光學(xué)元波導(dǎo)的應(yīng)用和集成

23/26光學(xué)元波導(dǎo)的應(yīng)用和集成第一部分光學(xué)元波導(dǎo)的分類(lèi)與特性 2第二部分元波導(dǎo)在光通信中的應(yīng)用 5第三部分元波導(dǎo)在光傳感中的集成 9第四部分元波導(dǎo)在光計(jì)算中的作用 11第五部分元波導(dǎo)與光子集成芯片的結(jié)合 14第六部分元波導(dǎo)在生物傳感中的探索 17第七部分元波導(dǎo)在光學(xué)成像中的潛力 21第八部分元波導(dǎo)技術(shù)的未來(lái)展望 23

第一部分光學(xué)元波導(dǎo)的分類(lèi)與特性關(guān)鍵詞關(guān)鍵要點(diǎn)光學(xué)元波導(dǎo)的分類(lèi)

1.按結(jié)構(gòu)分類(lèi)：

-平面型元波導(dǎo)：波導(dǎo)結(jié)構(gòu)為平面狀，限制波的傳播方向。

-波束型元波導(dǎo)：波導(dǎo)結(jié)構(gòu)為波束狀，將光限制在特定角度范圍內(nèi)。

-光纖型元波導(dǎo)：波導(dǎo)結(jié)構(gòu)為光纖，通過(guò)折射或全反射引導(dǎo)光波傳播。

2.按材料分類(lèi)：

-半導(dǎo)體型元波導(dǎo)：利用半導(dǎo)體材料的折射率差進(jìn)行光波引導(dǎo)。

-金屬型元波導(dǎo)：利用金屬材料的表面等離子體極化效應(yīng)進(jìn)行光波引導(dǎo)。

-介質(zhì)型元波導(dǎo)：利用介質(zhì)材料的折射率差進(jìn)行光波引導(dǎo)。

光學(xué)元波導(dǎo)的特性

1.色散特性：

-正色散：傳輸不同波長(zhǎng)的光時(shí)，高頻光波傳播速度快于低頻光波。

-負(fù)色散：傳輸不同波長(zhǎng)的光時(shí)，低頻光波傳播速度快于高頻光波。

-零色散：傳輸不同波長(zhǎng)的光時(shí)，不同波長(zhǎng)光波傳播速度相同。

2.損耗特性：

-傳輸損耗：光波在元波導(dǎo)中傳播時(shí)，由于材料吸收、散射等因素造成的光強(qiáng)衰減。

-彎曲損耗：光波在元波導(dǎo)彎曲處由于模式泄漏造成的額外光強(qiáng)衰減。

3.非線性特性：

-光學(xué)克爾效應(yīng)：光波強(qiáng)度較大時(shí)，介質(zhì)折射率發(fā)生變化，導(dǎo)致光波傳播速度發(fā)生變化。

-拉曼散射：光波與物質(zhì)分子相互作用，產(chǎn)生新的光波，導(dǎo)致光波的偏離和散射。光學(xué)元波導(dǎo)的分類(lèi)

光學(xué)元波導(dǎo)根據(jù)其材料性質(zhì)、結(jié)構(gòu)和傳播模式，可分為以下幾類(lèi)：

根據(jù)材料性質(zhì)

*無(wú)機(jī)光子晶體波導(dǎo)（PhC-OWG）：利用半導(dǎo)體或介電材料周期性排列形成的周期性結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)光波在特定波段的傳輸。

*有機(jī)光子晶體波導(dǎo)（PhC-PWG）：利用有機(jī)聚合物或共軛分子周期性排列形成的波導(dǎo)，具有低損耗、低成本和易加工的特點(diǎn)。

*金屬波導(dǎo)：利用金屬薄膜或納米結(jié)構(gòu)的表面等離激元模式進(jìn)行光波傳輸。

根據(jù)結(jié)構(gòu)

