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文檔簡介
半導(dǎo)體器件物理
PhysicsofSemiconductorDevices主講教師:陳占國電子郵件:czg@辦公電話:85168382手機(jī)號(hào)碼公地點(diǎn):唐敖慶樓D334課程簡介《半導(dǎo)體器件物理與實(shí)驗(yàn)》
2005年5月吉林大學(xué)校級(jí)精品課程
2005年8月吉林省省級(jí)精品課程
2007年12月教育部國家級(jí)精品課程《半導(dǎo)體器件物理》
《半導(dǎo)體器件物理與實(shí)驗(yàn)》課程的理論課部分面向?qū)I(yè):
微電子學(xué)、光電子學(xué)、電子科學(xué)與技術(shù)課程簡介課程地位:
主干專業(yè)基礎(chǔ)課,碩士研究生入學(xué)考試科目。前期課程:
普通物理、結(jié)晶學(xué)、量子力學(xué)、半導(dǎo)體物理學(xué)。后續(xù)課程:
集成電路,微電子技術(shù),半導(dǎo)體光電子學(xué)等。主要內(nèi)容:
介紹一些常見半導(dǎo)體器件的基本結(jié)構(gòu)、基本工作原理、基本性能和基本制造工藝等。教學(xué)團(tuán)隊(duì)課程負(fù)責(zé)人:
孟慶巨教授,mengqj@程主講教師:
劉海波教授,
陳占國教授,課程輔導(dǎo)教師:
陳長鳴博士,chencm@材《半導(dǎo)體器件物理》
孟慶巨劉海波孟慶輝
編著
科學(xué)出版社出版
2005年1月第一版,第一次印刷
2005年7月第二次印刷
2006年3月第三次印刷
2009年2月第四次印刷
2009年11月第二版,第六次印刷參考資料半導(dǎo)體器件物理課件---ppt《半導(dǎo)體器件物理學(xué)習(xí)指導(dǎo)》半導(dǎo)體器件物理習(xí)題及參考答案半導(dǎo)體器件物理復(fù)習(xí)綱要《半導(dǎo)體器件物理與實(shí)驗(yàn)》國家精品課程網(wǎng)站
吉大網(wǎng)站→校內(nèi)辦公→教學(xué)在線→教學(xué)資源平臺(tái)→國家級(jí)精品課(第二頁)→半導(dǎo)體器件物理→論壇→孟慶巨教授討論室主要參考書PhysicsofSemiconductorDevices,ThirdEdition,S.M.SzeandKwokK.Ng,PublishedbyJohnWiley&Sons,Inc.in2007.SemiconductorPhysicsandDevices——BasicPrinciples,
ThirdEdition,DonaldA.Neamen,PublishedbyMcGraw-Hill,in2003.《半導(dǎo)體器件基礎(chǔ)》,
[美]RobertF.Pierret,電子工業(yè)出版社,2004.《現(xiàn)代半導(dǎo)體器件物理》,[美]施敏(S.M.Sze),科學(xué)出版社,2001.課程內(nèi)容(共56學(xué)時(shí))第一章半導(dǎo)體物理基礎(chǔ)(4學(xué)時(shí))第二章PN結(jié)(12學(xué)時(shí))第三章雙極結(jié)型晶體管(10學(xué)時(shí))第四章金屬-半導(dǎo)體結(jié)(5學(xué)時(shí))第五章結(jié)型場效應(yīng)晶體管和
肖特基勢壘場效應(yīng)晶體管(5學(xué)時(shí))第六章MOS場效應(yīng)晶體管(8學(xué)時(shí))第七章電荷轉(zhuǎn)移器件(4學(xué)時(shí))第八章太陽電池與光電二極管(4學(xué)時(shí))第九章發(fā)光管與半導(dǎo)體激光器(4學(xué)時(shí))第一章半導(dǎo)體物理基礎(chǔ)
Chapter1
FundamentofSemiconductorPhysics
學(xué)習(xí)艘目的重點(diǎn)耳知識(shí)令回顧能帶揪理論袖;載蘆流子陷統(tǒng)計(jì)翁分布勁;載驗(yàn)流子臭的輸只運(yùn)現(xiàn)滿象;污非平腎衡載狗流子尾的產(chǎn)雹生與饑復(fù)合男;公式家符號(hào)亞銜接補(bǔ)充陽必要笨知識(shí)靜電刪勢;慘費(fèi)米廊勢;稈修正捏的歐五姆定題律;李半導(dǎo)鑒體中耳的基催本控使制方短程。?
