《真空技術(shù) 四極質(zhì)譜檢漏方法GBT 35049-2018》詳細(xì)解讀

《真空技術(shù)四極質(zhì)譜檢漏方法GB/T35049-2018》詳細(xì)解讀contents目錄1范圍2規(guī)范性引用文件3術(shù)語和定義4一般要求4.1環(huán)境要求4.2設(shè)備要求4.3示蹤氣體純度4.4人員資格contents目錄4.5示蹤氣體選擇4.6質(zhì)量數(shù)選擇4.7儀器校準(zhǔn)5檢漏方法5.1噴吹法5.2真空室法5.3四極質(zhì)譜非真空累積法contents目錄5.4吸槍法6檢漏文件6.1檢漏記錄6.2檢漏報(bào)告附錄A(規(guī)范性附錄)四種檢漏方法適用的檢漏記錄附錄B(規(guī)范性附錄)檢漏報(bào)告011范圍明確了檢漏過程中的環(huán)境要求，包括溫度、濕度等，以保證檢測結(jié)果的穩(wěn)定性。提供了針對(duì)不同類型真空系統(tǒng)的檢漏方案，以滿足各種應(yīng)用場景的需求。規(guī)定了四極質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)和使用方法，確保其準(zhǔn)確性和可靠性。本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了四極質(zhì)譜檢漏方法的技術(shù)要求和操作步驟適用于科研、生產(chǎn)等領(lǐng)域中真空系統(tǒng)的泄漏檢測，如實(shí)驗(yàn)室、工業(yè)生產(chǎn)線等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于各種真空系統(tǒng)的泄漏檢測可用于檢測各種材料制成的真空系統(tǒng)，包括金屬、玻璃、陶瓷等。適用于不同真空度的系統(tǒng)檢測，從高真空到超高真空均可有效檢測。本標(biāo)準(zhǔn)不涉及真空系統(tǒng)以外的泄漏檢測本標(biāo)準(zhǔn)專注于真空系統(tǒng)的泄漏檢測，不涉及其他類型系統(tǒng)的泄漏問題。對(duì)于非真空系統(tǒng)的泄漏檢測，應(yīng)參考其他相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)范進(jìn)行。022規(guī)范性引用文件真空技術(shù)基本術(shù)語詳細(xì)闡述了真空技術(shù)中常用的術(shù)語及其定義，為理解和實(shí)施本標(biāo)準(zhǔn)提供了基礎(chǔ)。四極質(zhì)譜檢漏相關(guān)術(shù)語針對(duì)四極質(zhì)譜檢漏方法，給出了特定的術(shù)語和定義，確保讀者能夠準(zhǔn)確理解該方法的技術(shù)細(xì)節(jié)。GB/T術(shù)語和定義真空度測試方法提供了測量真空系統(tǒng)真空度的方法和步驟，確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。檢漏方法通則規(guī)定了檢漏方法的基本原則和要求，為實(shí)施四極質(zhì)譜檢漏提供了指導(dǎo)。GB/T測試方法標(biāo)準(zhǔn)真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)涉及真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要求、材料選擇、制造工藝等方面的標(biāo)準(zhǔn)，確保真空系統(tǒng)的性能和安全性。真空設(shè)備性能標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了真空設(shè)備的性能指標(biāo)、測試方法和檢驗(yàn)規(guī)則，為評(píng)價(jià)設(shè)備性能提供了依據(jù)。0102真空技術(shù)國家和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)匯總了與真空技術(shù)相關(guān)的國家和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，為實(shí)施本標(biāo)準(zhǔn)提供了參考和支持。