*平板波導(dǎo)：在基底材料的表面或內(nèi)部形成一個(gè)薄薄的高折射率層，光波沿該層被限制傳輸。

*脊形波導(dǎo)：在基底材料上刻蝕出具有脊形截面的溝槽結(jié)構(gòu)，光波沿脊形結(jié)構(gòu)傳輸。

*波導(dǎo)偶合器：將兩個(gè)或多個(gè)波導(dǎo)耦合在一起，實(shí)現(xiàn)光波的傳輸和調(diào)控。

*微諧振腔（MR）：利用高折射率材料形成一個(gè)封閉結(jié)構(gòu)，光波在腔內(nèi)高速共振傳播。

*光子晶體光纖（PCF）：具有周期性空氣孔隙的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，光波沿其中心傳輸，具有低損耗和多種傳播模式的特點(diǎn)。

根據(jù)傳播模式

*單模波導(dǎo)：只能傳播單一傳播模式的光波。

*多模波導(dǎo)：可以同時(shí)傳播多個(gè)傳播模式的光波。

*TE（橫向電磁）模式：電場(chǎng)振蕩垂直于傳播方向。

*TM（橫向磁性）模式：磁場(chǎng)振蕩垂直于傳播方向。

*HE（雜化模式）：電場(chǎng)和磁場(chǎng)都同時(shí)垂直和平行于傳播方向振蕩。

光學(xué)元波導(dǎo)的特性

光學(xué)元波導(dǎo)具有以下重要的特性：

*波導(dǎo)損耗：光波在波導(dǎo)中傳播時(shí)發(fā)生的能量衰減，通常用損耗系數(shù)表示。

*傳播常數(shù)：光波在波導(dǎo)中傳播的相位變化率，決定了波導(dǎo)的傳輸特性。

*群速度：光波在波導(dǎo)中傳播的速率，影響信號(hào)的延遲和失真。

*模場(chǎng)分布：光波在波導(dǎo)中的電場(chǎng)和磁場(chǎng)分布，決定了波導(dǎo)與其他光學(xué)器件的耦合特性。

*波長(zhǎng)范圍：波導(dǎo)允許傳輸?shù)墓獠úㄩL(zhǎng)范圍，取決于波導(dǎo)的材料、結(jié)構(gòu)和設(shè)計(jì)參數(shù)。

*非線性效應(yīng)：波導(dǎo)中光波與材料相互作用產(chǎn)生的非線性光學(xué)效應(yīng)，如二次諧波產(chǎn)生和克爾效應(yīng)。

*緊湊性：光學(xué)元波導(dǎo)具有微米甚至納米級(jí)的尺寸，非常緊湊。

*可集成性：光學(xué)元波導(dǎo)可以與其他光學(xué)器件集成在同一芯片上，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的系統(tǒng)功能。

結(jié)論

光學(xué)元波導(dǎo)的分類(lèi)和特性決定了其在不同領(lǐng)域的應(yīng)用。通過(guò)優(yōu)化波導(dǎo)的材料、結(jié)構(gòu)和傳播模式，可以實(shí)現(xiàn)低損耗、高速傳輸、高集成的光學(xué)器件，從而在光通信、光傳感、光計(jì)算等領(lǐng)域發(fā)揮關(guān)鍵作用。第二部分元波導(dǎo)在光通信中的應(yīng)用關(guān)鍵詞關(guān)鍵要點(diǎn)硅光子元波導(dǎo)

1.硅光子元波導(dǎo)具有低光損耗、緊湊尺寸和高集成度，適用于低功耗、高帶寬的光通信應(yīng)用。

2.硅光子元波導(dǎo)可以利用CMOS工藝進(jìn)行大規(guī)模制造，具有低成本和高良率。

3.硅光子元波導(dǎo)可以實(shí)現(xiàn)光信號(hào)調(diào)制、放大、檢測(cè)和路由等多種功能。

光纖元波導(dǎo)

1.光纖元波導(dǎo)具有極低的光損耗和寬帶傳輸能力，適用于長(zhǎng)距離和高速光通信。

2.光纖元波導(dǎo)的柔韌性和可彎曲性使其適合于各種應(yīng)用場(chǎng)景，包括海底光纜和數(shù)據(jù)中心。

3.光纖元波導(dǎo)可以集成光放大器和光復(fù)用器等器件，提高光信號(hào)傳輸距離和容量。

集成光子元波導(dǎo)

