金屬防腐清洗劑

用來化學(xué)機(jī)械拋光、刻蝕、沉積等防腐的產(chǎn)品金屬防腐清洗劑01前言參考配方基本信息常見類型目錄030204基本信息金屬防腐清洗劑廣泛應(yīng)用于化學(xué)機(jī)械拋光、刻蝕、沉積以及其它保護(hù)步驟中，該清洗液降低了對(duì)后續(xù)工藝的干擾，大大降低了金屬材料的表面點(diǎn)蝕，減低了表面腐蝕程度。從而降低了缺陷，提高了清洗效率和產(chǎn)品優(yōu)良率，增加了收益率，大大改善了金屬表面的平坦度質(zhì)量。前言前言該清洗液廣泛應(yīng)用于化學(xué)機(jī)械拋光、刻蝕、沉積以及其它保護(hù)步驟中，該清洗液降低了對(duì)后續(xù)工藝的干擾，大大降低了金屬材料的表面點(diǎn)蝕，減低了表面腐蝕程度。從而降低了缺陷，提高了清洗效率和產(chǎn)品優(yōu)良率，增加了收益率，大大改善了金屬表面的平坦度質(zhì)量?；拘畔⒒A(chǔ)配方使用工藝組分機(jī)理基本信息基礎(chǔ)配方將一定分量的各組分（有機(jī)羧酸化學(xué)添加劑（0~5）、有機(jī)膦酸化學(xué)添加劑（0~0.5）、有機(jī)磺酸化學(xué)添加劑（0~1）、氨基酸化學(xué)添加劑（0.5~5）、聚合物金屬防腐抑制劑(10~5000mg/L)、含氮雜環(huán)化合物（0~1）、載體加至100混合均勻即可。組分機(jī)理1）絡(luò)合劑：一般選用氨基羧化合物及其鹽、有機(jī)羧酸及其鹽、有機(jī)膦酸及其鹽的一種或多種。有機(jī)羧酸為檸檬酸、草酸、酒石酸、琥珀酸或馬來酸中的一種或多種混合物；有機(jī)膦酸為烷基膦酸、苯基膦酸、1-羥基乙烯基-1,1-二膦酸、亞甲基磷酸、乙烯基二胺-4-亞甲基磷酸、環(huán)丁烷基三胺-5亞甲基膦酸或多氨基多醚基四亞甲基膦酸中的一種或多種的組合；有機(jī)磺酸為甲基磺酸、乙基磺酸、二甲基磺酸或丁基磺酸內(nèi)酯的一種或多種的組合；含氮氨基酸為甘氨酸、丙氨酸、亮氨酸、異亮氨酸、胱胺酸、半胱氨酸、甲硫氨酸、蘇氨酸、絲氨酸、苯丙氨酸、色氨酸、谷氨酸、天門冬氨酸、賴氨酸、中一種或多種。2）防腐抑制劑：該清洗液中運(yùn)用聚合物金屬防腐抑制劑為聚丙烯酸類化合物、丙烯酸類化合物與苯乙烯的共聚化物、丙烯酸類化合物與順丁烯二酸酐的共聚化合物、丙烯酸類化合物與丙烯酸酐類的聚化合物、膦?；人峁簿畚铩⒅幸环N或多種；相對(duì)分子量為2000~.其中較好的是相對(duì)分子量在5000~的聚丙烯酸。使用工藝1）壓力1.0~2psi、拋光盤的轉(zhuǎn)速50~70r/min、拋光頭轉(zhuǎn)速70~90r/min、拋光液流速200~300ml/min、拋光時(shí)間1~2min;2)然后在壓力1.5psi、拋光盤的轉(zhuǎn)速25r/min、拋光頭轉(zhuǎn)速25r/min，使用本清洗液，流速300ml/min、拋光時(shí)間0.5~1min;3)用清洗液及聚乙烯醇滾刷對(duì)晶片表面進(jìn)行刷洗2min,滾刷轉(zhuǎn)速為300r/min,清洗頭轉(zhuǎn)速280r/min,清洗劑液流量300ml/min;4）再用去離子水及PVA滾刷刷洗2min，滾刷轉(zhuǎn)速為300r/min，清洗頭轉(zhuǎn)速280r/min，去離子水流量300ml/min.參考配方參考配方投料比成分說明檸檬酸1~2苯基膦酸0~0.5二甲基磺酸0~1甲硫氨酸0~0.05聚丙烯酸常見類型常見類型金屬油污清洗劑、鋁材清洗劑、超聲波清洗劑、水基清洗劑、無磷清洗劑、發(fā)動(dòng)機(jī)清洗劑、汽車清洗劑、電解脫脂劑、無磷脫脂劑、中性脫脂劑、鋁酸脫脂劑、鋼鐵脫脂劑、水性脫脂劑、化學(xué)脫脂劑、除