1.查1—蠢1.陜6能帶股理論苦和雜童質(zhì)能守級(jí)(桿自學(xué)俘)基本均概念洗與基蒙本原塌理共有笨化運(yùn)屯動(dòng);表電子昆態(tài);瓜周期栗性勢乒場;匯布洛戒赫定答理;恩波矢獻(xiàn)量;團(tuán)倒格最矢;槐倒格貪子;聲布里何淵區(qū)宣;周懂期性煉邊界爺條件量;導(dǎo)糊帶;枝價(jià)帶蝕;禁烈?guī)В蛔C晶體第能帶秤的性租質(zhì);洞有效略質(zhì)量賓;導(dǎo)宿帶電衰子;貸價(jià)帶柜空穴柳;準(zhǔn)甚動(dòng)量從;電愉子和及空穴敏在外但力作蹦用下捎的運(yùn)遼動(dòng)規(guī)貨律;芹金屬既、半眾導(dǎo)體辜、絕柿緣體儀的能誤帶特束征;Si、Ge、Ga炕As等常狠見半戀導(dǎo)體縣的能漂帶結(jié)勵(lì)構(gòu);繪能谷錘;橫密向有碑效質(zhì)旗量;沖縱向豆有效押質(zhì)量暈;直四接帶揮隙;風(fēng)間接雄帶隙合;施閱主雜破質(zhì);對受主劉雜質(zhì)葵;雜立質(zhì)能爭級(jí);N型半丙導(dǎo)體鉛;P型半要導(dǎo)體秤;深半能級(jí)裳。1.指7載流囑子的敏統(tǒng)計(jì)慶分布1.脂7.演1狀態(tài)宴密度既(De擺ns僵it大y義of涼S異ta真te債s,材D帶OS巴)0.定義朝:單位著體積覺晶體商中單怪位能勉量間擔(dān)隔內(nèi)脫的狀畏態(tài)數(shù)際。1.導(dǎo)帶辯狀態(tài)鉤密度臭:Ec導(dǎo)帶中的狀態(tài)密度2.價(jià)帶疫狀態(tài)悶密度織:1.部7載流捉子的叉統(tǒng)計(jì)喬分布1.快7.仔1狀態(tài)滋密度抽(De喂ns患it性y次of圾S藥ta參te演s,拴D靈OS瓶)Ev價(jià)帶中的狀態(tài)密度1.厲7載流潛子的癥統(tǒng)計(jì)聲分布導(dǎo)帶價(jià)帶N(E)EEg禁帶EcEv狀態(tài)密度N(E)與能量E的關(guān)系1.察7.襲1狀態(tài)替密度歲(De蒙ns晚it王y屯of畫S稻ta穩(wěn)te恐s,劑D木OS)簡單能帶圖導(dǎo)帶價(jià)帶EEg禁帶EcEv1.竄7載流巖子的傾統(tǒng)計(jì)狡分布1.迎7.準(zhǔn)2費(fèi)米頑分布霸函數(shù)呈和費(fèi)情米能謀級(jí)1.費(fèi)米帥分布醉函數(shù)蠢:電子——費(fèi)米沃子。一失個(gè)能詞量為E的電榨子態(tài)果被電子占據(jù)哭的幾流率滿魚足費(fèi)米-狄拉躁克(Fe冰rm形i-溝Di警ra筍c)統(tǒng)計(jì)迅分布羽。k:講Bo禿lt閱zm臨an配n常數(shù)四;T:貼Ke無lv選in溫度租;EF:Fe盡rm鋒i能級(jí)圓。1.煉7載流洽子的雁統(tǒng)計(jì)皂分布1.歉7.撒2費(fèi)米乏分布主函數(shù)暗和費(fèi)描米能厘級(jí)1.費(fèi)米看分布晴函數(shù)蹈:一個(gè)特能量始為E的電會(huì)子態(tài)未被蓋電子騎占據(jù)(被空穴占據(jù)軋)的撥幾率分為:k:若Bo牢lt賴zm東an撒n常數(shù)爛;T:容Ke蘿lv列in溫度肝;EF:Fe先rm迎i能級(jí)胃。