微納米制造技術(shù)_第1頁
微納米制造技術(shù)_第2頁
微納米制造技術(shù)_第3頁
微納米制造技術(shù)_第4頁
微納米制造技術(shù)_第5頁
已閱讀5頁，還剩6頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

微納米制造技術(shù)組別：重案六組先進制造技術(shù)先進制造技術(shù)前言微納米技術(shù)（MEMS,nanotechnology）為微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)和納米科學(xué)技術(shù)（nanoscienceandtechnology,nanoST）的簡稱，是20世紀(jì)80年代末在美國、日本等發(fā)達國家興起的高新科學(xué)技術(shù)。由于其巨大的應(yīng)用前景，因此自問世以來微納米技術(shù)受到了各國政府和學(xué)者的普遍重視，是當(dāng)前科技界的熱門研究領(lǐng)域之一。微納米技術(shù)的研究和發(fā)展必將對21世紀(jì)的航空、航天、軍事、生命科學(xué)和健康保健、汽車工業(yè)、仿生機器人、家用電器等領(lǐng)域產(chǎn)生深遠的影響。先進制造技術(shù)目錄Contents微納米制造技術(shù)基本概念微納米制造技術(shù)分類光刻工藝刻蝕工藝復(fù)型工藝先進制造技術(shù)微納米制造技術(shù)基本概念

微機電系統(tǒng)技術(shù)主要涉及0.1μm到數(shù)毫米尺度范圍內(nèi)的傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)的研究開發(fā)，它以單晶硅為基本材料，以光刻并行制造為主要加工特點，采用微電子工藝設(shè)備結(jié)合其他特殊工藝設(shè)備作為加工手段。納米尺度一般是指1～100nm，納米科學(xué)是研究納米尺度范疇內(nèi)原子、分子和其他類型物質(zhì)運動和變化的科學(xué)，而在同樣尺度范圍內(nèi)對原子、分子等進行操縱和加工的技術(shù)則稱為納米技術(shù)，納米尺度的機電系統(tǒng)則稱作納機電系統(tǒng)。納米技術(shù)源于半導(dǎo)體集成電路（IC）工業(yè)，其織造工藝鏈由晶元制備、電路制造、測試封裝等三個環(huán)節(jié)組成。其中，以電路制造過程最為復(fù)雜，包括氣相沉積、光學(xué)光刻、刻蝕、離子注入和引線等。決定IC特征尺寸大小的關(guān)鍵和瓶頸技術(shù)是光刻環(huán)節(jié)。其特點是：技術(shù)含量最高、投資量最大、更新速度最快。先進制造技術(shù)納米制造技術(shù)分類按加工的方式：自上向下（top-down）:用宏觀的塊體材料（Si,GaAs等），通過加工去掉多余的部分，剩下的部分構(gòu)成納米器

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論