《碳基薄膜+分類及命名gbt+43104-2023》詳細(xì)解讀

《碳基薄膜分類及命名gb/t43104-2023》詳細(xì)解讀contents目錄1范圍2規(guī)范性引用文件3術(shù)語和定義4縮略語5沉積6分類contents目錄6.1概述6.2主要的碳基薄膜類型6.3分類標(biāo)準(zhǔn)6.4薄膜結(jié)構(gòu)6.5分類表7類聚合物碳基薄膜8非晶碳基薄膜contents目錄9金剛石薄膜10石墨薄膜附錄A(資料性)沉積方法附錄B(資料性)表征方法參考文獻(xiàn)011范圍

1范圍根據(jù)組成分類本標(biāo)準(zhǔn)按照碳基薄膜的組成，詳細(xì)劃分了不同類型，包括純碳膜、復(fù)合碳膜等，明確了各類碳基薄膜的特征及應(yīng)用領(lǐng)域。根據(jù)結(jié)構(gòu)分類針對碳基薄膜的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了系統(tǒng)分類，如晶體結(jié)構(gòu)、非晶體結(jié)構(gòu)等，為碳基薄膜的研發(fā)和應(yīng)用提供了指導(dǎo)。根據(jù)性能分類根據(jù)碳基薄膜的導(dǎo)電性、硬度、耐腐蝕性等關(guān)鍵性能指標(biāo)，對其進(jìn)行了分類，有助于用戶根據(jù)實(shí)際需求選擇合適的碳基薄膜。022規(guī)范性引用文件基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)包括碳基薄膜的基本分類、術(shù)語定義等基礎(chǔ)性標(biāo)準(zhǔn)文件。方法標(biāo)準(zhǔn)涉及碳基薄膜的制備方法、性能測試等相關(guān)方法標(biāo)準(zhǔn)。產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)涵蓋不同類型碳基薄膜產(chǎn)品的質(zhì)量要求、檢驗(yàn)規(guī)則等。2規(guī)范性引用文件033術(shù)語和定義定義由碳元素為主要構(gòu)成成分，通過特定工藝制備而成的薄膜材料。特點(diǎn)具有良好的導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性、耐腐蝕性以及生物相容性等。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛應(yīng)用于電子、能源、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。3術(shù)語和定義044縮略語03IEC國際電工委員會。01GB國家標(biāo)準(zhǔn)。02ISO國際標(biāo)準(zhǔn)化組織。4縮略語055沉積化學(xué)氣相沉積通過化學(xué)反應(yīng)在基底表面沉積碳基薄膜，可控制反應(yīng)條件和前驅(qū)體類型來調(diào)控薄膜結(jié)構(gòu)和性能。物理氣相沉積利用物理手段將碳源材料蒸發(fā)或?yàn)R射到基底上形成薄膜，包括真空蒸發(fā)、濺射鍍膜等。液相沉積在溶液中通過化學(xué)反應(yīng)或電化學(xué)方法沉積碳基薄膜，可實(shí)現(xiàn)大面積、低成本制備。5沉積066分類由單一碳基材料組成的薄膜，具有均勻一致的結(jié)構(gòu)和性能。由不同碳基材料疊加而成的薄膜，通過各層之間的協(xié)同作用，獲得優(yōu)異的綜合性能。單層結(jié)構(gòu)多層結(jié)構(gòu)6分類076.1概述隨著碳基薄膜在多個領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，為規(guī)范和引導(dǎo)行業(yè)健康發(fā)展，制定統(tǒng)一的分類及命名標(biāo)準(zhǔn)顯得尤為重要。標(biāo)準(zhǔn)制定背景本標(biāo)準(zhǔn)旨在為碳基薄膜的分類和命名提供明確指導(dǎo)，有助于消除市場混亂，提高產(chǎn)品質(zhì)量，推動行業(yè)技術(shù)進(jìn)步。標(biāo)準(zhǔn)作用與意義本標(biāo)準(zhǔn)在制定過程中充分調(diào)研了國內(nèi)外相關(guān)行業(yè)現(xiàn)狀和技術(shù)發(fā)展趨勢，廣泛征求了各方意見，確保了標(biāo)準(zhǔn)的科學(xué)性、實(shí)用性和前瞻性。