Ef電子態(tài)被電子占據(jù)和未被占據(jù)的幾率分布1.欠7載流蹤蝶子的磁統(tǒng)計(jì)扔分布1.寬7.兇2費(fèi)米伶分布岡函數(shù)諷和費(fèi)蜻米能壘級(jí)3.費(fèi)米室能級(jí)瘦(Fe乒rm坊i消Le換ve侄l):(1)在拴一定揉溫度脫下,所熱平特衡系迫統(tǒng)具順有恒迅定的酷費(fèi)米慎能級(jí)輛。(2)費(fèi)接米能主級(jí)是袋反映仔電子淚在各摸個(gè)能慚級(jí)上蹦分布枕情況弱的參鋼數(shù)。(3)費(fèi)仍米能肝級(jí)是倒電子轎填充佩能級(jí)丙水平嗽高低玩的標(biāo)犯志。4.玻爾哪茲曼燥分布肅:在非牌簡并仇半導(dǎo)沉體(行摻雜紡濃度較低,素一般避小于1018cm-3)中規(guī),導(dǎo)萍帶電衛(wèi)子或某價(jià)帶殺空穴鴨的濃瓜度很多低,馳它們課對電獻(xiàn)子態(tài)撲的占煌據(jù)不跨受Pa雨ul咬i不相研容原奇理的圣限制形,其消分布展幾率棚可近霜似為Bo砍lt脈zm藏an礙n分布搬。1.揮7載流披子的緊統(tǒng)計(jì)運(yùn)分布1.朝7.劣3能帶蓄中的耍電子香和空建穴濃策度1.導(dǎo)帶集電子箱濃度1.釀7載流粱子的汁統(tǒng)計(jì)負(fù)分布1.魂7.撈3能帶您中的謙電子菌和空譯穴濃呆度2.價(jià)帶抽空穴參濃度1.秩7載流供子的稠統(tǒng)計(jì)刊分布1.策7.伍3能帶復(fù)中的榨電子撫和空岸穴濃傳度3.np之積一定潤溫度潤下的滲半導(dǎo)襖體,革熱平礙衡下揭的np之積摩只與宏有效飲狀態(tài)禮密度僚和禁鍬帶寬勉度有艙關(guān),曬而與司摻雜版情況奇和費(fèi)汗米能儀級(jí)無男關(guān)。1.雹7載流仔子的席統(tǒng)計(jì)壩分布1.業(yè)7.珠4本征善半導(dǎo)悅體(In崖tr厲in緣瑞si拋c女Se脖mi餡co違nd筒uc崇to羊r)1.電中馬性條詢件:2.本征費(fèi)米能級(jí):3.本征載流子濃度:1.速7載流夢子的餐統(tǒng)計(jì)祖分布1.嗽7.盜4本征灶半導(dǎo)唱體(In彈tr端in兇si睬c遲Se肝mi鉗co和nd叮uc冷to降r)4.質(zhì)量嗓作用錯(cuò)公式胃:5.電子和空穴濃度公式的另一種形式:熱平耀衡時(shí),雙這些公盼式具有愛普適性婚!1.測7載流受子的仆統(tǒng)計(jì)舍分布1.版7.挽5只含悄一種編雜質(zhì)德的半訓(xùn)導(dǎo)體1.電中性條件:3.費(fèi)米能級(jí):2.載流子濃度:一.剩N型半竄導(dǎo)體疏:(粥飽和肝電離桑)0.80.60.40.20-0.2-0.4-0.6-0.8-1.0100200300400500P型N型本征費(fèi)米能級(jí)導(dǎo)帶價(jià)帶10161014101210121014101610181018T/KEiEF-Ei/eVEFEcEvEF硅材料費(fèi)米能級(jí)隨雜質(zhì)濃度和溫度的變化曲線施主衡濃度何越高答,N型半淚導(dǎo)體正費(fèi)米仗能級(jí)品越靠碎近導(dǎo)救帶底個(gè)。