這些標(biāo)準(zhǔn)涵蓋了真空技術(shù)的各個(gè)方面，包括真空獲得、真空測量、真空檢漏和真空應(yīng)用等。國家和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)033術(shù)語和定義真空指的是某一空間內(nèi)氣體壓力低于環(huán)境大氣壓的狀態(tài)。真空的定義通常使用帕斯卡（Pa）或托（Torr）作為真空度的單位。真空度的表示3.1真空質(zhì)譜檢漏原理利用不同氣體分子在電離后形成的離子在電磁場中具有不同的運(yùn)動(dòng)軌跡，從而分離和檢測不同氣體的存在。質(zhì)譜檢漏的應(yīng)用主要用于高真空和超高真空系統(tǒng)的泄漏檢測，可快速準(zhǔn)確地確定漏孔位置和漏率大小。3.2質(zhì)譜檢漏四極質(zhì)譜計(jì)的結(jié)構(gòu)由離子源、四極質(zhì)量分析器和離子檢測器組成。四極質(zhì)譜計(jì)的工作原理氣體分子在離子源中被電離成離子，經(jīng)過四極質(zhì)量分析器的篩選，不同質(zhì)量的離子被分離并到達(dá)離子檢測器進(jìn)行檢測。3.3四極質(zhì)譜計(jì)指質(zhì)譜檢漏儀能夠檢測到的最小泄漏率。檢漏靈敏度的定義包括質(zhì)譜計(jì)的性能、檢漏氣體的性質(zhì)以及檢漏環(huán)境等。影響檢漏靈敏度的因素3.4檢漏靈敏度044一般要求應(yīng)滿足相關(guān)國家或行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，具備高靈敏度、穩(wěn)定性和可靠性。質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)能提供穩(wěn)定的真空環(huán)境，以滿足質(zhì)譜檢漏的需求。真空系統(tǒng)通常使用氦氣作為示蹤氣體，因其具有較小的原子量和良好的擴(kuò)散性。檢漏氣體4.1設(shè)備與材料010203應(yīng)熟悉本標(biāo)準(zhǔn)的各項(xiàng)規(guī)定，并能正確執(zhí)行檢漏操作。應(yīng)具備對(duì)檢漏結(jié)果進(jìn)行準(zhǔn)確判斷的能力。操作人員應(yīng)具備真空技術(shù)、質(zhì)譜檢漏儀使用及維護(hù)保養(yǎng)的基本知識(shí)。4.2操作人員要求010203實(shí)驗(yàn)室溫度應(yīng)控制在適宜范圍內(nèi)，以保證質(zhì)譜檢漏儀的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。實(shí)驗(yàn)室濕度應(yīng)適中，避免對(duì)質(zhì)譜檢漏儀造成損害。實(shí)驗(yàn)室應(yīng)無強(qiáng)電磁干擾，以保證質(zhì)譜檢漏儀的正常工作。4.3環(huán)境條件4.4安全要求在進(jìn)行檢漏操作時(shí)，應(yīng)嚴(yán)格遵守操作規(guī)程，避免發(fā)生意外事故。實(shí)驗(yàn)室應(yīng)配備相應(yīng)的安全設(shè)施，如滅火器、通風(fēng)設(shè)備等。操作人員應(yīng)穿戴符合規(guī)定的防護(hù)用品，確保人身安全。010203054.1環(huán)境要求溫度控制為確保質(zhì)譜檢漏儀的正常工作和測量精度，測試環(huán)境應(yīng)保持在適宜的溫度范圍內(nèi)，通常建議在20-25攝氏度之間。避免溫度極端變化，以防止設(shè)備內(nèi)部元件因熱脹冷縮而損壞，或?qū)y量結(jié)果產(chǎn)生影響。濕度管理相對(duì)濕度應(yīng)控制在一定范圍內(nèi)，一般建議不超過60%，以避免設(shè)備內(nèi)部出現(xiàn)凝結(jié)水，影響電路板和元件的正常工作。在高濕度環(huán)境下，應(yīng)采取適當(dāng)?shù)某凉翊胧?，如使用除濕機(jī)或干燥劑等。清潔度要求為保證質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度和準(zhǔn)確性，測試環(huán)境應(yīng)保持清潔，避免灰塵、油污等污染物進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部。