硅芯爐拉單晶工藝

硅芯爐拉單晶工藝多晶硅是單晶硅生產(chǎn)企業(yè)必不行少的主要原料，而硅芯是多晶硅生產(chǎn)過程中生長多晶的載體。多晶硅生長載體-硅芯的生產(chǎn)，是多晶硅生產(chǎn)不行缺少的主要裝備之一。硅芯晶體生長工藝特點(diǎn)硅芯晶體生長一般承受垂直區(qū)熔法。原料棒固定在下軸上，籽晶裝在上軸，上下軸同軸心。之匹配的速度向上作慢速移動(dòng)，需要時(shí)原料棒可轉(zhuǎn)動(dòng)。硅芯爐設(shè)備工作時(shí)，先對設(shè)備進(jìn)展抽空，等爐內(nèi)真空度≤3Pa時(shí)，切斷抽空，然后充以氬氣保護(hù)氣氛，加熱料棒，晶體生長開頭。在硅芯晶體的生長過程中，充氣、排氣始終在進(jìn)展，以保證硅芯晶體的純度；拉晶開頭、完畢及更換籽晶卡頭需要上、下軸有快速移動(dòng)功能。設(shè)備應(yīng)具備以下條件：(1)上軸慢速提拉運(yùn)動(dòng)(工作速度)0．5-60mm／min：(2)上軸快速，l000mm／min，500mm／min兩檔；0．02-10mm／min；下軸快速，75mm／min，150mm／min兩檔；(5)下軸旋轉(zhuǎn)：0～60r／min；真空度≤3Pa；充氣；高頻電源局部；(9)6根／爐次。硅芯晶體生長爐總體設(shè)計(jì)3大局部組成：機(jī)械局部、電氣掌握局部及高頻電源局部。真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、水路、攝像頭等局部構(gòu)成。下面主要介紹設(shè)備的幾個(gè)重要組成局部。真空爐室及過渡副室不帶水冷，上、下局部都開有爐門，爐門上設(shè)有觀看窗，便于觀看拉晶狀況；另外爐體上設(shè)有高頻線圈接口、撥叉口、后視鏡口、攝像口、上下充氣口、真空抽口、壓力表口、及水咀接口，以滿足硅芯爐工作各功能要求，使設(shè)備操作更加便利。爐室各處需密封牢靠。上設(shè)有限位口及觀看窗口，與爐室相通，需要密封牢靠。下軸升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)行。珠絲杠等周密傳動(dòng)元件傳動(dòng)，可在肯定的范圍內(nèi)進(jìn)展無級調(diào)速，運(yùn)行平穩(wěn)牢靠。籽晶托盤及掌握系統(tǒng)8～10mm6根硅芯棒，這樣就省去了每生長一根硅芯晶體后，開爐、抽空、預(yù)備的時(shí)間，既提高了效率，又提高了設(shè)備的利用率。硅芯提升機(jī)構(gòu)快速。運(yùn)開工況低速輕載，連續(xù)工作；運(yùn)行時(shí)應(yīng)平穩(wěn)，無振動(dòng)，無爬行。依據(jù)使用要求硅芯提升機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)為不受損害。卷輪聯(lián)有光電編碼器，可以準(zhǔn)確顯示硅芯生長長度。真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)及水路排出。爐室上裝有壓力表，顯示爐內(nèi)壓力?！?P連旋片泵即可，各處需密封狀況良好。承受高頻感應(yīng)加熱，工作時(shí)各處人可接觸的地方溫度不應(yīng)超過50℃，為此爐室必需設(shè)計(jì)水冷卻，另外密封處溫度高的地方也必需有水冷卻系統(tǒng)。電氣掌握系統(tǒng)高精度的速度掌握方式速系統(tǒng)。包括