隨怨著溫僻度的慢升高棟,費(fèi)俯米能恰級(jí)逐拜漸遠(yuǎn)復(fù)離導(dǎo)維帶底獲,接郊近本眠征費(fèi)駕米能不級(jí)。1.廣7載流御子的嘉統(tǒng)計(jì)檢分布1.抽7.產(chǎn)5只含溪一種殼雜質(zhì)邪的半塑導(dǎo)體1.電中性條件:3.費(fèi)米能級(jí):2.載流子濃度:二.教P型半林導(dǎo)體鳴:(影飽和掘電離頁)0.80.60.40.20-0.2-0.4-0.6-0.8-1.0100200300400500P型N型本征費(fèi)米能級(jí)導(dǎo)帶價(jià)帶10161014101210121014101610181018T/KEiEF-Ei/eVEFEcEvEF硅材料費(fèi)米能級(jí)隨雜質(zhì)濃度和溫度的變化曲線受主忍濃度搜越高詞,P型半頌導(dǎo)體爺費(fèi)米順能級(jí)骨越靠米近價(jià)焦帶頂齡。隨愚著溫霜度的率升高給,費(fèi)們米能汗級(jí)逐秋漸遠(yuǎn)澆離價(jià)躁帶頂折,接設(shè)近本每征費(fèi)涌米能牛級(jí)。1.妨7載流憑子的狹統(tǒng)計(jì)紙分布1.堤7.彈6雜質(zhì)董補(bǔ)償搜半導(dǎo)般體1.電中性條件:3.費(fèi)米能級(jí):2.載流子濃度:一.Nd>Na情況芹(N型)課:(丘飽和悅電離若)1.荒7載流涂子的假統(tǒng)計(jì)敵分布1.叢7.虜6雜質(zhì)雜補(bǔ)償果半導(dǎo)際體1.電中性條件:3.費(fèi)米能級(jí):2.載流子濃度:二.跌Na>Nd情況政(P型)保:(容飽和羨電離霧)1.葡7載流津子的移統(tǒng)計(jì)妖分布1.糟7.蠶6雜質(zhì)但補(bǔ)償撓半導(dǎo)衡體電中性條件和載流子濃度:三.如Na=Nd情況溝:(扭完全蕩補(bǔ)償轟)1.坐7.芽7簡并田半導(dǎo)眉體(自緣瑞學(xué))閱讀戒教材P3視1-造33,回該答下雁面問竄題:小什么叔是簡協(xié)并半雨導(dǎo)體油?簡鉆并發(fā)山生的兵條件配是什唯么?1.還8載流支子的悶散射弟(自熔學(xué))閱讀油教材P3姿6-原41。需霸要掌鄙握的益概念跟:格跨波;醫(yī)聲子漠;色曬散關(guān)罰系;獨(dú)平均陪自由餡時(shí)間泛;弛方豫時(shí)違間;往主要糖的散柜射機(jī)閣制。幾種矛常見董半導(dǎo)碗體的文參數(shù)GeSiGaAsEg(eV)0.671.121.43Nc(cm-3)1.04×10192.8×10194.5×1017Nv(cm-3)4.4×10181.04×10197.1×1018Ni(cm-3)2.3×10131.5×10101.1×1071.藏9電荷孫輸運(yùn)舅現(xiàn)象1.粱9.計(jì)1漂移嗽運(yùn)動(dòng)爹、遷域移率爸與電溪導(dǎo)率電荷差的輸細(xì)運(yùn)——載流維子的德漂移潤與擴(kuò)集散運(yùn)寫動(dòng)。漂移運(yùn)動(dòng):
在外電場存在時(shí),載流子除了做無規(guī)則的熱運(yùn)動(dòng)以外,還要沿一定方向做有規(guī)則的定向運(yùn)動(dòng),這種運(yùn)動(dòng)稱為漂移運(yùn)動(dòng);漂移運(yùn)動(dòng)的速度稱為漂移速度;漂移運(yùn)動(dòng)可引起電荷的定向流動(dòng),從而在半導(dǎo)體中產(chǎn)生電流,這就是電導(dǎo)現(xiàn)象;由載流子漂移運(yùn)動(dòng)所引起的電流常稱為漂移電流。遷移率:
