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文檔簡介
、電子束入射固體樣品表面會(huì)激發(fā)哪些信號?它們有哪些特點(diǎn)和用途?答:具有高能量的入射電子束與固體樣品表面的原子核以及核外電子發(fā)生作用,產(chǎn)生下圖理:①背散射電子子中電于0的些射子其上化彈入子產(chǎn)彈造發(fā)幾納子作僅也襯分。②二電子二次電子是出二面50-500?的域量為0-0V自試樣表積多別所二子分較一可到-0?描子鏡分辨就分決表形。③吸電子假有沒透射電產(chǎn)生,額較。④透電子如果樣品厚度小于入樣成射它進(jìn)衍方射信彈射E用損子進(jìn)析。⑤特性X射線特征X射線是原和波長的波的X射線波長具有間定進(jìn)。如果用X射線探應(yīng)。⑥俄電子如果原子內(nèi)層電釋以X射線的將另子脫變子電電子在50-100eV范圍之于化分。、電分受素,同號時(shí)分有同掃描電鏡的分辨率是指用何種信號成像時(shí)的分辨率?測的部數(shù)電三號其相表:號 次子背射電子辨率 5~10 000(nm)
收子100~00
特征X線俄電子10100 5~10電指號率。3、掃描電鏡的成像原理與透時(shí)電鏡有何不同?答電像利樣發(fā)來。4、二次電子像和背散射電子像在顯示表面形貌襯度時(shí)有何相同與不同之處?答:相同處:均利用電子信號的強(qiáng)弱來行成形貌襯度同:①元,率電。②被利上子等處收。5說散子收像子度原并明析中元素的。答:右圖顯示原子序數(shù)對背散射電子產(chǎn)額的影響。隨著原子數(shù)Z大的微區(qū),背散射電子信號強(qiáng)度較高,可以根據(jù)背散射電子像的亮暗襯度來判斷相應(yīng)區(qū)域原子序數(shù)的相對高低,屬進(jìn)成。對感。由入射電子束于樣:i=i+i+ii式I BATSiii和i分別代表背散射電子,I B T S透射電子,二次電子的電流,而i對A電表:i=i+i+i,由于二次電子信號與原子設(shè)i=C),則吸收子I BA S S流:i=i)-i在收散A I B。因。電相必。奧氏體鑄鐵的顯微組織(a)背散射電子像(b)吸收電子像在圖上可以看出,在背散射電子像上的石墨條呈現(xiàn)暗的襯度,而在吸收電子像上呈現(xiàn)亮的襯度。6當(dāng)束重輕時(shí)作有同自信辨何特?:用積 辨率元素 滴狀高重元素 半球狀 低①品俄二因量較電子的樣品表層厚度約為0.5-2n為5-m范圍入子的兩相。②表較率分子距。7、二次電子像景深很大,樣品凹坑底部都能清楚地顯示出來,從而使圖像的立體感很強(qiáng),其原因何在?答:用二次電子信號作形貌分析時(shí),在檢測器收集柵上加以一定大小的正電壓(一般為20-0,來吸引能量較低的二次電子,使它們以弧線路線進(jìn)入閃爍體,這樣在樣品表面出清。一、題1(B。.;.二電子C.;。2(B。.和.和電子成0.和成45o.和子成0。3、可以探面1m層厚的樣品成分信息的物理信號是(D。.;.吸電子C.特征X射線;.。二、題1×)2、掃描電子顯微鏡√)3、掃描電子顯微鏡的襯度和透射電鏡一樣取決于質(zhì)厚襯度和衍射襯度(×)4、掃描電子顯微鏡(√)題1生背散子、、子、征X線、子、電子理。2、描顯鏡放數(shù)陰射電在光上掃度電槍束在是亮是暗襯。3、率的信是俄歇或子為5m,分最物號是特征X線為10nm以上。4指二次子率5代金相顯鏡料金相察可對口析。6是子和背散射電子。7、掃描電子顯微鏡是電子光學(xué)系統(tǒng),信號收集處理、圖像顯示和記錄系統(tǒng),真空系統(tǒng)三個(gè)本分成。8、電子光學(xué)系統(tǒng)包括電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室。四、名詞解釋1、背電:入性。2、吸收電子入射電子品經(jīng)彈射損(假定樣夠厚,沒透射子產(chǎn)最被吸。收像以映子襯,樣也用性成。3、征X射線:原子的內(nèi)層電子受到激發(fā)以后,在能級躍遷過程能電征X射以分。4二面0?的為00V。示。5、俄歇電子以X線,。子于分。答題1、掃描電子顯微鏡有哪些特點(diǎn)?高辨率優(yōu)掃序襯。和透射電子顯微鏡表。2、掃描電子顯微鏡的放大倍數(shù)是如何調(diào)節(jié)的?試和透射電子顯微鏡作一比較。答大調(diào)掃況子束在幅A幅A掃倍S c數(shù)MA/A,通常照相用的陰極射線管熒光屏尺寸為100×100m,即A=100m,而電子束在cs c表掃幅A放S大數(shù)是隨A而如A=1mm放大為100;A=0.01mm為1s s s鏡的放大倍數(shù)從5到0萬倍。放放。是的放率通如10如0-20倍)的弱磁透鏡于1時(shí)于1如0磁步。大成級間鏡為行熒光屏或照相獲得0萬倍。時(shí)虛投鏡形縮實(shí)經(jīng)影大熒屏相上終可獲到子。的使倍關(guān)物減熒較查和確觀提供方便。3表面形貌
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