集成電路高溫動(dòng)態(tài)老化系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范

1松松證子集成電路高溫動(dòng)態(tài)老化系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范注：使用本規(guī)范時(shí)，受法意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本4.1.1溫度參數(shù)溫度范圍：20℃~150℃;24.2數(shù)字驅(qū)動(dòng)信號(hào)特性參數(shù)4.2.1數(shù)字信號(hào)脈沖寬度脈沖寬度范圍：≥100ns最大允許誤差：±10%4.2.2數(shù)字信號(hào)幅度電壓范圍：100mV～20V最大允許誤差：±1%4.3模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)特性參數(shù)4.3.1模擬信號(hào)頻率頻率范圍：1Hz～32kHz最大允許誤差：±3%4.3.2模擬信號(hào)幅度電壓范圍：100mV～20V最大允許誤差：±3%4.4老化板器件電源參數(shù)電壓范圍：100mV～20V最大允許誤差：±1%5校準(zhǔn)條件5.1環(huán)境條件5.1.1環(huán)境溫度：(15～35)℃5.1.2環(huán)境相對(duì)濕度：≤80%5.1.3交流電源電壓：(220±11)V;(50±1)Hz周?chē)鸁o(wú)強(qiáng)電磁場(chǎng)干擾及無(wú)影響校準(zhǔn)系統(tǒng)正常工作的機(jī)械振動(dòng)。5.2校準(zhǔn)用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)、儀表設(shè)備測(cè)量范圍：-80℃~200℃最大允許誤差：±0.2℃RTD測(cè)量范圍：-200℃~600℃最大允許誤差：±0.08℃直流電壓測(cè)量范圍：±(100mV~50V)最大允許誤差：±0.1%交流電壓測(cè)量范圍：(100mV～50V),32kHz最大允許誤差：±0.1%5.2.4數(shù)字示波器帶寬：100MHz(-3dB)幅度測(cè)量范圍：100mV～20V最大允許誤差：±3%時(shí)間間隔測(cè)量范圍：10ns～10s最大允許誤差：±3%6.1設(shè)備工作正常性檢查3集成電路高溫動(dòng)態(tài)老化系統(tǒng)應(yīng)能正常工作，將檢查結(jié)果填入附錄A“工作正常性檢6.2高溫試驗(yàn)箱校準(zhǔn)6.2.1選擇校準(zhǔn)標(biāo)稱(chēng)點(diǎn)應(yīng)選擇設(shè)備使用范圍的下限、上限及中間點(diǎn)，也可根據(jù)用戶(hù)需要選擇實(shí)際使用的溫度點(diǎn)，推薦校準(zhǔn)：85℃和125℃兩個(gè)溫度點(diǎn)。6.2.2數(shù)據(jù)采集器通電，預(yù)熱30min以上。6.2.3選擇校準(zhǔn)點(diǎn)位置，布放溫度傳感器溫度校準(zhǔn)點(diǎn)分布在設(shè)備工作室內(nèi)的三個(gè)校準(zhǔn)面上，簡(jiǎn)稱(chēng)上、中、下三層，中層為通過(guò)工作室?guī)缀沃行牡摹⑵叫杏诘酌娴男?zhǔn)工作面，校準(zhǔn)點(diǎn)與工作室內(nèi)壁的距離為各邊長(zhǎng)的1/10,遇風(fēng)道時(shí)，此距離可加大，但不能大于500mm。如果設(shè)備帶有樣品架或樣品車(chē)時(shí)，下層校準(zhǔn)點(diǎn)可布放在樣品架或樣品車(chē)上方10mm處。當(dāng)設(shè)備容積小于2m3時(shí)，溫度校準(zhǔn)點(diǎn)為9個(gè)，O點(diǎn)位于中層幾何中心，如圖2所示。其中，溫度校準(zhǔn)點(diǎn)用A,B,C等字母表示。上層上層門(mén)中層門(mén)6.2.4高溫試驗(yàn)箱的校準(zhǔn)按規(guī)定布放溫度傳感器，并將負(fù)載裝入工作空間，將高溫試驗(yàn)箱的溫度控制器設(shè)定到所要求的標(biāo)稱(chēng)溫度，使試驗(yàn)設(shè)備升溫或降溫至設(shè)定標(biāo)稱(chēng)溫度。在達(dá)到設(shè)備自身穩(wěn)定狀態(tài)后開(kāi)始讀數(shù)，每2min測(cè)試所有校準(zhǔn)點(diǎn)的溫度一次，在30min內(nèi)共測(cè)試15次。(1)溫度偏差T——各校準(zhǔn)點(diǎn)在n次測(cè)量中的最低溫度，℃;(2)溫度均勻度4老化區(qū)數(shù)字驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元老化區(qū)數(shù)字驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元(3)溫度波動(dòng)度依據(jù)上述公式進(jìn)行數(shù)據(jù)處理C將測(cè)量結(jié)果記錄于附泉入表A.1中。6.3數(shù)字驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元特性參數(shù)校準(zhǔn)6.3.1數(shù)字驅(qū)動(dòng)信號(hào)設(shè)費(fèi)電壓幅度校準(zhǔn)通6.3.2數(shù)字驅(qū)動(dòng)信號(hào)設(shè)置脈沖寬度校準(zhǔn)數(shù)字驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元設(shè)置脈沖寬度校準(zhǔn)連接如圖3所示，將示波器探頭與被校系統(tǒng)的老化板上數(shù)字驅(qū)動(dòng)信號(hào)管腳相連接，探頭的地端與系統(tǒng)的地管腳連接。