定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行清潔和維護(hù)，以確保其長期穩(wěn)定運(yùn)行?！啊百|(zhì)譜檢漏儀是一種精密的測量設(shè)備，對(duì)電磁干擾較為敏感。因此，測試環(huán)境應(yīng)遠(yuǎn)離強(qiáng)電磁場干擾源，如大功率電機(jī)、高頻設(shè)備等。必要時(shí)，可采取屏蔽措施，如使用金屬屏蔽罩或電磁屏蔽室等，以降低電磁干擾對(duì)測量結(jié)果的影響。電磁干擾防護(hù)064.2設(shè)備要求應(yīng)具有高靈敏度，能夠檢測到微小的泄漏。靈敏度設(shè)備應(yīng)具有良好的穩(wěn)定性，確保長時(shí)間檢測過程中的準(zhǔn)確性。穩(wěn)定性應(yīng)具備快速的響應(yīng)時(shí)間，以便及時(shí)發(fā)現(xiàn)泄漏。響應(yīng)時(shí)間4.2.1質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)具備足夠的抽氣速率，以便在短時(shí)間內(nèi)建立所需的真空環(huán)境。抽氣速率真空系統(tǒng)應(yīng)保持穩(wěn)定，避免因外界因素導(dǎo)致的真空度波動(dòng)。穩(wěn)定性應(yīng)能達(dá)到所需的真空度，并確保系統(tǒng)的密封性。真空度4.2.2真空系統(tǒng)準(zhǔn)確性校準(zhǔn)裝置應(yīng)具有高度的準(zhǔn)確性，以確保檢測結(jié)果的可靠性。穩(wěn)定性校準(zhǔn)裝置應(yīng)具有良好的穩(wěn)定性，避免因長期使用而導(dǎo)致的誤差。溯源性校準(zhǔn)裝置應(yīng)能追溯到國際或國家承認(rèn)的計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)。4.2.3校準(zhǔn)裝置應(yīng)提供穩(wěn)定、純凈的示蹤氣體，以確保檢測的準(zhǔn)確性。氣體供應(yīng)系統(tǒng)應(yīng)具備高效的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，以便對(duì)檢測結(jié)果進(jìn)行實(shí)時(shí)分析和記錄。數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)應(yīng)配備必要的安全防護(hù)設(shè)備，確保操作人員的安全。安全防護(hù)設(shè)備4.2.4輔助設(shè)備074.3示蹤氣體純度純度的重要性示蹤氣體的純度在四極質(zhì)譜檢漏方法中至關(guān)重要。高純度的示蹤氣體能夠提供更準(zhǔn)確的檢測結(jié)果，減少誤差和干擾，從而提高檢漏的精度和可靠性。4.3示蹤氣體純度純度要求根據(jù)GB/T35049-2018標(biāo)準(zhǔn)，示蹤氣體應(yīng)具有高純度，通常要求達(dá)到99.99%以上，以確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。此外，示蹤氣體中不應(yīng)含有與待測氣體相同的成分，以避免干擾檢測結(jié)果。純度檢測方法為了確保示蹤氣體的純度滿足要求，需要采用專業(yè)的氣體純度檢測方法。常用的方法包括分光光度法、氣相色譜法以及質(zhì)譜法等。這些方法能夠?qū)怏w成分進(jìn)行精確分析，從而確定氣體的純度。4.3示蹤氣體純度純度對(duì)檢測結(jié)果的影響：如果示蹤氣體純度不足，其中含有的雜質(zhì)可能會(huì)干擾質(zhì)譜儀的檢測信號(hào)，導(dǎo)致檢測結(jié)果出現(xiàn)偏差。因此，在使用四極質(zhì)譜檢漏方法時(shí)，必須嚴(yán)格控制示蹤氣體的純度，以確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性?？偟膩碚f，示蹤氣體的純度是四極質(zhì)譜檢漏方法中的關(guān)鍵因素之一。通過采用高純度的示蹤氣體和專業(yè)的純度檢測方法，可以提高檢漏的精度和可靠性，為真空技術(shù)以及其他相關(guān)行業(yè)的泄漏檢測工作提供有力支持?！啊?84.4人員資格具備一定的真空技術(shù)和質(zhì)譜檢漏理論基礎(chǔ)，了解質(zhì)譜檢漏儀的工作原理和操作規(guī)范。