HTR-01 桌式4英寸快速退火爐_第1頁
HTR-01 桌式4英寸快速退火爐_第2頁
全文預(yù)覽已結(jié)束

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

HTR-01桌式4英寸快速退火爐HTR-01A快速退火爐系列采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)4寸晶圓片吋樣品快速升溫和降溫，同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng)，可達(dá)到極佳的溫場(chǎng)均勻性，對(duì)材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氮化(RTN)、快速熱氧化(RTO)及金屬合金化等研究和生產(chǎn)起到重要作用。主要應(yīng)用領(lǐng)域：快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN);離子注入/接觸退火;金屬合金;熱氧化處理;化合物合金(砷化家、氮化物等);多晶硅退火;太陽能電池片退火;高溫退火;高溫?cái)U(kuò)散。產(chǎn)品特點(diǎn)●

快速加熱和降溫:

可控升溫速率可達(dá)50℃/s，特定條件下可以達(dá)到100℃/s。冷壁水冷設(shè)計(jì)能夠達(dá)到較大的降溫速率，特定條件下可達(dá)30℃/s?！?/p>

控溫:

采用工業(yè)級(jí)溫控器進(jìn)行PID控溫，目標(biāo)溫度與設(shè)定溫度曲線一致性高，可實(shí)現(xiàn)室溫至1200℃的溫度控制。●

適應(yīng)多種工藝環(huán)境:

滿足多種工藝氣氛下的熱處理（氮?dú)?、氬氣等）。同時(shí)，通過選配真空泵，可以在真空條件下進(jìn)行退火，真空度可達(dá)10-5Pa?！?/p>

配備觀察窗口:

通過觀察窗口，可以實(shí)時(shí)觀察熱處理過程中的樣品變化。同時(shí)，可以結(jié)合相關(guān)測(cè)試方法進(jìn)行原位測(cè)試分析?！?/p>

超高安全系數(shù):

采用爐壁超溫報(bào)警系統(tǒng)和冷卻水流量報(bào)警系統(tǒng)，全方位保障儀器使用安全?！?/p>

售后服務(wù)：，能快速反應(yīng)客戶售后需求。樣品尺寸4英寸（直徑20mm）控溫范圍RT~1200℃升溫速率(max)50℃/s高溫段降溫速率（max）600℃/min溫度均勻性≦1%控溫精度±0.1℃氣體流量標(biāo)配1路，可擴(kuò)展至多路放樣管徑Ф210mm*320mm放樣數(shù)量4-10個(gè)真空度真空度可以達(dá)到10-5控制方

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論