無塵室異物對策課件

Pae我程教育訓(xùn)練教材少無塵室之異物對策Pae我程教育訓(xùn)練教材少1PANEL程教育教材2/67異物對策異物不良左右CMO製造TF機(jī)能的良率原因之一異物*因此’針對工廠全體之所有異物施以對策進(jìn)而達(dá)到製品品質(zhì)穩(wěn)定之目的使用材料丶使用設(shè)備、治工具類丶對人對策備品類丶文具類、消耗品和其他*若和般環(huán)境中之製造業(yè)比較’必須付岀數(shù)倍的投資額與維持費(fèi)用所有異物對策之目的PANEL程教育教材2PANEL程教育教材異物對策異物成何種不良Aray工程發(fā)生大批paen不良斷路、短路2Panel工程發(fā)生大批之pattern不良電氣特性及表示畫面不良3)模組工程電氣特性不良BL異物不良。畫面不良的原因PANEL程教育教材3PANEL程教育教材異物對策異物是何種尺寸的東西在一般家庭中岀現(xiàn)那樣大的物質(zhì)稱爲(wèi)垃圾以um尺寸(size)爲(wèi)單位的物質(zhì)稱爲(wèi)異物。異物尺寸從最大數(shù)μum到需用電子顯微鏡觀察碓認(rèn)的0.01m之物質(zhì)皆有現(xiàn)在的牛導(dǎo)體業(yè)已經(jīng)從64M0.28μm更進(jìn)一步256M0.2um的Pattern配線,必需要求同程度以下的異物對策人的頭髮百徑大約在50~70umTFT的配線大約在6um的程度PANEL程教育教材4PANEL程教育教材5/67異物對策工廠的異物管理米依ArrayPanelModule之不同,對異物大小sie)所訂定之管理辦法亦不同米Aray無麈室(全室)管理等級訂定100Panel管理等級訂定100~1000Module部份的管理等級訂定10000-10000PANEL程教育教材5PANEL程教育教材6/67異物對策異物從何處進(jìn)入?與人的衣服丶鞋子和搬人物一趄從入口帶進(jìn)細(xì)室*與材料、臺車、消耗品丶客器等物質(zhì)一趄帶進(jìn)*從設(shè)備和工具·保修部品等帶進(jìn)*從管理表和記錄用紙丶筆記文具等帶進(jìn)從器貝備品丶棚架和臺車帶進(jìn)上物件被異物附著後,如未除去,不能進(jìn)入無塵室中PANEL程教育教材6PANEL程教育教材7/67異物對策異物如何進(jìn)入付著在物品上進(jìn)般的異物都是付著在入物而進(jìn)入的·萬一沒有被去除而搐入時’異物一定會進(jìn)入無摩室*人員揣入鞋子和無摩服和食物丶手提袋.等’會帶入污染物*從環(huán)境破壞而人從門縫丶建築縫原丶天花板的間隙原..等·建築物的不良部份侵入PANEL程教育教材7PANEL程教育教材8/67異物對策異物如何產(chǎn)生*金屬丶塑膠、大部份的物品孿捺擦?xí)r’一定會有異物產(chǎn)生*加工時所使用的托盤及通箱’在取放製晶時,會因摩擦而產(chǎn)生異物。材料的角邊和材質(zhì)會產(chǎn)生異物。在TFT基板表面加工的加工途中,材料的角邊和材質(zhì)會因劊落而產(chǎn)生異物有摩的地方、部份等,全部會駛座PANEL程教育教材8PANEL程教育教材9/67異物對策實(shí)際上從哪裡產(chǎn)生的*裝置驅(qū)動的地方就是產(chǎn)生異物的地方齒輪丶輸帶丶輸機(jī)丶鍊子.等·會摩擦的地方爲(wèi)發(fā)麈源。關(guān)於膠帶類的接著材的接著部份’在經(jīng)過一定期誾後·接著劑會因乾燥而變成異物,另外膠帶旁會有細(xì)小的異物付著人體會有很多細(xì)小的異物產(chǎn)生。皮膚·毛髮、體毛,等異物會產(chǎn)生PANEL程教育教材9PANEL程教育教材l0/67異物對策有哪些種類的異物存在?麈埃類土類丶油類丶煙類丶塑膠類、其它*金蜃類奘冒類丶器貝備品類丶保管庫丶其它衹類包裝紙丶梱包用紙丶記錄用紙丶膠帶丶筆記文貝頭髮丶手垢丶衣服類丶皮膚丶其它般雖統(tǒng)稱爲(wèi)異物’但在工場及其內(nèi)部環(huán)境所發(fā)生的異物是各式各樣PANEL程教育教材10無塵室異物對策課件11無塵室異物對策課件12無塵室異物對策課件13無塵室異物對策課件14無塵室異物對策課件15無塵室異物對策課件16無塵室異物對策課件17無塵室異物對策課件18無塵室異物對策課件19無塵室異物對策課件20無塵室異物對策課件21無塵室異物對策課件22無塵室異物對策課件23無塵室異物對策課件24無塵室異物對策課件25無塵室異物對策課件26無塵室異物對策課件27無塵室異物對策課件28無塵室異物對策課件29無塵室異物對策課件30無塵室異物對策課件31無塵室異物對策課件32無塵室異物對策課件33無塵室異物對策課件34無塵室異物對策課件35無塵室異物對策課件36無塵室異物對策課件37無塵室異物對策課件38無塵室異物對策課件39無塵室異物對策課件40無塵室異物對策課件41無塵室異物對策課件42無塵室異物對策課件43無塵室異物對策課件44無塵室異物對策課件45無塵室異物對策課件46無塵室異物對策課件47無塵室異物對策課件48無塵室異物對策課件49無塵室異物對策課件50無塵室異物對策課件51無塵室異物對策課件52無塵室異物對策課件53無塵室異物對策課件54無塵室異物對策課件55無塵室異物對策課件56無塵室異物對策課件57無塵室異物