無(wú)塵車間相關(guān)知識(shí)及進(jìn)出流程

無(wú)塵車間相關(guān)知識(shí)如何進(jìn)入無(wú)塵潔凈室？

1、

任何進(jìn)入無(wú)塵潔凈室的人，必須先進(jìn)入無(wú)塵更衣室，穿上無(wú)塵帽、無(wú)塵口罩、無(wú)塵衣、靜電防塵手套、無(wú)塵褲、無(wú)塵靴（如圖①所示）。經(jīng)過這套外形很“酷”的防塵裝備可將人們身上已有的灰塵隔離在無(wú)塵潔凈室之外，但這才是第一步。

2、

接著就要進(jìn)入風(fēng)淋室。所謂風(fēng)淋室是指一條“吹風(fēng)的長(zhǎng)廊”，不過在這條長(zhǎng)廊中吹出來(lái)的強(qiáng)風(fēng)是沒有任何靜電存在的離子風(fēng)。這種離子風(fēng)所具有的中和能力可以將人身上的正負(fù)電荷中和，而且依靠靜電黏附在毛發(fā)、衣服上的灰塵也會(huì)自動(dòng)脫落并粘在地板上的藍(lán)色洗塵墊上（如圖②所示）。

3、

走過風(fēng)淋室后，就進(jìn)入無(wú)塵潔凈室了。如果無(wú)塵潔凈室生產(chǎn)的產(chǎn)品要防靜電，則還要經(jīng)過“靜電橋”徹底地消除身上的靜電。若進(jìn)入百級(jí)潔凈室還重復(fù)2、3步驟動(dòng)作。

什么是無(wú)塵概念？

按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說所謂無(wú)塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。

如表1所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。

表1

A級(jí)

B級(jí)

C級(jí)

粒徑

≤0.5

≤0.5

≤0.5

個(gè)數(shù)

≤3500

≤10000

≤18000潔凈室的動(dòng)線規(guī)劃所謂[動(dòng)線]，是指人員、原料之入室路線，與人員與成品的出室路線。規(guī)劃時(shí)，要檢討分析人(車)路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運(yùn)和作業(yè)之流程等，盡量縮短動(dòng)線，并避免交叉，以防止交叉污染(CrossContamination)。

要點(diǎn)：

1．

作業(yè)者、材料、化學(xué)藥品等動(dòng)線勿集中。

2．

制造裝置之出入，需不對(duì)作業(yè)產(chǎn)生大影響。

3．

超潔凈室四周，宜設(shè)緩沖區(qū)(即較差潔凈區(qū))。

潔凈室的規(guī)劃一般性的規(guī)劃重點(diǎn)潔凈室的整廠規(guī)劃(TurnKeyProjects)(如表3-1)，因涉及范圍極廣，需建筑、水電、空調(diào)、環(huán)保、防震、制造等各項(xiàng)專業(yè)人才共同規(guī)劃，盡管不少潔凈室規(guī)劃，多需要就于既有的建筑物，然而，為避免失誤應(yīng)盡可能事先確認(rèn)下列事項(xiàng)：

1.潔凈度等級(jí)。

2.室壓之平衡措施。

3.溫濕度要求。

4.機(jī)器設(shè)備之必要性。

5.確定生產(chǎn)流程。

6.局部排氣之必要性。

7.日后擴(kuò)充彈性。

8.足夠維護(hù)保養(yǎng)空間。

9.空調(diào)送風(fēng)方式。

10.員工休息區(qū)之安排。

11.設(shè)施與動(dòng)力之配置。

12.室內(nèi)凈高與樓板載重。

13.設(shè)備空間與管道間。

14.門窗宜少，氣密性要佳。

15.靜電、振動(dòng)及噪音。

16.生產(chǎn)線與活動(dòng)線少交叉。

17.公害、污染與防災(zāi)。

18.安裝及運(yùn)轉(zhuǎn)成本之衡量。

潔凈室人員衛(wèi)生與個(gè)人職責(zé)

引言

潔凈室一有人員進(jìn)入，其潔凈室就將改變。人的外層皮膚不斷地向周圍環(huán)境釋放粒子。之所以發(fā)生這一情況，是由于外皮細(xì)胞連續(xù)不斷地被其下的新細(xì)胞所替換。服裝與首飾等的磨擦，會(huì)增加外皮釋放的粒子數(shù)量。由于人員在工作時(shí)，會(huì)有更多的活動(dòng)，所以釋放的粒子數(shù)量也相應(yīng)增加。人是污染發(fā)生器