1.集成光子元波導(dǎo)將多個(gè)光學(xué)元件集成在單一芯片上，實(shí)現(xiàn)高密度、低功耗的光通信系統(tǒng)。

2.集成光子元波導(dǎo)可以減少布線復(fù)雜性、降低體積和提高可靠性。

3.集成光子元波導(dǎo)技術(shù)正在向硅基光子學(xué)和氮化硅光子學(xué)方向發(fā)展，具有進(jìn)一步提高集成度和降低功耗的潛力。

非線性元波導(dǎo)

1.非線性元波導(dǎo)利用光波的高強(qiáng)度電場(chǎng)與物質(zhì)相互作用中非線性效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)全光處理和計(jì)算。

2.非線性元波導(dǎo)可以實(shí)現(xiàn)頻率轉(zhuǎn)換、參量放大和相位匹配等多種功能。

3.非線性元波導(dǎo)在量子計(jì)算、光神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)和非線性成像等領(lǐng)域具有潛在應(yīng)用。

超材料元波導(dǎo)

1.超材料元波導(dǎo)利用周期性排列的亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)對(duì)光波的超常操控。

2.超材料元波導(dǎo)可以實(shí)現(xiàn)負(fù)折射率、完美透射和隱身等奇異光學(xué)現(xiàn)象。

3.超材料元波導(dǎo)在光隱身、超透鏡和光子晶體等領(lǐng)域具有應(yīng)用前景。

拓?fù)湓▽?dǎo)

1.拓?fù)湓▽?dǎo)利用拓?fù)浣^緣體理論，實(shí)現(xiàn)光波在特定邊界條件下的單向傳輸。

2.拓?fù)湓▽?dǎo)具有魯棒性強(qiáng)、損耗低和易于調(diào)控等優(yōu)點(diǎn)。

3.拓?fù)湓▽?dǎo)在光子芯片、光學(xué)隔離器和光子計(jì)算等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用潛力。光學(xué)元波導(dǎo)在光通信中的應(yīng)用

光學(xué)元波導(dǎo)是一種介于光纖和光子集成電路之間的關(guān)鍵技術(shù)，為光通信提供了新的機(jī)遇，可以實(shí)現(xiàn)尺寸緊湊、低損耗和高性能的光學(xué)器件。

1.光互連

元波導(dǎo)在光互連中扮演著重要角色，用于替代傳統(tǒng)的光纖跳線和連接器。它們尺寸更小、重量更輕、損耗更低，并且可以實(shí)現(xiàn)更緊湊的光學(xué)系統(tǒng)。在數(shù)據(jù)中心和高速計(jì)算機(jī)中，元波導(dǎo)被廣泛用于機(jī)架內(nèi)和機(jī)架之間的光互連。

2.光開(kāi)關(guān)

元波導(dǎo)光開(kāi)關(guān)是一種新型的光開(kāi)關(guān)器件，具有高速、低功耗、低插入損耗的特點(diǎn)。它可以實(shí)現(xiàn)光信號(hào)的快速切換，滿(mǎn)足光通信網(wǎng)絡(luò)高帶寬和低延遲的需求。元波導(dǎo)光開(kāi)關(guān)可以用于光纖網(wǎng)絡(luò)、數(shù)據(jù)中心和光通信系統(tǒng)中。

3.光放大器

元波導(dǎo)光放大器是一種小型、低功耗的光放大器，可以放大光信號(hào)的功率。它利用光學(xué)增益介質(zhì)實(shí)現(xiàn)信號(hào)放大，具有高增益、低噪音和寬帶寬的特點(diǎn)。元波導(dǎo)光放大器可在光纖通信系統(tǒng)中用于信號(hào)放大和補(bǔ)償。

4.光調(diào)制器

元波導(dǎo)光調(diào)制器是一種用于調(diào)制光信號(hào)幅度、相位或偏振的光學(xué)器件。它可以實(shí)現(xiàn)光信號(hào)的調(diào)制、解調(diào)和編碼，在光通信系統(tǒng)中用于信號(hào)傳輸和處理。元波導(dǎo)光調(diào)制器具有高速、低功耗和低插入損耗的優(yōu)點(diǎn)。

5.光子集成電路

元波導(dǎo)是光子集成電路（PIC）的關(guān)鍵組成部分。通過(guò)將多種光學(xué)器件集成到一塊芯片上，PIC可以實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的信號(hào)處理和路由功能，在光通信系統(tǒng)中廣泛應(yīng)用。元波導(dǎo)在PIC中用于光信號(hào)的傳輸、調(diào)制、放大和開(kāi)關(guān)。