標(biāo)準(zhǔn)制定過程6.1概述086.2主要的碳基薄膜類型石墨烯薄膜是由單層或多層石墨烯組成的二維材料，具有優(yōu)異的電學(xué)、熱學(xué)和力學(xué)性能。定義與結(jié)構(gòu)包括化學(xué)氣相沉積、剝離法、還原氧化石墨烯等。制備方法廣泛應(yīng)用于電子器件、能源存儲與轉(zhuǎn)換、傳感器等領(lǐng)域。應(yīng)用領(lǐng)域6.2主要的碳基薄膜類型096.3分類標(biāo)準(zhǔn)非晶態(tài)碳基薄膜指不具有長程有序結(jié)構(gòu)的碳基薄膜，包括非晶碳、四面體非晶碳等。晶態(tài)碳基薄膜指具有明顯晶體結(jié)構(gòu)的碳基薄膜，如金剛石、石墨等。復(fù)合結(jié)構(gòu)碳基薄膜指由非晶態(tài)和晶態(tài)結(jié)構(gòu)相互嵌合而成的碳基薄膜。6.3分類標(biāo)準(zhǔn)106.4薄膜結(jié)構(gòu)123由不同材料疊加而成，每層具有特定功能。多層結(jié)構(gòu)為提高薄膜性能，常對表面進(jìn)行特殊處理，如涂層、改性等。表面處理薄膜的微觀結(jié)構(gòu)對其宏觀性能和功能具有重要影響。微觀結(jié)構(gòu)6.4薄膜結(jié)構(gòu)116.5分類表可分為純碳膜和摻雜碳膜，其中純碳膜主要由碳元素構(gòu)成，而摻雜碳膜則添加了其他元素以改善特定性能。根據(jù)元素組成可分為石墨膜、金剛石膜、類金剛石膜等，這些不同類型的碳膜具有各自獨(dú)特的物理和化學(xué)性質(zhì)。根據(jù)微觀結(jié)構(gòu)可分為化學(xué)氣相沉積(CVD)碳膜、物理氣相沉積(PVD)碳膜等，不同工藝制備的碳膜在結(jié)構(gòu)和性能上有所差異。根據(jù)制備工藝6.5分類表127類聚合物碳基薄膜聚乙烯醇碳基薄膜01以聚乙烯醇為基礎(chǔ)，通過特定工藝制成的薄膜，具有良好的柔韌性。聚乙烯亞胺碳基薄膜02以聚乙烯亞胺為基礎(chǔ)，具有高機(jī)械強(qiáng)度和熱穩(wěn)定性。聚乙烯吡咯烷酮碳基薄膜03含有吡咯烷酮基團(tuán)，具有良好的溶解性和成膜性。7類聚合物碳基薄膜138非晶碳基薄膜物理氣相沉積利用物理手段將碳源蒸發(fā)或?yàn)R射到基材表面，形成非晶碳基薄膜，工藝相對簡單。其他制備方法包括等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積、離子束輔助沉積等，可根據(jù)具體需求和條件選擇合適的方法。化學(xué)氣相沉積通過化學(xué)反應(yīng)在基材表面沉積形成非晶碳基薄膜，具有均勻、致密等優(yōu)點(diǎn)。8非晶碳基薄膜149金剛石薄膜定義金剛石薄膜是由碳原子以sp3鍵構(gòu)成的具有金剛石結(jié)構(gòu)的薄膜材料。分類根據(jù)制備方法和用途的不同，金剛石薄膜可分為多晶金剛石薄膜、單晶金剛石薄膜以及納米金剛石薄膜等。9金剛石薄膜1510石墨薄膜10石墨薄膜定義石墨薄膜是一種由碳原子以層狀結(jié)構(gòu)排列形成的薄膜材料，具有優(yōu)異的導(dǎo)電、導(dǎo)熱和力學(xué)性能。分類根據(jù)制備方法和結(jié)構(gòu)特征，石墨薄膜可分為天然石墨薄膜、人工合成石墨薄膜以及復(fù)合石墨薄膜等。16附錄A(資料性)沉積方法利用氣態(tài)物質(zhì)在固體表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，生成固態(tài)沉積物的過程。原理特點(diǎn)應(yīng)用沉積溫度較低，能夠在復(fù)雜形狀的基體上均勻沉積。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、顯示等領(lǐng)域。030201附錄A(資料性)沉積方法17附錄B(資料性)表征方法能夠提供高倍數(shù)的放大，使研究人員能夠清晰地觀察到碳基薄膜的微觀結(jié)構(gòu)。放大倍數(shù)高具有高分辨率的特點(diǎn)，能夠分辨出薄膜中的微小細(xì)節(jié)和特征。分辨率高通過調(diào)節(jié)光學(xué)顯微鏡的對