鈦酸鍶鋇鐵電薄膜的溶膠-凝膠法制備及性能研究的開題報告_第1頁
鈦酸鍶鋇鐵電薄膜的溶膠-凝膠法制備及性能研究的開題報告_第2頁
鈦酸鍶鋇鐵電薄膜的溶膠-凝膠法制備及性能研究的開題報告_第3頁
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文檔簡介

鈦酸鍶鋇鐵電薄膜的溶膠-凝膠法制備及性能研究的開題報告一、研究背景鈦酸鍶鋇(SBT)是一種鐵電材料,具有較高的介電常數(shù)和壓電系數(shù),在電子器件中具有廣泛應用。而鈦酸鍶鋇鐵電薄膜具有較好的機械、電學和光學性能,在微電子器件中可用于儲存器、傳感器等方面的應用。常見的制備鈦酸鍶鋇鐵電薄膜的方法包括物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)和溶液法。溶膠-凝膠法是一種簡單、低成本的制備方法,可以制備出具有優(yōu)良性能的鈦酸鍶鋇鐵電薄膜。因此,本研究選用溶膠-凝膠法制備鈦酸鍶鋇鐵電薄膜,并研究其性能。二、研究目的本研究的目的是制備鈦酸鍶鋇鐵電薄膜,并研究其結(jié)構(gòu)、電學和光學性能,探究溶膠-凝膠法制備鈦酸鍶鋇鐵電薄膜的可行性,為其在微電子器件中的應用提供理論依據(jù)。三、研究內(nèi)容1.溶膠-凝膠法制備鈦酸鍶鋇鐵電薄膜2.利用X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)等對薄膜的結(jié)構(gòu)進行表征3.測量鈦酸鍶鋇鐵電薄膜的介電常數(shù)和壓電系數(shù),探究其電學性能4.測量鈦酸鍶鋇鐵電薄膜的透光性和吸收輻射能力,探究其光學性能四、研究計劃和進度安排1.研究計劃階段一:文獻綜述和實驗準備(2周)1)文獻綜述,了解鈦酸鍶鋇鐵電薄膜的制備方法及應用情況;2)實驗準備,制備實驗所需的材料和設備。階段二:制備鈦酸鍶鋇鐵電薄膜(4周)1)制備鈦酸鍶鋇鐵電溶膠和凝膠;2)采用自制的旋涂儀將鈦酸鍶鋇鐵電凝膠均勻涂在基片上;3)采用熱退火處理,制備鈦酸鍶鋇鐵電薄膜。階段三:薄膜結(jié)構(gòu)和性能表征(6周)1)利用XRD對薄膜結(jié)構(gòu)進行分析;2)利用SEM觀察薄膜形貌;3)采用介電常數(shù)測試儀和壓電系數(shù)測試儀測量薄膜性能;4)利用紫外可見分光光度計測量薄膜的透光性和吸收輻射能力。階段四:數(shù)據(jù)處理和寫作(4周)1)對實驗結(jié)果進行數(shù)據(jù)分析處理;2)撰寫開題報告,準備畢業(yè)論文。2.進度安排第1-2周:文獻綜述和材料準備;第3-6周:制備鈦酸鍶鋇鐵電薄膜;第7-12周:薄膜結(jié)構(gòu)和性能表征;第13-16周:數(shù)據(jù)處理和寫作。五、研究意義本研究利用溶膠-凝膠法制備鈦酸鍶鋇鐵電薄膜,并研究其性能,對于深入研究這種鐵電材料在微電子器件中的應用具有重要意義。

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