集成方法

元波導(dǎo)與其他光學(xué)器件集成有以下幾種方法：

*異質(zhì)集成：將元波導(dǎo)與其他材料或光學(xué)器件集成，例如硅光子學(xué)、氮化鎵或磷化銦等。

*單片集成：在同一襯底上制造元波導(dǎo)和光學(xué)器件。

*垂直集成：將元波導(dǎo)垂直堆疊在其他光學(xué)器件之上，以實(shí)現(xiàn)三維集成。

性能指標(biāo)

元波導(dǎo)的性能指標(biāo)包括：

*傳播損耗：光信號(hào)在元波導(dǎo)中傳播時(shí)的功率衰減。

*彎曲半徑：元波導(dǎo)可以實(shí)現(xiàn)的最小彎曲半徑。

*有效折射率：描述光在元波導(dǎo)中傳播時(shí)的折射率。

*偏振消光比：描述元波導(dǎo)對(duì)TE和TM偏振光的隔離程度。

發(fā)展趨勢(shì)

元波導(dǎo)技術(shù)不斷發(fā)展，新的材料和設(shè)計(jì)不斷涌現(xiàn)。未來(lái)的發(fā)展趨勢(shì)包括：

*低損耗元波導(dǎo)：進(jìn)一步降低元波導(dǎo)的傳播損耗，以提高光信號(hào)傳輸?shù)男省?/p>

*高帶寬元波導(dǎo)：開(kāi)發(fā)具有寬帶寬的元波導(dǎo)，以支持高速數(shù)據(jù)傳輸。

*非線性元波導(dǎo)：利用元波導(dǎo)的非線性特性實(shí)現(xiàn)新型的光學(xué)器件和功能。

*集成化元波導(dǎo)：開(kāi)發(fā)可與其他光學(xué)器件高度集成的元波導(dǎo)，以實(shí)現(xiàn)緊湊和高性能的光通信系統(tǒng)。

應(yīng)用案例

以下是一些元波導(dǎo)在光通信中的應(yīng)用案例：

*InfineraDTN-X：Infinera的DTN-X光傳輸網(wǎng)絡(luò)使用基于硅光子學(xué)技術(shù)的元波導(dǎo)光開(kāi)關(guān)，實(shí)現(xiàn)高速、低延遲的光互連。

*思科硅光引擎：思科的硅光引擎采用元波導(dǎo)光互連和光開(kāi)關(guān)，為數(shù)據(jù)中心和云計(jì)算應(yīng)用提供高性能的光連接。

*華為光通信解決方案：華為的光通信解決方案使用元波導(dǎo)光放大器和光調(diào)制器，實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)距離光傳輸和信號(hào)處理。

結(jié)論

光學(xué)元波導(dǎo)在光通信中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它們提供了一種緊湊、低損耗和高性能的替代方案，滿(mǎn)足了光互連、光開(kāi)關(guān)、光放大器、光調(diào)制器和光子集成電路的要求。隨著元波導(dǎo)技術(shù)不斷發(fā)展，它將在未來(lái)光通信系統(tǒng)中發(fā)揮越來(lái)越重要的作用。第三部分元波導(dǎo)在光傳感中的集成關(guān)鍵詞關(guān)鍵要點(diǎn)光傳感中的元波導(dǎo)集成

1.光傳感靈敏度的提高：元波導(dǎo)的亞波長(zhǎng)倏逝場(chǎng)限制光與傳感介質(zhì)之間的相互作用，增強(qiáng)了光與被測(cè)物的耦合，從而提高光傳感靈敏度。

2.傳感尺寸的縮?。涸▽?dǎo)的緊湊尺寸使其能夠集成到微型光學(xué)器件中，例如傳感芯片或光纖傳感器，實(shí)現(xiàn)了傳感裝置的小型化和便攜化。

3.多參數(shù)傳感：元波導(dǎo)可以通過(guò)設(shè)計(jì)支持多種共振模式或使用特殊材料，實(shí)現(xiàn)對(duì)多個(gè)物理或化學(xué)參數(shù)的同步測(cè)量，例如溫度、應(yīng)變和折射率。