熟悉被檢設(shè)備和檢漏過程，能夠獨(dú)立完成檢漏任務(wù)。具備良好的職業(yè)道德和責(zé)任心，保證檢漏結(jié)果的客觀性和準(zhǔn)確性。4.4.1檢漏人員的基本要求010203123檢漏人員應(yīng)接受專業(yè)的質(zhì)譜檢漏培訓(xùn)，掌握檢漏技能和安全操作規(guī)范。定期參加技能考核，確保具備從事檢漏工作的能力。不斷學(xué)習(xí)和更新知識(shí)，以適應(yīng)新技術(shù)和新設(shè)備的發(fā)展。4.4.2培訓(xùn)和考核負(fù)責(zé)按照規(guī)定的程序和要求進(jìn)行質(zhì)譜檢漏工作。對(duì)檢漏結(jié)果進(jìn)行記錄和分析，提出改進(jìn)意見。在檢漏過程中發(fā)現(xiàn)異常情況，應(yīng)及時(shí)報(bào)告并采取措施。有權(quán)拒絕不符合安全規(guī)定的檢漏任務(wù)。4.4.3職責(zé)和權(quán)限094.5示蹤氣體選擇VS由于氦氣的分子尺寸小，穿透能力強(qiáng)，且在大氣中的背景濃度極低，因此常被用作示蹤氣體。其優(yōu)點(diǎn)包括檢測靈敏度高，不易受環(huán)境干擾。氫氣（H?）氫氣也具有較高的穿透能力，且在大氣中的背景濃度較低。然而，由于其易燃易爆的特性，使用時(shí)需特別注意安全。氦氣（He）4.5.1常用的示蹤氣體靈敏度示蹤氣體的檢測靈敏度應(yīng)滿足檢漏要求。一般來說，分子尺寸較小、質(zhì)量較輕的氣體具有較高的檢測靈敏度。穩(wěn)定性示蹤氣體在檢漏過程中應(yīng)保持穩(wěn)定，不易與其他物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或吸附在材料表面。安全性在選擇示蹤氣體時(shí)，應(yīng)首先考慮其安全性。例如，避免選擇有毒、有害或易燃易爆的氣體。4.5.2示蹤氣體的選擇原則在使用示蹤氣體前，應(yīng)對(duì)其進(jìn)行純度檢查，確保氣體中不含有雜質(zhì)或水分，以免影響檢漏結(jié)果。檢漏完成后，應(yīng)及時(shí)關(guān)閉示蹤氣體閥門，并將剩余氣體妥善處理，以免造成環(huán)境污染或資源浪費(fèi)。使用過程中應(yīng)嚴(yán)格控制示蹤氣體的流量和壓力，避免浪費(fèi)和安全隱患。4.5.3示蹤氣體的使用注意事項(xiàng)104.6質(zhì)量數(shù)選擇質(zhì)量數(shù)是指原子核中質(zhì)子和中子的總數(shù)，不同的氣體分子具有不同的質(zhì)量數(shù)。在四極質(zhì)譜檢漏中，通過選擇特定的質(zhì)量數(shù)，可以針對(duì)性地檢測某種氣體分子的存在。質(zhì)量數(shù)的選擇是通過調(diào)整四極質(zhì)譜儀的參數(shù)來實(shí)現(xiàn)的，這些參數(shù)包括電場強(qiáng)度、磁場強(qiáng)度等。質(zhì)量數(shù)選擇的原理01020301提高檢測靈敏度通過選擇合適的質(zhì)量數(shù)，可以使得檢測器對(duì)目標(biāo)氣體分子更加敏感，從而提高檢測靈敏度。質(zhì)量數(shù)選擇的重要性02減少干擾在復(fù)雜的氣體環(huán)境中，通過選擇特定的質(zhì)量數(shù)，可以減少其他氣體分子的干擾，使得檢測結(jié)果更加準(zhǔn)確。03多組分氣體分析通過選擇不同的質(zhì)量數(shù)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)多組分氣體的同時(shí)檢測和分析。根據(jù)特征峰的位置和強(qiáng)度，調(diào)整四極質(zhì)譜儀的參數(shù)，使得檢測器對(duì)目標(biāo)氣體分子具有最佳的響應(yīng)。質(zhì)量數(shù)選擇的方法根據(jù)氣體的分子量和化學(xué)性質(zhì)來確定所需檢測的質(zhì)量數(shù)范圍。利用四極質(zhì)譜儀的掃描功能，對(duì)不同的質(zhì)量數(shù)進(jìn)行掃描，找到目標(biāo)氣體分子的特征峰。010203注意事項(xiàng)0302在進(jìn)行質(zhì)量數(shù)選擇時(shí)，需要確保四極質(zhì)譜儀處于穩(wěn)定的工作狀態(tài)，以獲得準(zhǔn)確的檢測結(jié)果。