm的超聲電機(jī)?；鹦菣C(jī)器手MarsArmII使用了3個具有力矩為0.68Nm和一個具有0.11Nm的超聲電機(jī)第二十五頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制美國Vanderbilt大學(xué)將超聲電機(jī)應(yīng)用于微型飛行器上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)美國加州大學(xué)研制的智能藥片第二十六頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制4超聲波電動機(jī)的常見結(jié)構(gòu)與分類(1)環(huán)狀或盤式行波型超聲波電動機(jī)由底部粘接著壓電陶瓷元件的環(huán)狀定子和環(huán)狀轉(zhuǎn)子構(gòu)成。對極化后的壓電陶瓷元件施加—定的高頻交變電壓，在定子彈性體中形成沿圓周方向的彎曲行波。對定、轉(zhuǎn)子施加一定的預(yù)壓力，轉(zhuǎn)子受到與行波傳播方向相反的摩擦力作用而連續(xù)轉(zhuǎn)動，定子上的齒槽用于改善電機(jī)的工作性能。

第二十七頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)(2)直線式行波型超聲波電動機(jī)雙Langevin振子型：利用兩個Langevin壓電換能器，分別作為激振器和吸振器，當(dāng)吸振器能很好地吸收激振器端傳來的振動波時，有限長直梁似乎變成了—根半無限長梁，這時，在直梁中形成單向行波，驅(qū)動滑塊作直線運(yùn)動。當(dāng)互換激振器與吸振器的位置時，形成反向行波，實現(xiàn)反向運(yùn)動。單軌型直線超聲波電動機(jī)，把金屬兩端焊接起來形成田徑跑道狀的定子軌道，并在上面設(shè)置具有壓緊裝置的移動體(滑塊)。壓電陶瓷片粘在導(dǎo)軌的背面，通過兩相時間、空間互差90電角度的壓電陶瓷橫向伸縮，在封閉的彈性導(dǎo)軌中激發(fā)出由兩個同頻駐波疊加而成的行波，以此驅(qū)動壓緊在導(dǎo)軌上的滑塊做直線運(yùn)動。

第二十八頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)(3)駐波型超聲波電動機(jī)Sashida研制的楔形駐波型超聲波電動機(jī):由Langevin振子、振子前端的楔形振動片和轉(zhuǎn)子三部分組成。振子的端面沿長度方向振動，楔形結(jié)構(gòu)振動片的前端面與轉(zhuǎn)子表面稍微傾斜接觸(夾角為)，誘發(fā)振動片前端產(chǎn)生向上運(yùn)動的分量，產(chǎn)生橫向共振，縱橫振動合成的結(jié)果，使振動片前端質(zhì)點的運(yùn)動軌跡近似為橢圓。振動片向上運(yùn)動時，振動片與轉(zhuǎn)子接觸處的摩擦力驅(qū)動轉(zhuǎn)子運(yùn)動；向下運(yùn)動時，脫離接觸，沒有運(yùn)動的傳遞，轉(zhuǎn)子依靠其慣性保持方向向上的運(yùn)動狀態(tài)。這種電機(jī)設(shè)計簡單，但存在兩個缺點：在振動片與轉(zhuǎn)子接觸處磨損嚴(yán)重；轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速較難控制，僅能單方向旋轉(zhuǎn)。

第二十九頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制日立Maxell公司的改進(jìn)型駐波超聲波電動機(jī)，采用機(jī)械扭轉(zhuǎn)連接器取代了楔形振動片，借助扭轉(zhuǎn)連接器將壓電振子產(chǎn)生的縱向振動誘發(fā)出扭轉(zhuǎn)振動，兩種振動在扭轉(zhuǎn)連接器前端合成質(zhì)點橢圓運(yùn)動軌跡，驅(qū)動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)。這種電機(jī)轉(zhuǎn)速達(dá)到120r/min，輸出轉(zhuǎn)矩1.3Nm，能量轉(zhuǎn)換效率為80％，超過傳統(tǒng)電磁型電機(jī)。(3)駐波型超聲波電動機(jī)采用扭轉(zhuǎn)連接器的駐波型超聲波電動機(jī)