被校系統(tǒng)編制程序設(shè)置數(shù)字驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元輸出脈沖寬度為twx(優(yōu)選受檢點(diǎn)為廠家技術(shù)手冊(cè)中的最小編程脈沖寬度)的方波，示波器測(cè)量脈沖寬度tws,按公式(6)計(jì)算設(shè)置數(shù)字驅(qū)動(dòng)信號(hào)脈沖寬度的誤差，將計(jì)算結(jié)果記錄于附錄A表A.3中。5老化區(qū) 通道2老化區(qū) 通道2tws——脈沖寬度測(cè)量值，ns;△twp——設(shè)置脈沖寬度誤差，ns。6.3.3對(duì)于多個(gè)數(shù)字信號(hào)通道，重復(fù)6.3.1～6.3.2的校準(zhǔn)步驟。6.4模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元特性參數(shù)校準(zhǔn)6.4.1模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元功能正常性檢查模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元功能正常普檢查閱備藥安圖如圖4所示，編制程序設(shè)置模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元分別輸出幅度5N為10kHz的正弦波。二角波、鋸齒波和矩形波，使用示波器觀察輸出波形的幅度、頻率是否正確，將檢查結(jié)果填入附錄A表A.4中。模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元6.4.2模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元設(shè)置頻率校準(zhǔn)Vp為5V,頻率基(優(yōu)選受校點(diǎn)為1Hz、1kHzokHz、30以)的正弦波，示波器測(cè)量頻率為Fs,搜公到(7)計(jì)算設(shè)置模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)頻率的誤差，將計(jì)算結(jié)果記錄于附錄A式中：Fx——被檢系統(tǒng)設(shè)置場(chǎng)產(chǎn)值，Hz;△F?——設(shè)置頻率誤差，Hz。6.4.3模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元電壓設(shè)置校準(zhǔn)模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元電壓校準(zhǔn)的連接圖如圖5所示，編制程序設(shè)置模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元輸出頻率為10kHz,幅度為5V的正弦波，選取適當(dāng)?shù)呢?fù)載，使被校單元的負(fù)載不小于滿(mǎn)載電流的50%(推薦負(fù)載為滿(mǎn)載的50%～80%點(diǎn))。設(shè)置數(shù)字電壓表為交流電壓測(cè)量模式，測(cè)量驅(qū)動(dòng)信號(hào)的設(shè)置電壓，按照公式(8)計(jì)算設(shè)置電壓的誤差，將計(jì)算結(jié)果記錄6數(shù)字電壓表模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元老化區(qū)數(shù)字電壓表模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元老化區(qū)+p通道1+功率電阻6.4.4對(duì)于多個(gè)模擬信號(hào)通道，重復(fù)6.4.1～6.4.3的校準(zhǔn)步驟。6.5老化區(qū)器件電源單元電壓設(shè)置校準(zhǔn)老化區(qū)器件電源設(shè)置電壓校準(zhǔn)連接如圖6所示，數(shù)字電壓表設(shè)置為直流電壓測(cè)量方式，自動(dòng)設(shè)置量程。考慮到系統(tǒng)老化器件電源的帶負(fù)載能力，應(yīng)同時(shí)將所有老化區(qū)的電源接入相同的負(fù)載電阻。被校系統(tǒng)編制程序設(shè)置老化板器件電源單元電壓Vx(優(yōu)選受檢點(diǎn)：2V、5V、10V、18V),用數(shù)字電壓表測(cè)量電壓Vs,按照公式(9)計(jì)算設(shè)置電壓誤差，將計(jì)算結(jié)果記錄于附錄A表A.7中，對(duì)于多個(gè)老化區(qū)器件電源將重復(fù)上述校準(zhǔn)PVMUX功率電阻器件電源單元數(shù)字電壓表老化區(qū)—十77校準(zhǔn)結(jié)果的表述集成電路高溫動(dòng)態(tài)老化系統(tǒng)的校準(zhǔn)結(jié)果用校準(zhǔn)證書(shū)或校準(zhǔn)報(bào)告表達(dá)，證書(shū)或報(bào)告至少應(yīng)有所校項(xiàng)目的校準(zhǔn)不確定度的信息。補(bǔ)充內(nèi)容具體見(jiàn)附錄B。8復(fù)校時(shí)間間隔集成電路高溫動(dòng)態(tài)老化系統(tǒng)的復(fù)校時(shí)間用戶(hù)根據(jù)使用情況決定，建議復(fù)校時(shí)間間隔為1年，必要時(shí)可隨時(shí)送校。8集成電路高溫動(dòng)態(tài)老化系統(tǒng)校準(zhǔn)證書(shū)格式上層D中層下層溫度指示值!℃表A.1心測(cè)量點(diǎn)5槍小值O點(diǎn)A點(diǎn)B點(diǎn)C點(diǎn)D點(diǎn)E點(diǎn)F點(diǎn)G點(diǎn)H點(diǎn)溫度上偏差溫度下偏差溫度均勻度溫度波動(dòng)度±9三、數(shù)字驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元特性參數(shù)3.1設(shè)置電壓幅度校準(zhǔn)表A.2通道號(hào)允許誤差限3.2設(shè)置脈沖寬度校準(zhǔn)表A.3通道號(hào)系統(tǒng)設(shè)置值twx/ns測(cè)量值tws/ns誤差△twp/ns允許誤差限四、模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)單元特性參數(shù)4.