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量及其應(yīng)用背景,然后詳細(xì)闡述了懸臂梁結(jié)構(gòu)及其在力學(xué)測量中的應(yīng)用。接著以電容變化原理為基礎(chǔ),提出了基于懸臂梁的微沖量測量方法。最1所示,當(dāng)受到外力作用后,懸臂梁會發(fā)生某些形式的變形。1L,截面為A,楊氏模量為E,慣性矩為I,受到F的外力,那么在懸臂梁距離支撐處x處的撓曲變形為:y(x)=F(L-x)^3/3EL^3+F(L-x)^2x/2EIFx^3/6EI(1)其中,y(x)表示懸臂梁在距離支撐點x處的撓曲變形。從式子(1)2所示,該方法是將一段導(dǎo)電材料(即電極片)上,另一端與導(dǎo)體板相接,形成一個電容。當(dāng)懸臂梁受到微沖量作用時,懸臂梁發(fā)生微小的撓曲變形,電極片與導(dǎo)體板之間的電容發(fā)生變化。通2在實際實現(xiàn)中,由于微沖量的大小非常微小,為了增加電容變化量,可以將電極片的長度調(diào)整到與懸臂梁的長度相等。此外,在實驗過程中,需要注意,為了避免其他干擾因素對電容的影響,電極片和導(dǎo)體板必須實驗,將微沖量的大小調(diào)整在1微牛量級,然后進(jìn)行測量。35cm,寬0.3cm0.1cm200GPa成,厚度0.1mm,長為5cm,寬為0.3cm。導(dǎo)體板采用銅板制成,與電極片形成一個平行板電容,電容初始值為10pF。微沖量通過一個鋼針在10ms的沖擊中施加在懸臂梁上,微沖量大小通過高靈敏壓力傳感31性關(guān)系(如圖4所示)415%。這表明,本文提出了一種基于懸臂梁結(jié)構(gòu)和電容變化原理的微沖量測量方法。實驗結(jié)果表明該方法具有較高的測量精度,可以實現(xiàn)微沖量的重復(fù)測
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