(高清版)GB∕T 39157-2020 靶材技術(shù)成熟度等級(jí)劃分及定義

H00中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)靶材技術(shù)成熟度等級(jí)劃分及定義C國家市場監(jiān)督管理總局國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)ⅠGB／T39157—2020本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。本標(biāo)準(zhǔn)由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC243)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：有研億金新材料有限公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院、寧波江豐電子材料股份有限公司、貴研鉑業(yè)股份有限公司。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：高巖、韓知為、熊曉東、騰海濤、趙永善、賀昕、邊逸軍、陳明、王傳軍、姚力軍、聞明、徐國進(jìn)、管麗梅。1GB／T39157—2020靶材技術(shù)成熟度等級(jí)劃分及定義本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了靶材技術(shù)成熟度的術(shù)語和定義、等級(jí)劃分和判定規(guī)則。本標(biāo)準(zhǔn)適用于靶材技術(shù)成熟度評(píng)價(jià)。2術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。2.1在濺射沉積技術(shù)中的陰極部分。該陰極材料在帶正電荷的陽離子撞擊下以分子、原子或離子的形式脫離陰極而在陽極表面沉積。2.2技術(shù)滿足預(yù)期靶材應(yīng)用目標(biāo)的程度。2.3用于衡量靶材技術(shù)滿足預(yù)期應(yīng)用目標(biāo)程度的尺度。注：改寫GB/T37264—2018,定義2.2。2.4針對(duì)某一事物在規(guī)定的檢測條件下得出的相對(duì)數(shù)據(jù)。注：一般是指設(shè)計(jì)或生產(chǎn)時(shí)做出的性能測試報(bào)告。2.5在實(shí)驗(yàn)室階段，根據(jù)靶材設(shè)計(jì)要求而制備的用于測試主要性能、結(jié)構(gòu)和檢驗(yàn)工藝性能的實(shí)物，具備了靶材的部分特性。注：改寫GB/T37264—2018,定義2.3。2.6在靶材工程化階段，考慮最終形式，并在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境或使用環(huán)境下，對(duì)靶材關(guān)鍵性能和功能進(jìn)行測試，通過小批量或小規(guī)模制備的實(shí)物。注：改寫GB/T37264—2018,定義2.4。2.7實(shí)驗(yàn)室的檢測和校準(zhǔn)設(shè)施以及環(huán)境條件，用于驗(yàn)證技術(shù)原理和使用功能。2.8模擬真實(shí)使用環(huán)境，用以驗(yàn)證靶材的關(guān)鍵性能或其主要組成部分的關(guān)鍵性能。GB／T39157—2020注：改寫GB/T37264—2018,定義2.6。2.9v靶材產(chǎn)品實(shí)際使用時(shí)的環(huán)境和工況。注：改寫GB/T37264—2018,定義2.7。在產(chǎn)業(yè)化階段，生產(chǎn)工藝成熟，可批量生產(chǎn)，并能實(shí)現(xiàn)全部功能，完全滿足預(yù)期使用目標(biāo)的實(shí)物。注：改寫GB/T37264—2018,定義2.5。3靶材技術(shù)成熟度等級(jí)劃分要求3.1靶材技術(shù)成熟度等級(jí)劃分表1靶材技術(shù)成熟度等級(jí)界定等級(jí)技術(shù)成熟度階段1靶材設(shè)計(jì)和制備的基本概念、原理形成實(shí)驗(yàn)室階段2靶材的應(yīng)用背景、使用環(huán)境、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)指標(biāo)、制造工藝和工藝設(shè)備等內(nèi)容得到明確3初步明確了靶材的實(shí)驗(yàn)室技術(shù)方案，將概念、原理實(shí)施于靶材制備和工藝控制中，并初步得到驗(yàn)證4實(shí)驗(yàn)室制備工藝貫通，獲得靶材樣品，部分關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)指標(biāo)得到實(shí)驗(yàn)室環(huán)境驗(yàn)證。靶材技術(shù)應(yīng)用的可行性得到驗(yàn)證，提出了工程化轉(zhuǎn)化實(shí)施方案5靶材試制工藝流程貫通，獲得靶材試制品，結(jié)構(gòu)和性能通過實(shí)驗(yàn)室測試驗(yàn)證。