二次配管配線要求

二次配管配線要求1.１二次配管配線應(yīng)包括下列內(nèi)容：1從各種給水、排水系統(tǒng)的一次管道至設(shè)備接口之間的配管。2從各種大宗氣體系統(tǒng)的一次管道至設(shè)備接口之間的配管。3從各種排風(fēng)、排氣系統(tǒng)的一次管道至設(shè)備接口之間的配管。4從生產(chǎn)動力終端配電盤至設(shè)備電源接口之間的配管配線。5從各種特種氣體管道一次配管、配線預(yù)留接口至設(shè)備接口之間的配管、配線。6從各種化學(xué)品供給與回收系統(tǒng)的一次管道至設(shè)備接口之間的配管。7從工藝設(shè)備至工藝腔體真空、現(xiàn)場尾氣處理裝置設(shè)備接管。1.2設(shè)備二次配管配線作業(yè)應(yīng)在設(shè)備找正調(diào)平并驗收合格后進(jìn)行。1.3二次配管配線除應(yīng)執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定外，屬于壓力管道的施工還應(yīng)執(zhí)行現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《壓力管道安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程-工業(yè)管道》的有關(guān)規(guī)定。1.4二次配管的主材應(yīng)符合設(shè)計要求。當(dāng)設(shè)計有規(guī)定時應(yīng)按設(shè)計采用墊料、填料等輔材；當(dāng)設(shè)計無規(guī)定時應(yīng)采用符合工藝要求、密封性能好、不產(chǎn)塵的墊料、填料等輔材。1.5用于二次配管的管材、管件、閥門應(yīng)有產(chǎn)品合格證及材質(zhì)證明書，自出廠至安裝地點的儲運(yùn)應(yīng)采用符合氣體純度要求的雙層密封包裝。1.6配管預(yù)制作業(yè)應(yīng)在專用的潔凈小室內(nèi)進(jìn)行，加工件應(yīng)經(jīng)潔凈處理后搬入潔凈室（區(qū)）進(jìn)行安裝。潔凈小室的潔凈度不應(yīng)低于5級。1.7二次配管配線應(yīng)按施工圖施工，管線排列應(yīng)整齊、美觀，走向應(yīng)合理，維修應(yīng)方便，不得在設(shè)備操作面布設(shè)管線。1.8當(dāng)管線穿越吊頂、壁板、地板需開洞時，開洞位置應(yīng)避開梁、柱、主龍骨、風(fēng)口，活動地板的管線洞口邊線與單塊活動地板邊沿的距離應(yīng)大于40mm。開洞應(yīng)用開孔器，嚴(yán)禁用鑿或火焰切割。開洞過程中應(yīng)用中央真空清掃系統(tǒng)或潔凈室專用吸塵器不間斷地吸除切屑及粉塵。1.9管線安裝完成后，可采用不銹鋼、鋁、硬PVC或鍍鋅密封件封堵洞口空隙，并應(yīng)用VOC揮發(fā)物符合技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的密封材料。1.10碳鋼支架、吊架應(yīng)采用鍍鋅材料，切割端面應(yīng)作防銹處理，安裝應(yīng)牢固可靠,管卡應(yīng)與管子直徑相匹配；不銹鋼管與碳鋼支架、管卡之間應(yīng)分別設(shè)置隔離墊和隔離套管，隔離墊宜用軟質(zhì)聚四氟乙烯板，套管宜用聚乙烯軟管。1.11從上技術(shù)夾層引下的管線，應(yīng)敷設(shè)在生產(chǎn)設(shè)備附近的管道豎井內(nèi)。無豎井時應(yīng)增設(shè)豎井，井壁宜用C型鋼作框架，框架應(yīng)外貼裝飾不銹鋼板，面板上可安裝電氣插座、開關(guān)箱及氣體快速接頭。1.12輸送大宗氣體、特種氣體、非腐蝕性溶劑的不銹鋼管，當(dāng)采用焊接連接時，應(yīng)采用鎢極氬弧自動焊，鎢極氬弧自動焊使用的保護(hù)氣體純度應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第3.2.4條第6款的規(guī)定。1.13進(jìn)行二次配管配線時,不得在潔凈室(區(qū))內(nèi)進(jìn)行鋸、銼、鉆、鑿等產(chǎn)塵作業(yè)。1.14生產(chǎn)設(shè)備、電氣配管、氫氣配管、氧氣配管的接地必須與專用接地線可靠連接。1.15當(dāng)微電子生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)和安裝同時進(jìn)行時，二次配管配線應(yīng)符合下列規(guī)定：1施工中進(jìn)行焊接等產(chǎn)煙明火作業(yè)時，必須取得建設(shè)單位簽發(fā)的動火許可證及動用消防設(shè)施許可證；2生產(chǎn)區(qū)與安裝區(qū)之間應(yīng)采取臨時隔離措施；3垂直作業(yè)時，應(yīng)采取安全隔離措施，并應(yīng)設(shè)置危險警示標(biāo)志；4潔凈度高于等于5級的潔凈室(區(qū))的人員密度不應(yīng)大于0.1人/m2，潔凈度低于5級的潔凈室(區(qū))的人員密度不應(yīng)大于0.25人/m2。1.16管子從在用配管接到新安裝設(shè)備時，必須從一次配管上預(yù)留閥門后接至設(shè)備相應(yīng)接口，嚴(yán)禁在一次配管上新開三通接管。