氣體純化技術(shù)課件

氣體純化技術(shù)技術(shù)基于：氣體純化技術(shù)技術(shù)基于：1Purification基于“FAB”模式純化所有的大宗氣體（N2、O2、Ar、He、和CAD）可以將純度低于1ppb的氣體純度提高到0.1ppb產(chǎn)氣流量范圍從10M3/hr到3000M3/hr。對大量的特氣也能純化。Purification基于“FAB”模式純化所有的大宗氣體2PureGasTechnologies吹掃/柜式純化器點(diǎn)使用式純化器區(qū)域純化器大型純化器PureGasTechnologies吹掃/柜式純化器3BulkGasPurificationTechnologies材料及操作原則雜質(zhì)去除應(yīng)用BulkGasPurificationTechnolo4MaterialsGetters:均質(zhì)金屬（無支撐）：球狀鋯、釩、鈦SupportedMetals:支撐性材料、反應(yīng)金屬：球狀銅、鎳、鉑、保護(hù)性物質(zhì)Zeolites：均質(zhì)金屬：球狀、分子篩MaterialsGetters:5Operation純化進(jìn)程1、催化氧化2、物理吸收3、化學(xué)吸收Operation純化進(jìn)程6催化氧化催化氧化進(jìn)程：將甲烷、非甲烷碳?xì)浠衔镅趸疌O2和H2O。方法：催化器+加溫+O2保護(hù)性物質(zhì)+鉑，300~400℃

，富氧環(huán)境反應(yīng)過程：

2H2+O2=2H2O2CO+1O2=2CO21CH4+2O2=1CO2+2H2O催化氧化催化氧化進(jìn)程：將甲烷、非甲烷碳?xì)浠衔镅趸疌O2和H7催化氧化N2/ArO2COH2CH4CO2H2OH2OCO2CO2H2OPdPdOOO2PdO催化氧化N2/ArO2COH2CH4CO2H2OCO2CO28物理吸收分子篩優(yōu)點(diǎn)：1、能有效去除CO2與H2O（不去除O2）2、筒室溫度可控3、進(jìn)程在高溫下完全可逆缺點(diǎn)：1、常量普通

物理吸收分子篩9物理吸附N2/ArO2COH2CH4CO2H2OCO2H2OH2OH2OCO2物理吸附N2/ArO2COH2CH4CO2H2OCO2H2O10化學(xué)吸收支撐性金屬（吸收器）：銅、鎳、等優(yōu)點(diǎn)：1、金屬能化學(xué)吸附O2、CO、H22、金屬網(wǎng)格能物理吸附H2O與CO23、筒室溫度可控4、進(jìn)程在高溫下完全可逆：NiO+H2+加溫=Ni+H2O5、局部壓力不會(huì)造成重大影響化學(xué)吸收支撐性金屬（吸收器）：銅、鎳、等11化學(xué)吸附——支撐性金屬N2/ArCOH2H2OCO2NiNiOO2NiOONiNi化學(xué)吸附——支撐性金屬N2/ArCOH2H2OCO2NiNi12化學(xué)吸收捕獲器：鋯、釩、鈦、等優(yōu)點(diǎn)：1、化學(xué)方式吸收N2、CH4、O2、H2O、CO、H2、CO22、筒室溫度可控（低產(chǎn)量）或加熱過程最優(yōu)化3、相對較高的產(chǎn)量4、局部壓力不會(huì)造成重大影響化學(xué)吸收捕獲器：鋯、釩、鈦、等13化學(xué)吸附——捕獲器He/ArHZrZrOO2ZrNCZrCO2/CON2CH4化學(xué)吸附——捕獲器He/ArHZrZrOO2ZrNCZrCO14熱擴(kuò)散表面雜質(zhì)擴(kuò)散至大宗氣體300-4000CZrCZrNZrO熱擴(kuò)散表面雜質(zhì)15氧氣純化工藝催化床吸附床物理吸附H2OH2CH4CO+O2CO2+H2OCO2氧氣純化工藝物理吸附H2OH2CH4CO+O2CO2+H2O16PS6裝配圖PS6裝配圖17儀表氣體系統(tǒng)圖儀表氣體系統(tǒng)圖18PS6PS619純化器人機(jī)界面STATUS指示性的顯示系統(tǒng)狀態(tài)TIME為當(dāng)前進(jìn)行步驟計(jì)時(shí)TEMP&PRESSURE指示性的顯示當(dāng)前的壓力溫度FLOW當(dāng)前進(jìn)程氣體流量數(shù)純化器人機(jī)界面STATUS20人機(jī)界面按鍵在任何界面下激活目錄條回到主界面在任何界面下進(jìn)入報(bào)警和警告界面關(guān)閉報(bào)警聲提高/減低所需值在多個(gè)文檔中切換人機(jī)界面按鍵在任何界面下激活目錄條21人機(jī)界面操作按下后出現(xiàn)的界面：Restart：啟動(dòng)初純化器，或者在出現(xiàn)報(bào)警后取消報(bào)警并重啟純化器。Details:深入顯示當(dāng)前系統(tǒng)的控制點(diǎn)參數(shù)。Alarms:激活報(bào)警界面，顯示激活的報(bào)警，警告及信息。Events:激活歷史事件表，顯示最多500條歷史事件。人機(jī)界面操作按下后出現(xiàn)的22人機(jī)界面操作按下

后的界面人機(jī)界面操作按下后的界面23人機(jī)界面操作人機(jī)界面操作24人機(jī)界面操作人機(jī)界面操作25故障處理故障報(bào)警界面：按下后顯示的界面。故障處理故障報(bào)警界面：26故障處理當(dāng)出現(xiàn)故障的時(shí)候STATUS信息會(huì)從SystemOK變到閃爍的Alarm、Warning信息。ACCEPT:點(diǎn)擊確認(rèn)單個(gè)報(bào)警信息。ALL：點(diǎn)擊確認(rèn)所有報(bào)警信息。ACCEPT后的警報(bào)信息會(huì)顯示為灰色未ACCEPT得警報(bào)信息會(huì)顯示為紅色信息代碼：<A>表示Alarm<W>表示W(wǎng)arning氣\FaultReporting.xml故障處理當(dāng)出現(xiàn)