元波導(dǎo)傳感器的波長(zhǎng)可調(diào)控

1.波長(zhǎng)范圍擴(kuò)展：元波導(dǎo)中的倏逝場(chǎng)模式可以通過(guò)改變波導(dǎo)幾何形狀或材料性質(zhì)進(jìn)行調(diào)諧，從而擴(kuò)展可檢測(cè)光的波長(zhǎng)范圍。

2.光譜選擇性：元波導(dǎo)的諧振行為可以根據(jù)特定目標(biāo)分子的吸收或散射特性進(jìn)行設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)對(duì)特定物質(zhì)的高選擇性檢測(cè)。

3.靈敏度增強(qiáng)：通過(guò)調(diào)諧元波導(dǎo)的共振波長(zhǎng)與目標(biāo)分子的吸收或散射峰值一致，可以顯著提高傳感器的靈敏度。元波導(dǎo)在光傳感中的集成

引言

元波導(dǎo)是一種尺寸遠(yuǎn)小于波長(zhǎng)的亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)，具有引導(dǎo)和控制光波的能力。其獨(dú)特的光學(xué)特性使其在各種光學(xué)應(yīng)用中具有廣闊的發(fā)展前景，其中包括光傳感。

光傳感中的元波導(dǎo)集成

元波導(dǎo)集成于光傳感設(shè)備中可顯著提高傳感性能，具體表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

高靈敏度

元波導(dǎo)的亞波長(zhǎng)尺寸使其對(duì)光學(xué)場(chǎng)的擾動(dòng)非常敏感。這種高靈敏度特性使其適用于檢測(cè)微弱的化學(xué)、生物或物理變化。

高選擇性

元波導(dǎo)可以通過(guò)精心設(shè)計(jì)其光學(xué)特性，使其對(duì)特定波長(zhǎng)、極化或相位的入射光高度敏感。這種光譜選擇性允許傳感系統(tǒng)特異性地檢測(cè)目標(biāo)物質(zhì)。

光信號(hào)處理和調(diào)制

元波導(dǎo)可以充當(dāng)光信號(hào)處理和調(diào)制的平臺(tái)。通過(guò)引入額外的幾何特征或集成其他光學(xué)元件，元波導(dǎo)可以實(shí)現(xiàn)光信號(hào)的濾波、調(diào)制和光學(xué)放大。

集成和小型化

元波導(dǎo)的尺寸小巧，可以與其他光學(xué)元件集成，實(shí)現(xiàn)緊湊、高性能的光傳感系統(tǒng)。這種集成特性使其適用于空間受限的應(yīng)用場(chǎng)景。

應(yīng)用實(shí)例

元波導(dǎo)在光傳感領(lǐng)域的集成已催生了各種應(yīng)用，包括：

化學(xué)傳感

元波導(dǎo)已用于檢測(cè)氣體、液體和固體樣品中的各種化學(xué)物質(zhì)。例如，使用表面等離子體共振（SPR）元波導(dǎo)可以檢測(cè)生物分子（如蛋白質(zhì)、DNA）和環(huán)境污染物（如重金屬）。

生物傳感

元波導(dǎo)可用于生物傳感，檢測(cè)細(xì)胞、組織和血液中的生物標(biāo)志物。通過(guò)與熒光探針或納米顆粒結(jié)合，元波導(dǎo)可以實(shí)現(xiàn)高靈敏度、高特異性的生物檢測(cè)。

物理傳感

元波導(dǎo)還可用于物理傳感，如壓力、應(yīng)變和溫度測(cè)量。通過(guò)監(jiān)控元波導(dǎo)的光傳輸特性，可以實(shí)時(shí)檢測(cè)這些物理參數(shù)的變化。

集成傳感平臺(tái)

元波導(dǎo)可以與微流體系統(tǒng)、納米傳感器和其他光學(xué)元件集成，創(chuàng)建多功能集成傳感平臺(tái)。這種集成方法可實(shí)現(xiàn)同時(shí)檢測(cè)多個(gè)參數(shù)以及對(duì)復(fù)雜樣本進(jìn)行綜合分析。

