一種組合式真空機(jī)組的制作方法

一種組合式真空機(jī)組的制作方法背景真空機(jī)組作為一種應(yīng)用廣泛的設(shè)備，在航空航天、電子制造、醫(yī)療設(shè)備、化學(xué)制品等諸多領(lǐng)域中都有著廣泛的應(yīng)用。其中，組合式真空機(jī)組充分利用多個(gè)單元的優(yōu)勢(shì)，從而提高了設(shè)備的整體性能。本文將介紹一種組合式真空機(jī)組的制作方法。原理介紹組合式真空機(jī)組主要由多個(gè)單元組成，每個(gè)單元負(fù)責(zé)不同的工作，如成膜、退火、清洗等。這些單元可以根據(jù)需要組合成不同的結(jié)構(gòu)和數(shù)量，以滿(mǎn)足不同的工藝要求。在制作組合式真空機(jī)組時(shí)，需要考慮好整體結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)、單元的位置、相鄰單元之間的密閉性等因素。其中，具體的原理包括以下幾個(gè)方面：真空環(huán)境的產(chǎn)生：通過(guò)機(jī)械泵或分子泵等真空泵，將排氣室內(nèi)的氣體抽出，達(dá)到所需的真空度。高溫處理：通過(guò)電爐、輻射加熱機(jī)或激光加熱等方式，對(duì)樣品進(jìn)行高溫處理，以實(shí)現(xiàn)所需的工藝要求。涂層生長(zhǎng)：在恒溫與恒壓的條件下，采用分子束外延、化學(xué)氣相沉積等方法生長(zhǎng)膜層，以改善電子器件性能。離子束清洗：利用離子束轟擊表面，去除雜質(zhì)、氧化物等物質(zhì)，提高表面質(zhì)量及性能。以上原理為組合式真空機(jī)組的主要原理，制作組合式真空機(jī)組需要考慮這些原理，并將其統(tǒng)一組合起來(lái)。制作流程以下為制作組合式真空機(jī)組的流程，具體步驟如下：1.設(shè)計(jì)總體結(jié)構(gòu)首先需要根據(jù)工藝要求和客戶(hù)需求，設(shè)計(jì)整體結(jié)構(gòu)，并確定單元的數(shù)量和排布方式。設(shè)計(jì)過(guò)程需要考慮密閉性、可靠性、維護(hù)性和占地面積等問(wèn)題。設(shè)計(jì)完成后，需要進(jìn)行仿真分析，以確保整體性能和安全性。2.設(shè)計(jì)單元結(jié)構(gòu)根據(jù)工藝流程和工作要求，設(shè)定單元數(shù)量和型號(hào)，并確定其排布方式。每個(gè)單元模塊應(yīng)該包括真空室、加熱系統(tǒng)、靶材或樣品支架、氣路和電路等組成部分。在設(shè)計(jì)單元結(jié)構(gòu)時(shí)，還需要考慮氣路和電路的連通方式和方便維修的方法。3.制作真空室真空室的制作是組合式真空機(jī)組中的重要步驟。真空室需要具備好的密閉性和強(qiáng)度，能夠承受高溫高壓條件下的工作。制作真空室需要選用合適的材料，如不銹鋼、鋁合金等，采用焊接、激光切割等工藝完成。華北制造平臺(tái)可以提供相關(guān)設(shè)備和技術(shù)支持。4.真空泵及渦輪分子泵組裝真空泵及分子泵是組合式真空機(jī)組中的關(guān)鍵設(shè)備，其性能和組裝方式直接影響整個(gè)機(jī)組的工作效率和穩(wěn)定性。這里需要根據(jù)需要選用不同類(lèi)型的泵組合，如機(jī)械泵+分子泵、渦輪分子泵等，并進(jìn)行緊密組裝，確保泵和其他部件之間的連接后密封性良好。5.單元組裝及聯(lián)通在單元組裝及聯(lián)通環(huán)節(jié)，需要將制作好的單元逐一安裝到整個(gè)機(jī)體上，并注意單元之間的連通方式和配合度。此外，還需要注意單元之間的隔離和復(fù)位問(wèn)題。這里涉及機(jī)械調(diào)試和電氣連線等方面。6.真空測(cè)試及整機(jī)調(diào)試整機(jī)組裝完成后，需要進(jìn)行真空度測(cè)試，以確保其性能達(dá)到要求。測(cè)試過(guò)程主要包括漏氣測(cè)試、真空泄漏測(cè)試、漏率測(cè)試等，并記錄相關(guān)數(shù)據(jù)。在完成測(cè)試后，需要進(jìn)行整機(jī)調(diào)試，包括加熱測(cè)試、真空泵試泵及其他的實(shí)際應(yīng)用測(cè)試等等。結(jié)論組合式真空機(jī)組是一種高效、靈活的真空設(shè)備，其制作需要