傳感器應(yīng)用技術(shù) 課件 知識(shí)點(diǎn)：9.3角度傳感器

傳感器應(yīng)用技術(shù)項(xiàng)目九基于數(shù)字式傳感器的位置檢測(cè)儀的設(shè)計(jì)與制作角度傳感器講授內(nèi)容我們需要先了解激光干涉現(xiàn)象是什么？激光與普通光不一樣，是單色光，是某物質(zhì)的電子能量躍遷產(chǎn)生的，所以它的振動(dòng)頻率很單一，波動(dòng)方向也恒定，是干涉光波。用干涉實(shí)驗(yàn)來(lái)說(shuō)明。下面圖中的一束激光，經(jīng)過(guò)兩個(gè)小孔得到兩個(gè)同樣性質(zhì)的光，于是它們?cè)趥鞑ミ^(guò)程中疊加了，有的地方振動(dòng)始終加強(qiáng)，某些地方的震動(dòng)始終減弱，而且振動(dòng)強(qiáng)度有著穩(wěn)定的空間分布。在固定位置接收到的光強(qiáng)按一定規(guī)律作強(qiáng)弱交替變化，形成激光的干涉條紋。角度傳感器角度傳感器激光角度測(cè)量傳感器，采用邁克爾遜干涉原理，用兩路光程差的變化來(lái)表示角度的變化，經(jīng)角錐棱鏡反射的一路光的光程隨著轉(zhuǎn)角的變化而變化，因此干涉條紋也發(fā)生相應(yīng)的移動(dòng)，測(cè)得條紋的移動(dòng)量，就可測(cè)得轉(zhuǎn)臺(tái)的轉(zhuǎn)角。在此原理基礎(chǔ)之上發(fā)展起來(lái)的角度測(cè)量系統(tǒng)致力于光路結(jié)構(gòu)的改進(jìn)和消除各種誤差因素的影響。經(jīng)過(guò)改進(jìn)后可以測(cè)量大約90度的角度，但各種誤差因素隨著所測(cè)角度的增大而急劇增加，因此該系統(tǒng)的測(cè)量范圍限制在幾度內(nèi)，在此范圍內(nèi)具有極高的測(cè)量準(zhǔn)確度。角度傳感器采這種技術(shù)已經(jīng)發(fā)展得非常成熟，美國(guó)、日本、德國(guó)、俄羅斯等國(guó)家早已將激光干涉小角度測(cè)量技術(shù)作為小角度測(cè)量的國(guó)家基準(zhǔn)。為了消除轉(zhuǎn)盤徑向移動(dòng)對(duì)角度測(cè)量的影響，采用如圖所示的測(cè)量光路，用兩個(gè)角錐棱鏡形成差動(dòng)測(cè)量，大大提高了系統(tǒng)的線性和靈敏度。為了增加干涉儀抗環(huán)境干擾的能力，可以采用雙頻激光外差干涉測(cè)量法，用雙頻激光代替普通光源。用這種方法測(cè)量平面角，靈敏度可達(dá)0.002''。角度傳感器角度傳感器激光角度測(cè)量的光路原理角度傳感器激光角度測(cè)量技術(shù)的應(yīng)用利用激光的干涉現(xiàn)象能夠用于檢測(cè)的原理，制作出多種激光測(cè)量?jī)x。利用激光測(cè)量?jī)x，可以方便地測(cè)量角度、直線度、垂直度、彎曲度等幾何量，可以指導(dǎo)高精度設(shè)備的安裝，檢測(cè)其工作精度，檢測(cè)其運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度等。角度傳感器差之毫厘，失之千里！角度傳感器差之毫厘，失之千里！激光準(zhǔn)直儀在高層建筑建設(shè)過(guò)程中發(fā)揮著重要作用。但是在儀器使用時(shí)必須將垂準(zhǔn)儀進(jìn)行檢校，架設(shè)儀器時(shí)須按操作規(guī)程認(rèn)真操作，對(duì)于垂準(zhǔn)儀來(lái)說(shuō)，自身帶有的固定誤差就是激光束的垂直度誤差。投測(cè)距離越大，點(diǎn)位偏差越大。所以我們?cè)诎惭b使用設(shè)備時(shí)不但要規(guī)范精確安裝，還要