01在實(shí)際應(yīng)用中，還需要考慮其他因素如溫度、壓力等對(duì)檢測結(jié)果的影響。對(duì)于復(fù)雜的氣體環(huán)境，可能需要進(jìn)行多次掃描和參數(shù)調(diào)整，以獲得最佳的檢測效果。114.7儀器校準(zhǔn)校準(zhǔn)目的確保質(zhì)譜檢漏儀的準(zhǔn)確性和可靠性01提高檢測精度，減少誤差02保證檢測結(jié)果的一致性和可重復(fù)性03校準(zhǔn)方法絕對(duì)校準(zhǔn)法利用已知漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn)對(duì)比校準(zhǔn)法與其他已校準(zhǔn)的質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行對(duì)比準(zhǔn)備校準(zhǔn)設(shè)備和工具，包括標(biāo)準(zhǔn)漏孔、真空系統(tǒng)、質(zhì)譜檢漏儀等按照校準(zhǔn)程序進(jìn)行操作，記錄校準(zhǔn)數(shù)據(jù)分析校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，判斷質(zhì)譜檢漏儀的準(zhǔn)確性根據(jù)校準(zhǔn)結(jié)果進(jìn)行調(diào)整和修正，確保儀器處于最佳工作狀態(tài)校準(zhǔn)步驟校準(zhǔn)記錄詳細(xì)記錄校準(zhǔn)過程、數(shù)據(jù)和結(jié)果，以備后續(xù)參考和分析定期校準(zhǔn)根據(jù)使用頻率和工作環(huán)境，制定合理的校準(zhǔn)周期校準(zhǔn)環(huán)境確保校準(zhǔn)環(huán)境干凈、無干擾因素校準(zhǔn)周期與注意事項(xiàng)125檢漏方法利用不同氣體分子在四極質(zhì)譜儀中被電離后的質(zhì)荷比差異進(jìn)行氣體成分分析。通過測量樣品中泄漏出的氣體分子，確定泄漏位置和泄漏率。四極質(zhì)譜儀具有高靈敏度、高分辨率和高精度的特點(diǎn)，適用于微小泄漏的檢測。5.1四極質(zhì)譜檢漏原理010203準(zhǔn)備階段確保被檢測設(shè)備和四極質(zhì)譜儀處于良好的工作狀態(tài)，校準(zhǔn)儀器。5.2檢漏步驟01抽真空對(duì)被檢測設(shè)備進(jìn)行抽真空處理，以達(dá)到四極質(zhì)譜儀的工作要求。02檢漏操作將四極質(zhì)譜儀的測試探頭置于被檢測設(shè)備的可疑泄漏處，進(jìn)行氣體成分分析。03數(shù)據(jù)處理與分析記錄測試數(shù)據(jù)，分析氣體成分，確定泄漏位置和泄漏率。045.3檢漏結(jié)果判定根據(jù)測試數(shù)據(jù)，判斷是否存在泄漏以及泄漏的嚴(yán)重程度。01結(jié)合設(shè)備的使用要求和泄漏標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)檢漏結(jié)果進(jìn)行綜合評(píng)價(jià)。02提供詳細(xì)的檢漏報(bào)告，包括泄漏位置、泄漏率和改進(jìn)建議等信息。03在進(jìn)行四極質(zhì)譜檢漏時(shí)，應(yīng)確保測試環(huán)境的干凈和整潔，避免外部干擾。5.4注意事項(xiàng)測試探頭應(yīng)盡可能接近被檢測設(shè)備的表面，以提高測試的準(zhǔn)確性和靈敏度。對(duì)于復(fù)雜的設(shè)備結(jié)構(gòu)，應(yīng)進(jìn)行全面而細(xì)致的測試，以確保無遺漏的泄漏點(diǎn)。135.1噴吹法010203利用噴槍向可能存在泄漏的部位噴吹示蹤氣體（如氦氣）如果有泄漏，示蹤氣體會(huì)通過泄漏點(diǎn)進(jìn)入被檢件內(nèi)部通過質(zhì)譜檢漏儀檢測被檢件內(nèi)部是否有示蹤氣體，從而確定泄漏點(diǎn)位置原理用于向被檢件噴吹示蹤氣體噴槍用于標(biāo)記泄漏點(diǎn)示蹤氣體（如氦氣）01020304用于檢測示蹤氣體的存在質(zhì)譜檢漏儀用于連接被檢件和質(zhì)譜檢漏儀連接管路及閥門設(shè)備與材料1.將被檢件與質(zhì)譜檢漏儀連接，并確保系統(tǒng)密封性良好。3.