展望

元波導(dǎo)在光傳感領(lǐng)域的集成是一個(gè)快速發(fā)展的領(lǐng)域。隨著新材料、新工藝和新設(shè)計(jì)的不斷涌現(xiàn)，元波導(dǎo)傳感系統(tǒng)有望在醫(yī)療診斷、環(huán)境監(jiān)測(cè)、工業(yè)控制和其他領(lǐng)域獲得更為廣泛的應(yīng)用。第四部分元波導(dǎo)在光計(jì)算中的作用元波導(dǎo)在光計(jì)算中的作用

元波導(dǎo)是一種新型的亞波長(zhǎng)光學(xué)器件，它通過(guò)利用光子的自旋角動(dòng)量來(lái)實(shí)現(xiàn)光波的操控和調(diào)制。由于其獨(dú)特的屬性，元波導(dǎo)在光計(jì)算領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。

1.光子晶體光纖通信

元波導(dǎo)可以作為光子晶體光纖（PCF）中的基本構(gòu)建塊，用于構(gòu)建低損耗、高帶寬的光通信系統(tǒng)。與傳統(tǒng)光纖相比，PCF具有更寬的傳輸頻帶、更低的非線性，以及更強(qiáng)的抗噪聲能力，使其特別適合于高速率和長(zhǎng)距離的光通信。

2.光互連和光交換

元波導(dǎo)可以用于構(gòu)建光互連和光交換網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)高速率、低功耗的數(shù)據(jù)傳輸和處理。由于元波導(dǎo)具有超緊湊的尺寸和低損耗特性，它們可以實(shí)現(xiàn)高密度光互連和低交叉損耗的光交換，從而顯著提高光計(jì)算系統(tǒng)的性能。

3.光計(jì)算芯片

元波導(dǎo)可以集成到光計(jì)算芯片中，實(shí)現(xiàn)光學(xué)計(jì)算、存儲(chǔ)和處理功能。通過(guò)利用元波導(dǎo)的波長(zhǎng)復(fù)用、光束轉(zhuǎn)向和調(diào)制特性，可以實(shí)現(xiàn)大規(guī)模并行計(jì)算、低能耗存儲(chǔ)和高速數(shù)據(jù)處理，突破傳統(tǒng)電子計(jì)算的極限。

4.光нейроморфный計(jì)算

元波導(dǎo)可以用于構(gòu)建光нейроморфный計(jì)算系統(tǒng)，模仿人腦的工作方式進(jìn)行快速、高效的計(jì)算。通過(guò)利用元波導(dǎo)的光學(xué)非線性和自旋光子學(xué)特性，可以實(shí)現(xiàn)類(lèi)神經(jīng)元和突觸功能，實(shí)現(xiàn)光學(xué)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的構(gòu)建。

5.量子光計(jì)算

元波導(dǎo)在量子光計(jì)算中也具有重要應(yīng)用。通過(guò)利用元波導(dǎo)的對(duì)光子自旋角動(dòng)量的操控能力，可以實(shí)現(xiàn)光子糾纏的產(chǎn)生、操縱和檢測(cè)，為實(shí)現(xiàn)基于光子的量子計(jì)算奠定基礎(chǔ)。

6.光譜分析

元波導(dǎo)可以用于構(gòu)建光譜分析儀，實(shí)現(xiàn)對(duì)光譜信息的精確測(cè)量和分析。通過(guò)利用元波導(dǎo)的色散工程和波長(zhǎng)復(fù)用特性，可以大幅提高光譜分析的分辨率、靈敏度和速度，廣泛應(yīng)用于化學(xué)、生物和醫(yī)療領(lǐng)域。

7.生物傳感

元波導(dǎo)可以用于構(gòu)建生物傳感平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)對(duì)生物分子的快速、靈敏和多重檢測(cè)。通過(guò)利用元波導(dǎo)的表面等離激元共振和波長(zhǎng)復(fù)用特性，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同生物分子的特異性識(shí)別和定量檢測(cè)，在疾病診斷、食品安全和環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。

8.光成像

元波導(dǎo)可以用于構(gòu)建各種光成像系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高分辨率、高對(duì)比度的成像。通過(guò)利用元波導(dǎo)的波束整形、光束掃描和相位調(diào)制特性，可以實(shí)現(xiàn)端鏡成像、OCT成像和光學(xué)顯微成像，廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)成像、工業(yè)檢測(cè)和科學(xué)研究領(lǐng)域。