第三十頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制

駐波超聲波電動機(jī)是利用在彈性體內(nèi)激發(fā)的駐波來驅(qū)動移動體移動。但是，單一的駐波并不能傳遞能量，因為彈性體表面質(zhì)點作同相振動。因此，駐波型超聲波電動機(jī)通過激發(fā)并合成相互垂直的兩個駐波，使得彈性體表面質(zhì)點作橢圓振動，直接或間接地驅(qū)動移動體運(yùn)動而輸出能量。根據(jù)激勵兩個駐波振動的方式不同,駐波超聲波電動機(jī)分為縱扭振動復(fù)合型:采用兩個獨立的壓電振子分別激發(fā)互相垂直的兩個駐波振動，合成彈性體表面質(zhì)點的橢圓振動軌跡。模態(tài)轉(zhuǎn)換型：模態(tài)轉(zhuǎn)換型僅有一個壓電振子激發(fā)某一方向的振動，再通過一個機(jī)械轉(zhuǎn)換振子同時誘發(fā)與其垂直的振動，二者合成彈性體表面質(zhì)點的橢圓振動軌跡，驅(qū)動移動體運(yùn)動。（如前兩例）第三十一頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制縱扭復(fù)合型超聲波電動機(jī)結(jié)構(gòu)——定子由兩個獨立的振子所組成：縱向振子控制定子與轉(zhuǎn)子之間的摩擦力(正壓力)；扭轉(zhuǎn)振子控制輸出轉(zhuǎn)矩。由于兩種復(fù)合運(yùn)動可獨立控制，所以其輸出轉(zhuǎn)矩大，工作穩(wěn)定，可雙向運(yùn)動，并且為設(shè)計者提供了較大的設(shè)計空間。

第三十二頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制（4）非接觸式超聲波電動機(jī)

定子與轉(zhuǎn)子之間不直接接觸，而是在它們之間填充一種介質(zhì)：液體或氣體。當(dāng)定子振動時，也就引起了介質(zhì)的振動，在介質(zhì)與轉(zhuǎn)子的接觸面就形成了摩擦力，從而驅(qū)動轉(zhuǎn)子運(yùn)轉(zhuǎn)。非接觸式超聲波電動機(jī)是以犧牲轉(zhuǎn)矩為代價的，其驅(qū)動力都很小。東京工業(yè)大學(xué)TohgoYamazaki等研制的圓筒型非接觸式超聲波電動機(jī)。其定子由硬鋁制成，定子圓筒長為16.5mm、內(nèi)徑56mm、外徑61.8mm，并由兩個Langevin振子激勵，形成行波。筒型轉(zhuǎn)子放置在定子筒內(nèi)。當(dāng)定子產(chǎn)生行波時，轉(zhuǎn)子懸浮起來并沿著行波前進(jìn)方向旋轉(zhuǎn)。驅(qū)動電源的頻率為26kHz，電機(jī)的最高轉(zhuǎn)速可達(dá)3000r/min。由于采用了Langevin振子，電機(jī)結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜，占有的空間較大，而且形狀不規(guī)則，因而限制了它的應(yīng)用場合。

第三十三頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制(5)多自由度超聲波電動機(jī)三自由度超聲波電機(jī)兩自由度超聲波電動機(jī)電機(jī)由球形轉(zhuǎn)子、兩對徑向定子等組成。定子是一個短圓柱體，用等截面梁穿過定子來施加軸向力，使得定子與轉(zhuǎn)子緊密接觸。利用粘貼在定子上的壓電陶瓷同時在定子上激發(fā)出兩個在空間互相垂直的振動模態(tài)，兩個模態(tài)合成使得定子側(cè)表面產(chǎn)生行波，從而通過摩擦接觸驅(qū)動球形轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動。兩對徑向定子置于一個平面內(nèi)不同的位置，這樣電機(jī)就可得到兩個自由度的運(yùn)動。

第三十四頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制超聲波電動機(jī)的分類第三十五頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)5行波型超聲波電動機(jī)的驅(qū)動控制行波USM的常用控制方式:控制電壓幅值,但調(diào)速范圍受到限制。電壓過低,壓電元件不會起振;電壓過高,又會接近壓電元件的工作極限。變頻控制,通過調(diào)節(jié)諧振點附近的頻率控制速度和力矩,因為電機(jī)動作點在諧振點附近,且調(diào)頻具有響應(yīng)快的特點。變頻調(diào)速對超聲電機(jī)較為合適。(3)相位差控制,改變兩相電壓的相位差,從而改變定子表面質(zhì)點的橢圓運(yùn)動軌跡。但低速啟動困難,驅(qū)動電源設(shè)計較為復(fù)雜。第三十六頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制USM頻率控制的的驅(qū)動與控制電路框圖上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)第三十七頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制上一頁下一頁返回上一節(jié)下一節(jié)USM的幾種控制策略第三十八頁，共四十一頁，編輯于2023年，星期五特種電機(jī)及其控制6超聲波電機(jī)存在的問題及研究重點USM與傳統(tǒng)電磁式電機(jī)相比有無可替代的優(yōu)點，但是它也存在一些問題：(1)控制困難:從理論上來說，目前超聲波電機(jī)仍然沒有一個準(zhǔn)確的數(shù)學(xué)模型來對其振動過程和運(yùn)動過程進(jìn)行系統(tǒng)的描述。由于壓電材料的特殊性、摩擦發(fā)