使用噴槍向被檢件可能泄漏的部位噴吹示蹤氣體，同時(shí)觀察質(zhì)譜檢漏儀的讀數(shù)變化。5.重復(fù)步驟3和4，直至檢查完所有可能泄漏的部位。2.打開質(zhì)譜檢漏儀，進(jìn)行系統(tǒng)校準(zhǔn)和背景氣體測量。4.如果發(fā)現(xiàn)示蹤氣體濃度升高，說明該部位存在泄漏。記錄泄漏點(diǎn)位置，并進(jìn)行后續(xù)處理。6.檢查完畢后，關(guān)閉質(zhì)譜檢漏儀，斷開被檢件連接，并進(jìn)行系統(tǒng)維護(hù)。010203040506操作步驟注意事項(xiàng)如果發(fā)現(xiàn)多個(gè)泄漏點(diǎn)，應(yīng)優(yōu)先處理較大的泄漏點(diǎn)，以減小系統(tǒng)壓力波動(dòng)對(duì)檢測結(jié)果的影響。在噴吹過程中，要保持噴槍移動(dòng)速度均勻，以確保每個(gè)部位都能被均勻噴吹到。確保噴槍與被檢件保持適當(dāng)距離，避免損壞被檢件表面。010203145.2真空室法原理010203利用真空室建立起待測件內(nèi)部與外界的壓差通過測量真空室內(nèi)氣體壓力變化，推算出待測件的泄漏率適用于小型、密封性要求較高的產(chǎn)品檢漏ABCD真空室用于放置待測件并抽真空的密封腔體設(shè)備組成壓力傳感器用于實(shí)時(shí)監(jiān)測真空室內(nèi)的氣體壓力變化真空泵用于對(duì)真空室抽真空，以達(dá)到檢測所需的真空度控制與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)用于控制檢測過程，并對(duì)檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行采集、處理和分析將待測件放入真空室，并確保密封性良好啟動(dòng)真空泵，對(duì)真空室進(jìn)行抽真空操作，直至達(dá)到檢測所需的真空度關(guān)閉真空泵，開始監(jiān)測真空室內(nèi)的氣體壓力變化記錄壓力變化數(shù)據(jù)，并根據(jù)預(yù)設(shè)的算法計(jì)算出待測件的泄漏率根據(jù)泄漏率判斷待測件是否合格，并進(jìn)行相應(yīng)的處理0304020105操作步驟在檢測前需對(duì)待測件進(jìn)行清潔處理，以避免雜質(zhì)對(duì)檢測結(jié)果的影響注意事項(xiàng)01確保真空室的密封性良好，以避免外界氣體對(duì)檢測結(jié)果造成干擾02根據(jù)待測件的特點(diǎn)和檢測要求，選擇合適的真空度和檢測時(shí)間參數(shù)03在檢測過程中需保持環(huán)境穩(wěn)定，以避免環(huán)境因素對(duì)檢測結(jié)果的影響04155.3四極質(zhì)譜非真空累積法利用不同氣體分子在電離后形成的離子在電磁場中具有不同的運(yùn)動(dòng)軌跡，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體分子的分離和檢測。四極質(zhì)譜檢漏儀工作原理在檢漏過程中，不需要對(duì)被檢件進(jìn)行抽真空處理，而是通過累積方式，直接在大氣壓下進(jìn)行氣體采樣和分析。非真空累積法特點(diǎn)原理介紹四極質(zhì)譜儀主機(jī)包括離子源、四極質(zhì)量分析器、離子檢測器等主要部件，用于氣體的電離、分離和檢測。采樣系統(tǒng)由采樣泵、采樣管、過濾器等組成，用于從被檢件中抽取氣體樣品。數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)對(duì)采集到的信號(hào)進(jìn)行放大、濾波、數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換等處理，最終得到檢漏結(jié)果。設(shè)備組成檢查設(shè)備是否完好無損，連接采樣管，打開電源預(yù)熱。準(zhǔn)備階段觀察并記錄四極質(zhì)譜儀輸出的信號(hào)，根據(jù)信號(hào)判斷被檢件是否存在泄漏以及泄漏氣體的種類和濃度。分析階段啟動(dòng)采樣泵，通過采樣管從被檢件中抽取氣體樣品，送入四極質(zhì)譜儀進(jìn)行分析。采樣階段關(guān)閉采樣泵和電源，拆卸采樣管，清理設(shè)備。