載流子的平均漂移速度與外電場強(qiáng)度成正比,其比例系數(shù)稱為遷移率。遷移率常用來表示,單位為1.劍9電荷冒輸運(yùn)徒現(xiàn)象1.翼9.差1漂移霸運(yùn)動(dòng)撇、遷瘡移率仿與電惡導(dǎo)率電子遷移率;空穴遷移率;電子即和空震穴的揪平均賽漂移慘速度鍋:前提客條件莖:載防流子孤的有惑效質(zhì)哭量為闖各向共同性宗??!3.電導(dǎo)率:
外電場在半導(dǎo)體內(nèi)引起的漂移電流密度與外電場強(qiáng)度成正比,比例系數(shù)稱為電導(dǎo)率。電導(dǎo)率常用來表示,單位。1.符9電荷謀輸運(yùn)健現(xiàn)象1.漏9.扇1漂移良運(yùn)動(dòng)瞇、遷獲移率暖與電減導(dǎo)率電子電導(dǎo)率;電子踢和空甘穴的默漂移純電流薄密度息:空穴電導(dǎo)率;總的劍漂移店電流匹密度亦:總的電導(dǎo)率;1.鈴9電荷賢輸運(yùn)買現(xiàn)象1.厭9.懂1漂移毀運(yùn)動(dòng)珠、遷柜移率亡與電是導(dǎo)率電子遷移率;4.電導(dǎo)季有效谷質(zhì)量疼:對于興導(dǎo)帶督有多川個(gè)對讓稱能酸谷的慕情形埋,或忍者導(dǎo)傘帶底呢附件其的等銹能面描不是碎球面抗的情備形,添需要柿引入糞電導(dǎo)部有效紀(jì)質(zhì)量勒!以Si為例推:導(dǎo)帶電子的電導(dǎo)有效質(zhì)量;1.謙9電荷溪輸運(yùn)交現(xiàn)象1.甘9.騰1漂移場運(yùn)動(dòng)朵、遷感移率臉與電能導(dǎo)率空穴遷移率;4.電導(dǎo)智有效莊質(zhì)量飄:考慮鞏到價(jià)案帶頂按的輕撇、重極空穴杰對電飯導(dǎo)都帶有貢全獻(xiàn),誘需要已引入理價(jià)帶湖空穴毫的電訓(xùn)導(dǎo)有鍬效質(zhì)等量!假設(shè)貧價(jià)帶該頂附谷近輕悔、重準(zhǔn)空穴篩的動(dòng)臣量弛盯豫時(shí)榜間相料同,刃則有沸:空穴的電導(dǎo)有效質(zhì)量;半導(dǎo)體材料Ge0.12m00.23m0Si0.26m00.38m0GaAs0.068m0~0.29m01.辰9電荷幫輸運(yùn)駐現(xiàn)象1.9.2擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)和擴(kuò)散電流擴(kuò)散運(yùn)動(dòng):
當(dāng)半導(dǎo)體中載流子濃度分布不均勻時(shí),由于濃度梯度的存在,載流子將由濃度高的區(qū)域向濃度低的區(qū)域運(yùn)動(dòng),載流子的這種運(yùn)動(dòng)稱為擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)。擴(kuò)散流密度和擴(kuò)散系數(shù):
由擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)引起的單位時(shí)間垂直通過單位面積的載流子數(shù),稱為擴(kuò)散流密度,擴(kuò)散流密度與載流子濃度梯度成正比,比例系數(shù)稱為擴(kuò)散系數(shù)。常用來表示,單位為??昭〝U(kuò)散流密度電子擴(kuò)散流密度
分別為電子和空穴的擴(kuò)散系數(shù)。1.慨9電荷嬌輸運(yùn)球現(xiàn)象1.壘9.茶2擴(kuò)散恥運(yùn)動(dòng)館和擴(kuò)求散電撐流3.擴(kuò)散痰電流:載流閃子是甩帶電內(nèi)的粒姑子,敬載流雀子的遭擴(kuò)散蝕運(yùn)動(dòng)辭也會(huì)扁在半池導(dǎo)體真內(nèi)引窄起電夢流,枯稱為擴(kuò)散怨電流。擴(kuò)鏈散流齒密度到與每溉個(gè)載雞流子械所帶聯(lián)電荷今的乘盲積即圾為擴(kuò)散決電流仆密度。空穴擴(kuò)散電流密度電子擴(kuò)散電流密度1.漏9電荷爬輸運(yùn)喜現(xiàn)象1.華9.腳3流密武度、紗電流島密度附和電怨流方宮程漂移流密度:
漂移流密度等于載流子濃度與它們在電場中的漂移速度的乘積。2.漂移與擴(kuò)散同時(shí)存在時(shí)的流密度:
空穴漂移流密度電子漂移流密度空穴流密度:電子流密度:1.故9電荷資輸運(yùn)筐現(xiàn)象1.必9.找3流密貓度、呼電流肉密度熔和電女流方蓬程3.漂移時(shí)與擴(kuò)尖散同題時(shí)存厚在時(shí)養(yǎng)的電流成密度:電流藍(lán)密度等于伙每個(gè)搶載流跡子的丈電荷馬與流奮密度碎的乘軋積。4.漂移籃與擴(kuò)犬散同酷時(shí)存澡在時(shí)撕的電流脾方程:(破一維麥情形肚)空穴電流密度:電子電流密度:空穴迫電流什方程稿:電子幫電流銀方程圈:
為垂直電流的截面積。1.瓦10非均狂勻半源導(dǎo)體姓中的杏自建鹿電場1.漿10押.1半導(dǎo)咽體中魂的靜箱電場忙和靜長電勢如果指半導(dǎo)照體中輪存在泛非均計(jì)勻的敢雜質(zhì)篩分布紐奉,就開會(huì)在適半導(dǎo)和體中那引起攪電場繪,常鼓稱為自建養(yǎng)電場(bu童il社t-梯in振f痕ie巖ld),巷或內(nèi)建功電場。電場、電勢與電勢能的關(guān)系:
電場
定義為電勢的負(fù)梯度,電子的電勢能等于電子電荷與電勢的乘積。電子的動(dòng)能空穴的動(dòng)能導(dǎo)帶中電子的最低能量價(jià)帶中空穴的最低能量Ec(a)無外加電場時(shí)EiEvEcEiEv(b)有外加電場時(shí)1.搜10非均暢勻半醬導(dǎo)體捕中的草自建督電場1.目10朽.1半導(dǎo)努體中災(zāi)的靜刺電場轉(zhuǎn)和靜迷電勢2.靜電勢與費(fèi)米勢:
設(shè)外電場為,在一維情況下,可以用本征費(fèi)米能級(jí)表示為1.扁10非均謎勻半灰導(dǎo)體宿中的松自建墨電場1.壟10途.1半導(dǎo)內(nèi)體中狗的靜習(xí)電場鵲和靜塑電勢熱平厭衡時(shí)宇,費(fèi)形米勢注為常技數(shù),地可取寧為電渴勢零勺基準(zhǔn)哥,于愧是:3.用靜就電勢激與費(fèi)鍋米勢康表示賞載流桿子濃帥度:1.然10非均惰勻半雙導(dǎo)體車中的壘自建掩電場1.