對(duì)關(guān)鍵試制工藝進(jìn)行了評(píng)估，進(jìn)行了初步的故障模式及影響分析工程化階段6靶材試制品通過模擬環(huán)境驗(yàn)證，明確了關(guān)鍵生產(chǎn)工藝7靶材試制品通過使用環(huán)境驗(yàn)證，完成靶材試制工藝流程優(yōu)化，全面演示了技術(shù)的工程可行性8靶材產(chǎn)品通過用戶測試和認(rèn)定，生產(chǎn)線完整，形成產(chǎn)品和技術(shù)規(guī)范產(chǎn)業(yè)化階段9靶材產(chǎn)品經(jīng)驗(yàn)證滿足客戶使用要求，能夠穩(wěn)定生產(chǎn)，滿足質(zhì)量一致性要求靶材產(chǎn)品生產(chǎn)要素得到優(yōu)化，成批量穩(wěn)定供貨3.2等級(jí)條件序號(hào)條件內(nèi)容1明確了靶材研發(fā)基礎(chǔ)的基本概念和基本原理2依據(jù)基本原理提出了靶材的基本組分、結(jié)構(gòu)和設(shè)計(jì)，并預(yù)測了基本性能及使用性能3通過實(shí)驗(yàn)，觀察到了基本原理，相關(guān)技術(shù)資料上也已公布了觀察結(jié)果23GB／T39157—20203.2.2等級(jí)2應(yīng)符合表3的規(guī)定。表3等級(jí)2條件序號(hào)條件內(nèi)容1明確了靶材的應(yīng)用背景和使用環(huán)境2明確了靶材關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)指標(biāo)3明確了靶材制造工藝和工藝設(shè)備等內(nèi)容，提出了基本實(shí)驗(yàn)室技術(shù)方案3.2.3等級(jí)3應(yīng)符合表4的規(guī)定。序號(hào)條件內(nèi)容1確定了靶材制備的實(shí)驗(yàn)室實(shí)施方案2完成了靶材樣品制備的準(zhǔn)備、原材料及相應(yīng)的實(shí)驗(yàn)設(shè)備3完成了靶材制備原理的驗(yàn)證4明確了靶材結(jié)構(gòu)與性能的測試內(nèi)容與方法3.2.4等級(jí)4應(yīng)符合表5的規(guī)定。序號(hào)條件內(nèi)容1實(shí)現(xiàn)了實(shí)驗(yàn)室工藝貫通，制備出靶材樣品2完成了結(jié)構(gòu)和主要性能的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境測試3部分測試結(jié)果滿足關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)要求4靶材技術(shù)應(yīng)用的可行性得到驗(yàn)證5實(shí)驗(yàn)室工藝條件下保證靶材樣品的實(shí)現(xiàn)性、穩(wěn)定性和可重復(fù)性，提出了工程化轉(zhuǎn)化實(shí)施方案3.2.5等級(jí)5應(yīng)符合表6的規(guī)定。序號(hào)條件內(nèi)容1試制工藝流程貫通，獲得了靶材試制品2靶材試制品的結(jié)構(gòu)和性能通過實(shí)驗(yàn)室環(huán)境測試驗(yàn)證3依據(jù)靶材工程化實(shí)施方案，開展系統(tǒng)集成的初步研究，對(duì)關(guān)鍵試制工藝進(jìn)行了評(píng)估，進(jìn)行了初步的失效模式及影響分析3.2.6等級(jí)6應(yīng)符合表7的規(guī)定。4GB／T39157—2020序號(hào)條件內(nèi)容1完成模擬環(huán)境用靶材試制品驗(yàn)證件的制備2試制品驗(yàn)證件通過了模擬環(huán)境測試，分析了模擬環(huán)境和實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的差異3制定了完整的試驗(yàn)驗(yàn)證和測試方法，明確了關(guān)鍵生產(chǎn)工藝3.2.7等級(jí)7應(yīng)符合表8的規(guī)定。序號(hào)條件內(nèi)容1完成了試制品驗(yàn)證件在使用環(huán)境中的測試，并通過應(yīng)用評(píng)價(jià)2完成靶材試制工藝流程優(yōu)化，全面演示了技術(shù)的工程可行性3完成了試制品的工程化制備及性能評(píng)價(jià)，完成生產(chǎn)的演示驗(yàn)證3.2.8等級(jí)8應(yīng)符合表9的規(guī)定。序號(hào)條件內(nèi)容1完成靶材產(chǎn)品驗(yàn)證件在使用環(huán)境中的全面測試和鑒定，分析了使用環(huán)境和模擬環(huán)境的差異2工藝穩(wěn)定，工藝文件完整，完成產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)文件編制3掌握了產(chǎn)業(yè)化制備工藝技術(shù)4生產(chǎn)線通過環(huán)境、安全、職業(yè)衛(wèi)生等相關(guān)評(píng)審5完成規(guī)模生產(chǎn)裝備的建設(shè)，生產(chǎn)線完整，具備小批量生產(chǎn)條件3.2.9等級(jí)9應(yīng)符合表10的規(guī)定。序號(hào)條件內(nèi)容1靶材產(chǎn)品經(jīng)驗(yàn)證滿足客戶使用要求2靶材產(chǎn)品滿足質(zhì)量一致性要求，質(zhì)量等級(jí)達(dá)到客戶要求3具備大批量穩(wěn)定生產(chǎn)的能力，材料有穩(wěn)定的供貨渠道4制定了靶材產(chǎn)品成本優(yōu)化方案5完成了維修性、可靠性和保障性等數(shù)據(jù)的收集3.2.10等級(jí)10應(yīng)符合表11的規(guī)定。5GB／T39157—2020序號(hào)條件內(nèi)容1靶材產(chǎn)品的性能全部滿足使用需求2靶材制造過程受控且具備穩(wěn)定生產(chǎn)的能力3靶材產(chǎn)品生產(chǎn)要素得到優(yōu)化，滿足市場需求4靶材