結(jié)束階段操作步驟注意事項(xiàng)在操作過程中，應(yīng)避免采樣管彎曲或折疊，以免影響氣體流動(dòng)和檢測結(jié)果。01定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù)，確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。02在檢測過程中，應(yīng)注意安全，避免觸電、中毒等危險(xiǎn)情況的發(fā)生。03165.4吸槍法準(zhǔn)備吸槍和必要的連接管路，確保吸槍和質(zhì)譜儀之間的密封性。抽取的氣體通過連接管路進(jìn)入質(zhì)譜儀，進(jìn)行分析。將吸槍對(duì)準(zhǔn)可能存在泄漏的部位，開啟吸槍，抽取該部位的氣體。觀察質(zhì)譜儀的檢測結(jié)果，判斷是否存在泄漏以及泄漏氣體的種類。操作步驟注意事項(xiàng)吸槍應(yīng)保持清潔，避免污染氣體樣本。在檢測過程中，應(yīng)保持吸槍的穩(wěn)定，避免氣體樣本的波動(dòng)影響檢測結(jié)果。若發(fā)現(xiàn)泄漏，應(yīng)及時(shí)記錄并處理。在使用吸槍法前，應(yīng)確保質(zhì)譜儀已校準(zhǔn)并處于正常工作狀態(tài)。優(yōu)點(diǎn)吸槍法可以快速定位泄漏部位，適用于對(duì)大型設(shè)備或系統(tǒng)進(jìn)行快速檢漏。局限性對(duì)于微小泄漏可能不夠敏感，需要結(jié)合其他檢漏方法進(jìn)行確認(rèn)。此外，吸槍法的檢測結(jié)果可能受到環(huán)境氣體、溫度、濕度等因素的影響。優(yōu)點(diǎn)與局限性176檢漏文件010203檢漏文件應(yīng)詳細(xì)記錄檢漏過程、方法、結(jié)果及相關(guān)數(shù)據(jù)。檢漏文件應(yīng)遵循相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范，確保數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性。檢漏文件應(yīng)具有可追溯性，方便后續(xù)復(fù)查和驗(yàn)證。6.1檢漏文件的基本要求明確檢漏目的和要求，確定檢漏方法和步驟。記錄檢漏過程中的關(guān)鍵數(shù)據(jù)，如檢漏時(shí)間、地點(diǎn)、環(huán)境溫度等。詳細(xì)描述檢漏設(shè)備、工具及其使用方法，確保操作規(guī)范。對(duì)檢漏結(jié)果進(jìn)行客觀分析和評(píng)價(jià)，提出改進(jìn)意見和建議。6.2檢漏文件的編制要點(diǎn)審核過程中如發(fā)現(xiàn)問題，應(yīng)及時(shí)與編制人員溝通并進(jìn)行修改。審核通過后，應(yīng)由相關(guān)負(fù)責(zé)人批準(zhǔn)并簽字確認(rèn)。檢漏文件應(yīng)經(jīng)過相關(guān)部門審核，確保內(nèi)容真實(shí)、準(zhǔn)確、完整。6.3檢漏文件的審核與批準(zhǔn)123檢漏文件應(yīng)妥善保存，防止丟失、損壞或泄露。定期對(duì)檢漏文件進(jìn)行歸檔整理，方便后續(xù)查詢和使用。如有需要，可對(duì)檢漏文件進(jìn)行電子化存儲(chǔ)，提高管理效率。6.4檢漏文件的保存與管理186.1檢漏記錄提供改進(jìn)依據(jù)通過對(duì)檢漏記錄的統(tǒng)計(jì)和分析，可以發(fā)現(xiàn)檢漏過程中的問題和不足，為后續(xù)改進(jìn)提供依據(jù)。跟蹤和記錄檢漏過程通過詳細(xì)記錄檢漏過程中的各項(xiàng)參數(shù)和操作，有助于后續(xù)對(duì)檢漏結(jié)果進(jìn)行分析和評(píng)估。確保檢漏質(zhì)量檢漏記錄可以作為質(zhì)量控制的依據(jù)，確保每個(gè)檢漏環(huán)節(jié)都得到了有效執(zhí)行。檢漏記錄的重要性檢漏設(shè)備信息記錄使用的檢漏設(shè)備的型號(hào)、規(guī)格、生產(chǎn)廠家等信息。檢漏環(huán)境參數(shù)記錄檢漏時(shí)的環(huán)境溫度、濕度、氣壓等參數(shù)，以確保檢漏條件的可重復(fù)性。檢漏過程數(shù)據(jù)詳細(xì)記錄檢漏過程中的數(shù)據(jù)，如泄漏率、檢測時(shí)間等。