黑10兩.2愛因就斯坦薦關(guān)系愛因槍斯坦搞關(guān)系傲在非硬平衡平情況觀下依如然成避立!愛因橡斯坦嚼關(guān)系描述煌了載談流子棵的遷蛋移率驕與擴(kuò)智散系某數(shù)之雅間的摟關(guān)系廁。熱平狐衡時(shí)里,半促導(dǎo)體腿中的珠空穴按電流剖和電娛子電盤流必圖須為蓄零,碧即:1.暑10非均姨勻半偏導(dǎo)體啊中的拳自建跨電場1.歇10標(biāo).3非均狂勻半啦導(dǎo)體鑒和自扭建電由場0x101010141018Nd(x)/cm-3x=0EcEiEvEF(a)不簽均勻您的施健主分割布(b)自爆建電承場造芽成的妙能帶勢彎曲設(shè):N-貌Si,Nd(x)<翅1018cm-3,即州:非要簡并惱情況溫。1.哄10非均戶勻半明導(dǎo)體動(dòng)中的些自建圍電場1.鼻10溫.3非均嗓勻半掃導(dǎo)體棄和自乒建電供場令EF為勢虜能零崗點(diǎn),糞則有貿(mào):同理丙,對跳于p-摔Si,其弦靜電猾勢和務(wù)內(nèi)建結(jié)電場滿為:1.堪11納-1均4非平歷衡載扭流子1.訪11望.1非平全衡載挑流子慰產(chǎn)生弄后的俯載流甘子濃糖度在外偷界作左用下門,半災(zāi)導(dǎo)體仇能帶巖中的才載流繁子數(shù)剛目將釘偏離歡熱平尺衡時(shí)家的情請況,旱即產(chǎn)擾生了非平斯衡載漫流子牲,又稱賄為過剩兆載流役子。非敏平衡環(huán)載流煎子對慚半導(dǎo)憐體器討件的喚性能射影響表十分烤重要朝。這返里主課要研敏究非突平衡況載流膨子的書產(chǎn)生皆和復(fù)挽合機(jī)步制以益及它儀們的訂運(yùn)動(dòng)百規(guī)律只。1.獸11害-1看4非平蹲衡載膛流子1.誓11豬.2小注余入時(shí)叔的載細(xì)流子兄濃度當(dāng)非判平衡奴載流魔子濃婆度遠(yuǎn)截小于失熱平楊衡多踐子濃未度,鵲但遠(yuǎn)獻(xiàn)大于針熱平月衡少察子濃脈度時(shí)階,稱何為小注伴入,小朱注入有時(shí)的心載流任子濃劍度為量:(施以N型半稱導(dǎo)體肚為例斬)當(dāng)非持平衡榮載流猾子濃君度與肥熱平辰衡多州子濃妖度相耕當(dāng)時(shí)屠,稱饞為大注踢入。1.臺(tái)11菠.3準(zhǔn)費(fèi)辟米能脆級(jí)當(dāng)非身平衡炮載流管子產(chǎn)末生后濕,體刷系偏稻離了墊熱平膨衡態(tài)糾,因角而不朗再有活統(tǒng)一路的費(fèi)憐米能炕級(jí),場但可棵以引開入準(zhǔn)費(fèi)急米能成級(jí)描述盲非平怎衡態(tài)寸的載圓流子碑濃度去。1.恐11酒-1硬4非平絞衡載嬸流子1.膠12眠.1準(zhǔn)費(fèi)瓣米能懲級(jí)1.竹11挨-1業(yè)4非平防衡載冬流子1.階12撤.2修正廉的歐拼姆定港律1.車11奧-1胸4非平屑衡載輝流子1.座12質(zhì).2修正罷的歐瓜姆定再律修正嚼的歐讀姆定紅律雖合然在仔形式恐上與未歐姆既定律猶一致搞,但距包括膜了載寬流子餓的漂純移和拴擴(kuò)散豪的綜茄合效待應(yīng)。字處于盡熱平君衡的果半導(dǎo)桑體,慰具有坊統(tǒng)一棄的費(fèi)月米能煎級(jí),完因此屬電流露為零違。1.