現(xiàn)代精密儀器設(shè)計(jì)第五章-微位移技術(shù)課件

精密儀器設(shè)計(jì)DesignofPrecisionInstrument五、微位移技術(shù)微位移技術(shù)概述六:其他類(lèi)型微位移工作臺(tái)二:壓電、電致伸縮器件三:電磁控制的微動(dòng)工作臺(tái)四:柔性鉸接五:精密工作臺(tái)的設(shè)計(jì)及特性分析概述微位移技術(shù)發(fā)展很快。用金剛石車(chē)刀直接車(chē)削大型天文望遠(yuǎn)鏡的拋物面反射鏡時(shí),要求加工出幾何精度高于1/10光波波長(zhǎng)的表面,即幾何形狀誤差小于0.05m。計(jì)算機(jī)外圍設(shè)備中大容量磁鼓和磁盤(pán)的制造,為保證磁頭與磁盤(pán)在工作過(guò)程中維持1m內(nèi)的浮動(dòng)氣隙,就必須嚴(yán)格控制磁盤(pán)或磁鼓在高速回轉(zhuǎn)下的跳動(dòng)。特別是到20世紀(jì)70年代后期,微電子技術(shù)向大規(guī)模集成電路(LSⅠ)和超大規(guī)模集成電路(ⅥSI方向發(fā)展,隨著集成度的提高,線條越來(lái)越微細(xì)化。256K動(dòng)態(tài)RAM線寬已縮小到1.25m左右。目前已小于0.1m,對(duì)與之相應(yīng)的工藝設(shè)備(如圖形發(fā)生器、分步重復(fù)照相機(jī)、光刻機(jī)、電子束、和ⅹ射線曝光機(jī)及其檢測(cè)設(shè)備等)提出了更高的要求,要求這些設(shè)備的定位精度為線寬的1/3~1/5,即亞微米甚至納米級(jí)的精度概述5-1亞微米級(jí)微位移技術(shù)國(guó)家廠家導(dǎo)軌形式驅(qū)動(dòng)方式行程/分辨力位移精度自由度應(yīng)用設(shè)備HP公司滾珠0.0080.016x,y柔性支承壓電50m0.0電子束曝光機(jī)Micronix柔性支承壓電0.02美國(guó)GCA彈性導(dǎo)軌直線電機(jī)0,03yX射線曝光機(jī)BlI氣浮導(dǎo)軌靜摩擦力0.1x,y圖形發(fā)生器Yosemite滾動(dòng)導(dǎo)軌伺服馬達(dá)10m0.01±0.01x,y分步重復(fù)照相機(jī)滾動(dòng)導(dǎo)軌壓電尺蠖25mm0.011,234電子束曝光機(jī)日立制作所柔性交玉電y電子束曝機(jī)東北太學(xué)彈性導(dǎo)轤電域±:以Q5圖形發(fā)生器日本式燕野萍性導(dǎo)釩電磁0.0X射線曝光機(jī)彈性導(dǎo)軌電磁、壓電士2ymX射理毒北機(jī)畜士通氣浮尋軌*塊,絲杠拖模對(duì)準(zhǔn)臺(tái)L海電氣科學(xué)研滾珠導(dǎo)軌正電土6.4um圖形發(fā)生器究所電子工業(yè)部45所彈性導(dǎo)軌m0.08分步幣復(fù)照相b中國(guó)/的所科拉人采性文兵電玫坤車(chē)末微進(jìn)縉哈爾濱I業(yè)大學(xué)柔性文改步講機(jī)車(chē)床微進(jìn)給清華大學(xué)液珠導(dǎo)軌鍥塊