檢漏結(jié)果分析對(duì)檢漏結(jié)果進(jìn)行簡要分析，判斷是否存在泄漏以及泄漏的嚴(yán)重程度。檢漏記錄的內(nèi)容建議采用電子化存儲(chǔ)方式，方便數(shù)據(jù)的檢索和整理。定期對(duì)檢漏記錄進(jìn)行歸檔和備份，以防數(shù)據(jù)丟失。檢漏記錄應(yīng)妥善保存，以備后續(xù)查詢和分析。檢漏記錄的保存和管理010203在設(shè)備維護(hù)中，通過查看檢漏記錄可以了解設(shè)備的泄漏情況，為維修提供依據(jù)。在產(chǎn)品研發(fā)階段，檢漏記錄可以作為產(chǎn)品性能評(píng)估的參考數(shù)據(jù)。在生產(chǎn)過程中，通過檢漏記錄可以監(jiān)控生產(chǎn)線的質(zhì)量情況，及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決問題。檢漏記錄的應(yīng)用場景196.2檢漏報(bào)告檢漏對(duì)象的基本信息包括設(shè)備名稱、型號(hào)、生產(chǎn)廠家等。檢漏結(jié)果記錄各檢測點(diǎn)的泄漏率數(shù)據(jù)，以及是否滿足相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)或技術(shù)要求。結(jié)論與建議根據(jù)檢漏結(jié)果給出結(jié)論，提出針對(duì)性的改進(jìn)建議或維護(hù)措施。檢漏條件和方法詳細(xì)說明檢漏時(shí)的環(huán)境條件（如溫度、濕度等）、使用的檢漏儀器及型號(hào)、檢漏方法（如四極質(zhì)譜法）等。報(bào)告內(nèi)容要求01020304報(bào)告格式要求報(bào)告應(yīng)采用規(guī)范的文件格式，如Word、PDF等，確保內(nèi)容清晰易讀。報(bào)告應(yīng)包含封面、目錄、正文、結(jié)論與建議等部分，結(jié)構(gòu)清晰明了。報(bào)告中的數(shù)據(jù)應(yīng)以表格或圖表形式呈現(xiàn)，便于閱讀和分析。報(bào)告中的術(shù)語和符號(hào)應(yīng)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范，避免產(chǎn)生歧義。檢漏報(bào)告應(yīng)由具有相關(guān)資質(zhì)和經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)人員進(jìn)行審核，確保內(nèi)容的準(zhǔn)確性和可靠性。審核通過的報(bào)告應(yīng)由相關(guān)負(fù)責(zé)人簽發(fā)，并加蓋單位公章或檢測專用章，以示負(fù)責(zé)和認(rèn)可。簽發(fā)的報(bào)告應(yīng)及時(shí)送達(dá)客戶或相關(guān)部門，以便及時(shí)采取后續(xù)措施。報(bào)告審核與簽發(fā)01020320附錄A(規(guī)范性附錄)四種檢漏方法適用的檢漏記錄氦質(zhì)譜檢漏法檢漏記錄檢漏儀器型號(hào)及編號(hào)01記錄使用的氦質(zhì)譜檢漏儀的型號(hào)及唯一編號(hào)，以確?？勺匪菪?。被檢件信息02詳細(xì)記錄被檢件的名稱、型號(hào)、生產(chǎn)廠家及出廠編號(hào)等信息。檢漏過程記錄03包括檢漏前的準(zhǔn)備工作，如被檢件的清潔、抽空等；檢漏時(shí)的操作過程，如噴氦位置、噴氦時(shí)間等；以及檢漏結(jié)果，如是否發(fā)現(xiàn)泄漏、泄漏位置等。檢漏結(jié)論04根據(jù)檢漏結(jié)果給出明確的結(jié)論，如合格、不合格或需進(jìn)一步處理等。真空計(jì)檢漏法檢漏記錄記錄使用的真空計(jì)的型號(hào)及唯一編號(hào)，以確保可追溯性。真空計(jì)型號(hào)及編號(hào)詳細(xì)記錄被檢件的名稱、型號(hào)、生產(chǎn)廠家及抽空過程，包括抽空時(shí)間、達(dá)到的真空度等。被檢件信息及抽空記錄根據(jù)檢漏結(jié)果給出明確的結(jié)論，并提出相應(yīng)的處理建議。檢漏結(jié)論及建議記錄檢漏時(shí)的環(huán)境溫度、濕度等參數(shù)，以及檢漏結(jié)果，如是否發(fā)現(xiàn)泄漏、