X射線熒光分析儀構(gòu)造及原理課件

X射線熒光光譜儀X射線熒光光譜儀1CONTANTS1.X射線熒光光譜儀的分類2.波長(zhǎng)色散型X射線熒光光譜儀3.能量色散型X射線熒光光譜儀CONTANTS1.X射線熒光光譜儀的分類2.波長(zhǎng)色散型X射2用X射線照射試樣時(shí)，試樣可以被激發(fā)出各種波長(zhǎng)的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長(zhǎng)（或能量）分開，分別測(cè)量不同波長(zhǎng)（或能量）的X射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X射線熒光光譜儀。分類能量色散型波長(zhǎng)色散型1.X射線熒光光譜儀的分類用X射線照射試樣時(shí)，試樣可以被激發(fā)出各種波長(zhǎng)的熒光X射線，需32.波長(zhǎng)色散型X射線熒光光譜儀波長(zhǎng)色散型X射線熒光光譜儀由X射線源、準(zhǔn)直器、分光晶體和檢測(cè)器、記錄裝置等部分組成，它們分別起到激發(fā)、色散、探測(cè)和顯示的作用。下圖是波長(zhǎng)色散型X射線熒光光譜儀結(jié)構(gòu)示意圖。2.波長(zhǎng)色散型X射線熒光光譜儀波長(zhǎng)色散型X射線熒光光譜儀由42.1X射線激發(fā)源由X射線管所發(fā)生的一次X射線的連續(xù)光譜和特征光譜是X射線熒光分析中常用的激發(fā)源。初級(jí)X射線的波長(zhǎng)應(yīng)稍短于受激元素的吸收限，使能量最有效地激發(fā)分析元素的特征譜線。2.1X射線激發(fā)源由X射線管所發(fā)生的一次X射線的連續(xù)光譜和52.2晶體分光器X射線的分光主要利用晶體的衍射作用，因?yàn)榫w質(zhì)點(diǎn)之間的距離與X射線波長(zhǎng)同屬一個(gè)數(shù)量級(jí)，可使不同波長(zhǎng)的X射線熒光散射，然后選擇被測(cè)元素的特征X射線熒光進(jìn)行測(cè)定。晶體分光器可分為平面晶體和彎曲晶體分光器。2.2晶體分光器X射線的分光主要利用晶體的衍射作用，因?yàn)榫?2.3檢測(cè)器X射線檢測(cè)器是用來(lái)接收X射線，并把它轉(zhuǎn)化為可測(cè)量或可觀察的量，如可見光、電子脈沖和徑跡等，然后通過(guò)電子測(cè)量裝置，對(duì)這些量進(jìn)行測(cè)量。X射線熒光光譜儀中常用的檢測(cè)器有正比計(jì)數(shù)器、閃爍計(jì)數(shù)器和半導(dǎo)體計(jì)數(shù)器。2.3檢測(cè)器X射線檢測(cè)器是用來(lái)接收X射線，并把它轉(zhuǎn)化為可測(cè)7當(dāng)X射線照射到閃爍晶體上時(shí)，閃爍體能瞬間發(fā)出可見光。利用光電倍增管可將這種閃爍光轉(zhuǎn)換成電脈沖，再用電子測(cè)量裝置把它放大和記錄下來(lái)，即構(gòu)成了閃爍計(jì)數(shù)器當(dāng)X射線照射到閃爍晶體上時(shí)，閃爍體能瞬間發(fā)出可見光。利用光電8X射線熒光分析儀構(gòu)造及原理課件92.4檢測(cè)器記錄系統(tǒng)有放大器、脈沖高度分析器、記錄和顯示裝置組成。其中脈沖高度分析器的作用是選取一定范圍的脈沖幅度，將分析線脈沖從某些干擾線和散射線中分辨出來(lái)，以改善分析靈敏度和準(zhǔn)確度。2.4檢測(cè)器記錄系統(tǒng)有放大器、脈沖高度分析器、記錄和顯示裝103.能量色散型X射線熒光光譜儀能量色散型X射線熒光光譜儀不采用晶體分光系統(tǒng)，而是利用半導(dǎo)體檢測(cè)器的高分辨率，并配以多道脈沖分析器，直接測(cè)量樣品試樣X(jué)射線熒光的能量，使儀器的結(jié)構(gòu)小型化，輕便化。波長(zhǎng)色散型能量色散型3.能量色散型X射線熒光光譜儀能量色散型X射線熒光光譜儀不11來(lái)自試樣的X射線熒光依次被半導(dǎo)體檢測(cè)器檢測(cè)，得到一系列幅度和光子能量呈正比的脈沖，經(jīng)放大器放大后送到多道脈沖幅度分析器。按脈沖幅度的大小分別統(tǒng)計(jì)脈沖