光學(xué)系統(tǒng)的計算機輔助裝調(diào)

光學(xué)系統(tǒng)的計算機輔助裝調(diào)王

成2001年3月一、立論依據(jù)2、國際發(fā)展情況、主要內(nèi)容為適應(yīng)空間光學(xué)以及國防、科技的發(fā)展，現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)在光學(xué)設(shè)計和光學(xué)加工方面取得長足的進(jìn)步，但如何使光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)到最佳的狀態(tài)則是沒有徹底解決的問題。計算機輔助裝調(diào)技術(shù)的研究開展于80年代。主要是針對復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)、非常規(guī)光學(xué)系統(tǒng)（離軸、非球面

等）、特殊波面（要求一定的光學(xué)象差）的光學(xué)系統(tǒng)的裝調(diào)開展的研究工作。3?

1981年，NASA?

1989年Santa

Barbara研究中心?

1988年，Arizona大學(xué)?

俄羅斯、日本、保加利亞以及法國也相繼地在這方面進(jìn)行了研究。?國內(nèi)在這方面的研究剛剛起步[5]。4?可應(yīng)用于較為廣泛的對象上。?可將光學(xué)系統(tǒng)調(diào)整至最佳的使用狀態(tài)。?使裝調(diào)理論有一個較好的發(fā)展。5二、研究方案6?數(shù)字化采集和數(shù)據(jù)分析處理?逆向優(yōu)化算法的研究?實驗驗證7三、前期工作8?干涉圖檢驗定性裝調(diào)工作已經(jīng)完成。?裝調(diào)軟件已經(jīng)初步建立，并進(jìn)行了數(shù)字模擬閉合運算?完成了部分實驗工作?具備實驗和進(jìn)一步開展工作的能力計算機模擬結(jié)果（離軸三反射鏡光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值模擬）9設(shè)計特性：?

波長：0.5?m?

有效焦距：6000mm?

最大視場：2?1.04

degree?

相對孔徑：F/10模擬10?

Tx次=0.008°T

y次=0.008°?

0.448?

P-V?

0.0883?

RMS?

Strehl

Ratio:

0.778911實驗裝置12設(shè)計特性：?

無像差點自準(zhǔn)直光學(xué)系統(tǒng)?

波長：0.63?m?

數(shù)值孔徑：0驗結(jié)果16171819202122發(fā)表的論文23?Computer-aidedalignmentof

thecomplex

opticalsystem.

Zhang.B,

Zhang.X.H,

Wang.C,

SPIE4231(2000):67?離軸非球面三反射鏡光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)中計算機優(yōu)化方法的研究。張斌，韓昌元，光學(xué)學(xué)報（21）

1，2001：54四、現(xiàn)正在進(jìn)行的工作24?二代詳查相機的前期工作?極紫外投影光刻光學(xué)系統(tǒng)的前期工作五、參加人員25?

王

成?韓昌元?張曉輝?金春水?

馬

軍?張圣華博士后主任研究員碩士，副研究員在讀博士，研究員副研究員副研究員謝謝！1、計算機輔助裝調(diào)數(shù)學(xué)模型的建立27282、研究要點29??F的獲得??X的確定四、計算機輔助裝調(diào)的數(shù)據(jù)處理30、法方程組的構(gòu)造、失調(diào)量的確定、數(shù)值模擬1、法方程組的構(gòu)造312、失調(diào)量的確定32a、廣義逆b、奇異值分解33c、奇異值鞏固逆34?