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薄厚膜集成電路薄厚膜集成電路1薄厚膜混合集成電路薄厚膜2參考教材:1,薄厚膜混合集成電路,國(guó)防工業(yè)出版社,1982,胡忠胥、梁瑞林等2.厚薄膜混合微電子學(xué)手冊(cè),電子工業(yè)出版社,2019,TapanKGupta3.混合微電路技術(shù)手冊(cè)一材料、工藝、設(shè)計(jì)、試驗(yàn)和生產(chǎn)電子工業(yè)出版社,2019,JamesJLicari,LeonardREnlow4.電子封裝工程,清華大學(xué)出版社,2019,田民波編著5.電子產(chǎn)品制造技術(shù),清華大學(xué)出版社,2019,王衛(wèi)平主參考教材:3課程內(nèi)容:混合集成電路發(fā)展簡(jiǎn)史及應(yīng)用實(shí)例混合電路中常用數(shù)學(xué)模型及設(shè)計(jì)、布圖規(guī)則厚膜電路工藝原理、使用材料和制作流程厚膜制造中的膜沉積技術(shù)薄膜材料的性質(zhì)及薄膜膜沉積技術(shù)電阻器阻值調(diào)整技術(shù)分立元器件組裝技術(shù)封裝技術(shù)及不同封裝材料的性能多芯片模塊介紹混合電路可靠性試驗(yàn)及失效分析課程內(nèi)容:4第一章引言混合集成電路(HC)、半導(dǎo)體集成電路(c)與分立元器件電路現(xiàn)代集成電路可分為半導(dǎo)體集成電路和厚薄膜混合集成電路兩大類(lèi),再加上散裝小型元器件的微型電路,統(tǒng)稱(chēng)為微電子電路第一章引言51分立元器件電路指電阻,電容,電感,晶體管等單一特征元件實(shí)體按照一定的電路形式,組成完成特定功能的實(shí)體。分立元器件電路一有源音箱1分立元器件電路6SMOVPO分立元器件電路—發(fā)射機(jī)≯體積大,能耗高,故障率高?,F(xiàn)主要用于實(shí)驗(yàn)、教學(xué)中。≯“用分立元件造P4的話(huà),大概有國(guó)家大劇院那么大”SMOVPO72半導(dǎo)體集成電路(|C)也叫單片集成電路(monolithic|C)其電路構(gòu)建在單晶基片上,電路中含有有源器件(晶體管、二極管等)、無(wú)源元件(電阻、電容等)及它們之間的互連導(dǎo)線,幾乎所有的電路元器件都是通過(guò)諸如外延生長(zhǎng)、掩模雜質(zhì)擴(kuò)散、氧化物生長(zhǎng)、氧化物刻蝕、定義圖形的光刻等這些工藝制造在基片內(nèi)。最后,內(nèi)部接觸用鋁與1%2%硅和2%-4%銅的合金做成。2半導(dǎo)體集成電路(|C)8|C可以從不同角度分類(lèi)Si集成電路()95%)材料<絕緣體上硅(SOl)鍺硅(SiGe)、砷化鎵(GaAs)、碳化硅(SiC)0.25霹(深亞微米0189m(超深亞微米)Mooe定律:C中晶體特征尺寸管的數(shù)目每隔兩年就翻65一番,芯片性能每18個(gè)月翻一番。|C可以從不同角度分類(lèi)9so的作用——解決閂鎖效應(yīng)CMOSINV與其寄生的BJ截面圖寄生BJ形成SCR的電路模型PTsubstate二氧化硅硅村能so的作用——解決閂鎖效應(yīng)10數(shù)字集成電路(門(mén)電路、存儲(chǔ)器、微處理器等)功能<模擬集成電路(運(yùn)算放大器、直流穩(wěn)壓電源、模由于集成電路體積小,使電子運(yùn)動(dòng)距離大幅度縮小,因此速度極快且可靠性高,電子信息產(chǎn)品的很多核心功能都是通過(guò)集成電路來(lái)實(shí)現(xiàn)的。lC電路的優(yōu)勢(shì)僅當(dāng)與其他集成電路、電阻器電容器等以混合電路的形式實(shí)現(xiàn)集成時(shí)才能最佳化數(shù)字集成電路(門(mén)電路、存儲(chǔ)器、微處理器等)11薄厚膜集成電路課件12薄厚膜集成電路課件13薄厚膜集成電路課件14薄厚膜集成電路課件15薄厚膜集成電路課件16薄厚膜集成電路課件17薄厚膜集成電路課件18薄厚膜集成電路課件19薄厚膜集成電路課件20薄厚膜集成電路課件21薄厚膜集成電路課件22薄厚膜集成電路課件23薄厚膜集成電路課件24薄厚膜集成電路課件25薄厚膜集成電路課件26薄厚膜集成電路課件27薄厚膜集成電路課件28薄厚膜集成電路課件29薄厚膜集成電路課件30薄厚膜集成電路課件31薄厚膜集成電路課件32薄厚膜集成電路課件33薄厚膜集成電路課件34薄厚膜集成電路課件35薄厚膜集成電路課件36薄厚膜集成電路課件37薄厚膜集成電路課件38薄厚膜集成電路課件39薄厚膜集成電路課件40薄厚膜集成電路課件41薄厚膜集成電路課件42薄厚膜集成電路課件43薄厚膜集成電路課件44薄厚膜集成電路課件45薄厚膜集成電路課件46薄厚膜集成電路課件47END16、業(yè)余生活要有意義,不要越軌。——華盛頓

17、一個(gè)人即使已登上頂峰,也仍要自強(qiáng)不息?!_素·貝克

18、最大的挑戰(zhàn)和突破在于用人,而用人最大的突破在于信任人?!R云

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