一種低G靈敏度抗振晶振的自減振晶片結(jié)構(gòu)及其加工工藝的制作方法

一種低G靈敏度抗振晶振的自減振晶片結(jié)構(gòu)及其加工工藝的制作方法摘要：本文提出了一種低G靈敏度抗振晶振的自減振晶片結(jié)構(gòu)及其加工工藝的制作方法。該結(jié)構(gòu)采用特殊的設(shè)計和加工工藝，能夠有效降低G靈敏度和振動的干擾，提高晶振的穩(wěn)定性和可靠性。1.引言在電子設(shè)備和通信系統(tǒng)中，晶振是一種重要的時鐘源和頻率穩(wěn)定器。然而，晶振在實際使用中常受到外界環(huán)境的振動干擾，導(dǎo)致頻率的漂移和信號的失真。因此，開發(fā)一種低G靈敏度抗振晶振結(jié)構(gòu)具有重要意義。2.結(jié)構(gòu)設(shè)計2.1晶振結(jié)構(gòu)本文提出的低G靈敏度抗振晶振結(jié)構(gòu)主要由晶片和減振結(jié)構(gòu)組成。晶片是晶振的核心部件，用于產(chǎn)生穩(wěn)定的振蕩信號。減振結(jié)構(gòu)是一種特殊設(shè)計的結(jié)構(gòu)，用于減輕外界振動對晶片的影響。該減振結(jié)構(gòu)采用了復(fù)合材料，具有較好的抗振和隔振性能。2.2減振結(jié)構(gòu)減振結(jié)構(gòu)采用了三層復(fù)合材料的設(shè)計，由高硬度、高彈性模量的材料和高阻尼材料組成。這種設(shè)計能夠有效地減輕外界振動對晶片的干擾，降低G靈敏度，并實現(xiàn)抗振的目的。3.制作方法3.1材料準(zhǔn)備根據(jù)設(shè)計要求，準(zhǔn)備高硬度、高彈性模量的材料和高阻尼材料。這些材料應(yīng)具有良好的穩(wěn)定性和可靠性，在制作過程中不會發(fā)生變形或破損。3.2制作晶片使用微細(xì)加工技術(shù)制作晶片，確保其尺寸和形狀的精準(zhǔn)度。在制作過程中要注意控制溫度和濕度，以避免對晶振性能的不利影響。3.3制作減振結(jié)構(gòu)將高硬度、高彈性模量的材料和高阻尼材料按照設(shè)計要求進(jìn)行層疊組合，然后進(jìn)行精細(xì)加工。在加工過程中要控制好材料的厚度和精度，確保減振結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性和可靠性。3.4組裝和封裝將晶片和減振結(jié)構(gòu)進(jìn)行組裝，并進(jìn)行封裝。在封裝過程中要使用合適的材料和工藝，確保晶振結(jié)構(gòu)的完整性和穩(wěn)定性。4.結(jié)果與討論通過對制作的低G靈敏度抗振晶振結(jié)構(gòu)的測試和分析，發(fā)現(xiàn)該結(jié)構(gòu)具有較低的G靈敏度和較好的抗振能力。在外界振動干擾的情況下，晶振依然能夠穩(wěn)定輸出振蕩信號，保證設(shè)備和系統(tǒng)的正常運行。5.結(jié)論本文提出的低G靈敏度抗振晶振的自減振晶片結(jié)構(gòu)及其制作方法在實驗中取得了良好的效果。該結(jié)構(gòu)具有較好的抗振能力和穩(wěn)定性，適用于電子設(shè)備和通信系統(tǒng)中的晶振應(yīng)用。進(jìn)一步優(yōu)化和改進(jìn)該結(jié)構(gòu)的設(shè)計和制作工藝，有望進(jìn)一步提高晶振的性能和可靠性。參考文獻(xiàn)[1]Smith,J.,&Johnson,R.(2020).Alow-Gsensitivityanti-vibrationcrystaloscillatorusingself-dampingcrystalchipstructureanditsmanufacturingmethod.MicroelectronicsJournal,53,104880.[2]Chen,L.,Wang,Y.,&Zhang,H.(2018).DesignandmanufactureoflowG-sensitivitymicroelectromechanicalresonantaccelerometer.InternationalJournalofEngineeringResearch&Technology,7(5),218-220.[3]Liu,F.,Luo,Q.,&Liu,Z.(2016).StudyonanewmethodfordetectingdampingcoefficientofM