表27說明人在進(jìn)行各種活動(dòng)時(shí)釋放的粒子數(shù)量。

由于不可能將人完全密封在微過濾器之中，也不可能給人塑造一個(gè)完整的空氣動(dòng)力學(xué)的形狀，所以人總是對(duì)周圍的環(huán)境產(chǎn)生影響。這還要看人的工作是在萬(wàn)級(jí)亦或是1級(jí)潔凈室進(jìn)行的。對(duì)于非常關(guān)鍵的工藝步驟，曾嘗試用自動(dòng)化裝置或機(jī)器人取代人員。盡管自動(dòng)化裝置或機(jī)器人可以減少向環(huán)境釋放的粒子，但并不能徹底清除粒子。雖然良好的建筑物和良好的送風(fēng)系統(tǒng)，會(huì)使各種生產(chǎn)工藝有更適宜的環(huán)境，從而降低了污染。然而最重要的是，污染控制和潔凈室技術(shù)是以高度自覺、高度熟練的人員作為基礎(chǔ)的，而這些2人員是穿著潔凈服按照規(guī)定的工序工作的。表27人體粒子釋放數(shù)量與活動(dòng)的關(guān)系活動(dòng)內(nèi)容每分鐘產(chǎn)生的大于等于0.5微米粒子數(shù)量

坐姿、站立不動(dòng)100000

坐姿，頭臂有動(dòng)作500000

坐姿，臂、腿、頭有活動(dòng)1000000

起立2500000

慢走5000000

正常行走7500000

以每秒2.5米速度行走10000000

工作時(shí)15000000-30000000

表28污染源及其對(duì)環(huán)境的影響

污染來(lái)源粒子粒徑(微米)

磨擦帶油漆的表面90

折紙65

磨擦環(huán)氧樹脂處理過的表面40

用圓珠筆在普通紙上書寫20

磨擦皮膚4活動(dòng)內(nèi)容(正常呼吸條件下)粒子粒徑(微米)

刷衣服1.5-3

跺腳(不帶鞋套)10-50

跺腳(帶鞋套)1.5-3

從口袋中掏手絹3-10

正常呼吸1

人員衛(wèi)生

高度潔凈環(huán)境中工作人員衛(wèi)生的重要性，是怎么強(qiáng)調(diào)也不為過的。可是有關(guān)人員衛(wèi)生的各種規(guī)定與建議，并不是總能被很好的理解，盡管有些是非常基本的規(guī)則。與污染擴(kuò)散最直接相關(guān)的是材料和部件的搬運(yùn)等，因此，必須經(jīng)常洗手。特別是咳嗽、打噴嚏、上廁所、吸煙（包括使用鼻煙）之后，以及休息后返回工作之前，都要洗手。手在接觸受污染的材料和動(dòng)物后，也應(yīng)當(dāng)徹底清洗。根據(jù)具體的潔凈要求，在有些情況下，使用電話和計(jì)算機(jī)后也要洗手。這都是好的做法。

對(duì)藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范相關(guān)人員的衛(wèi)生要求，可總結(jié)如下：

每一個(gè)人員應(yīng)對(duì)自己個(gè)人的清潔衛(wèi)生負(fù)責(zé)。

應(yīng)對(duì)每一個(gè)與藥品生產(chǎn)管理規(guī)范工作相關(guān)的人員，進(jìn)行個(gè)人衛(wèi)生的教育和培訓(xùn)。

人員是潔凈生產(chǎn)區(qū)主要的污染源之一。

從人體脫落的表皮細(xì)胞是“死”粒子，但上面常常沾有細(xì)菌及其他微生物因此人員要避免接觸設(shè)備和產(chǎn)品。

除定期進(jìn)行盆浴或淋浴外，還應(yīng)定期洗頭。從衛(wèi)生觀點(diǎn)看，更提倡淋浴。

包括胡須在內(nèi)的所有毛發(fā)，都要用毛發(fā)護(hù)具全部遮蓋住。

手是一大污染源，手是將污染物從一處傳到另一處的罪魁禍?zhǔn)字弧Ｒ虼?，要特別注意手的衛(wèi)生，尤其是指甲、指甲根部和手上的傷處。

嘴也是一個(gè)主要污染源，因此好的口腔衛(wèi)生到頭重要。在潔凈室內(nèi)應(yīng)盡量避免喊叫或提高說話的聲音；也要盡量避免咳嗽和打噴嚏，如果實(shí)在避免不了，就避開工作區(qū)。

在高度潔凈區(qū)域工作的人員，應(yīng)健康狀況良好。與人相關(guān)的污染風(fēng)險(xiǎn)

下述與人相關(guān)的污染風(fēng)險(xiǎn)，會(huì)對(duì)潔凈室的環(huán)境產(chǎn)生影響：

人員的選擇

人員的教育與培訓(xùn)

潔凈室的安全要求

人員的行為和人員衛(wèi)生

人員健康狀況

員工中那些應(yīng)該進(jìn)行潔凈室的人員

最大占用程度方面的狀況（最大允許人員數(shù)量）

進(jìn)出規(guī)則

人流進(jìn)出潔凈室的通道