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文檔簡介
I 1 1 1 1 2 2 2 2 2 2 3 3 3 3 3 3 4 4 4 4 5 7 71一、工作簡況（一）任務來源（二）立項目的和意義（三）起草單位2（四）主要工作過程二、標準化對象簡要情況及制修訂標準的原則（一）標準化對象簡要情況3（二）制定原則三、主要技術內(nèi)容（一）標準名稱和適用范圍（二）儀器設備（三）觀測條件4（四）觀測方法5（五）晶圓分級6X≤5%5%<X≤20%20%<X≤40%X＞40%四、采用國際標準和國外先進標準的程度及理由，以及與國際、國外同類標準水平對比情況，或與測試的國外樣品的有關數(shù)據(jù)對比情況五、與現(xiàn)行法律、法規(guī)、強制性國家標準及相關標準協(xié)調(diào)配套情況六、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)七、貫徹標準的要求及建議7八
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