浙13城.1非平躺衡載帳流子賴的壽勞命在只庸考慮壤體內(nèi)塘復(fù)合陸的簡涌單情賢況下把,單范位時(shí)嶄間內(nèi)傭由于斑復(fù)合落而引封起的夢非平陳衡載符流子廉濃度習(xí)的減隱少率窗與它科們的頂濃度煙成比惠例,蛋即:1.巴11茂-1犧4非平言衡載政流子1.規(guī)13維.1非平碧衡載員流子趕的壽切命是非平衡載流子的凈復(fù)合率,它表示單位時(shí)間、單位體積內(nèi)被復(fù)合掉的載流子數(shù)。是單位時(shí)間內(nèi)每個(gè)非平衡載流子被復(fù)合掉的幾率。是t=0時(shí)的非平衡載流子濃度,是衰減到
的時(shí)所經(jīng)歷的時(shí)間。每個(gè)非平衡載流子的平均存活時(shí)間可表示為:可見,是非平衡載流子在被復(fù)合前平均存在的時(shí)間,稱為非平衡載流子的壽命。1.閘11侍-1旦4非平阻衡載考流子1.圾13肅.2直接囑復(fù)合鄙(帶流間復(fù)埋合)單位翁時(shí)間不、單捷位體毀積半丸導(dǎo)體適中復(fù)濤合掉倆的電侵子-請空穴真對數(shù)唉稱為復(fù)合蘭率,用R表示繳。直接往復(fù)合柜;a:電子托-空抄穴對疼的復(fù)趕合;b:電子堆-空蒜穴對信的產(chǎn)環(huán)生。EvabEc比例語系數(shù)r稱為眉復(fù)合詢系數(shù)吹。單位雄時(shí)間雀、單表位體梢積半叮導(dǎo)體撇中產(chǎn)敏生的好電子貼-空番穴對夫數(shù)稱擴(kuò)為產(chǎn)生刪率,用G表示礙。1.掀11辰-1陵4非平穗衡載燈流子1.枯13誓.2直接炮復(fù)合蓋(帶天間復(fù)錫合)小注燒入條駁件下慮:本征賀半導(dǎo)極體:N型半果導(dǎo)體探:P型半捏導(dǎo)體綠:雜質(zhì)敞半導(dǎo)栗體中貍非平鄰衡少哭子的卸壽命睛比本悟征半扇導(dǎo)體遞中的能短;糾同種素半導(dǎo)幻玉體樣越品,轟電導(dǎo)百率越剖高,肌非平午衡少秀子的臺(tái)壽命錫越短睬。1.隨11腦-1器4非平意衡載冰流子1.濾13網(wǎng).3通過辭復(fù)合高中心量的復(fù)推合(超間接綢復(fù)合組)設(shè):顧復(fù)合窩中心歪的濃控度為Nt,復(fù)起合中掙心能棉級(jí)為Et,復(fù)裳合中定心對孫電子熟和空卷穴的浪俘獲嘩系數(shù)睬分別散為Cn和Cp,則可永以得妨到凈復(fù)形合率和壽命吊公式:aa:電子的俘獲;b:電子的產(chǎn)生;c:空穴的俘獲;d:空穴的產(chǎn)生.通過復(fù)合中心的復(fù)合bcdEcEv肖克墨利-驅(qū)里德頓公式Sh瘦oc猛kl僵ey箭-R石ea膚d填Eq揮ua樣ti扭on1.誘11遺-1供4非平讓衡載幕流子1.季13籌.3通過凱復(fù)合什中心屆的復(fù)握合(燥間接笨復(fù)合已)
分別表示復(fù)合中心全空或全滿時(shí),對每個(gè)電子或空穴的俘獲幾率。n1
和p1
分別表示費(fèi)米能級(jí)與復(fù)合中心能級(jí)重合時(shí),導(dǎo)帶電子和價(jià)帶空穴的濃度,即:通過偶比較n0,p0,n1,p1的大
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