9.光學(xué)通信

元波導(dǎo)可以用于構(gòu)建高容量、長(zhǎng)距離的光通信系統(tǒng)。通過(guò)利用元波導(dǎo)的多模態(tài)傳輸特性，可以同時(shí)傳輸多個(gè)波長(zhǎng)或模式的光信號(hào)，大幅提高光通信系統(tǒng)的容量和傳輸距離，滿(mǎn)足未來(lái)高速率、大容量的信息傳輸需求。

10.光量子技術(shù)

元波導(dǎo)在光量子技術(shù)領(lǐng)域也具有重要應(yīng)用。通過(guò)利用元波導(dǎo)的光學(xué)非線性和自旋光子學(xué)特性，可以實(shí)現(xiàn)光子糾纏的產(chǎn)生、操縱和檢測(cè)，為實(shí)現(xiàn)光子量子通信、量子計(jì)算和量子傳感奠定基礎(chǔ)。第五部分元波導(dǎo)與光子集成芯片的結(jié)合關(guān)鍵詞關(guān)鍵要點(diǎn)元波導(dǎo)與光子集成芯片的異質(zhì)集成

1.元波導(dǎo)與硅基光子集成芯片的異質(zhì)集成技術(shù)，突破了硅基光子學(xué)材料和器件的局限性，使其能夠?qū)崿F(xiàn)更豐富的功能和更優(yōu)異的性能。

2.通過(guò)將元波導(dǎo)材料（如氮化硅、鈮酸鋰等）與硅光子芯片集成，可以實(shí)現(xiàn)低損耗、高非線性、寬帶調(diào)制等特性，滿(mǎn)足光通信、光計(jì)算、光傳感等應(yīng)用需求。

3.異質(zhì)集成技術(shù)面臨著材料選擇、工藝兼容、界面優(yōu)化等挑戰(zhàn)，需要不斷探索新的集成方案和工藝技術(shù)以提升集成質(zhì)量和器件性能。

元波導(dǎo)與硅基光子集成芯片的單片集成

1.單片集成技術(shù)將元波導(dǎo)直接集成在硅光子芯片上，實(shí)現(xiàn)更高集成度、更緊湊的器件尺寸和更低的成本。

2.通過(guò)采用納米加工、光刻膠圖案化等先進(jìn)工藝技術(shù)，可以在硅襯底上制備出高精度、低損耗的元波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。

3.單片集成面臨著工藝復(fù)雜性、材料兼容性等挑戰(zhàn)，需要優(yōu)化工藝流程和材料選擇以提高器件良率和性能穩(wěn)定性。

元波導(dǎo)與光子集成芯片的應(yīng)用：光通信

1.元波導(dǎo)在光通信領(lǐng)域具有巨大應(yīng)用潛力，可用于實(shí)現(xiàn)低損耗、高帶寬、低功耗的光互連和數(shù)據(jù)傳輸。

2.元波導(dǎo)的低彎曲損耗和緊湊尺寸使得其適用于光纖耦合器、分支波導(dǎo)樹(shù)等光通信器件的構(gòu)建。

3.元波導(dǎo)與硅基光子集成芯片的結(jié)合可實(shí)現(xiàn)高速、低功耗的光通信收發(fā)器件，滿(mǎn)足下一代數(shù)據(jù)中心和光纖網(wǎng)絡(luò)的需求。

元波導(dǎo)與光子集成芯片的應(yīng)用：光計(jì)算

1.元波導(dǎo)的光計(jì)算應(yīng)用包括光學(xué)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)、光學(xué)計(jì)算器等領(lǐng)域，可實(shí)現(xiàn)高速、低功耗的計(jì)算功能。

2.元波導(dǎo)的非線性光學(xué)特性可用于實(shí)現(xiàn)光學(xué)神經(jīng)元、光學(xué)邏輯門(mén)等基本計(jì)算單元。

3.元波導(dǎo)與硅基光子集成芯片的結(jié)合為光計(jì)算系統(tǒng)提供了高集成度、低能耗的底層硬件平臺(tái)。

元波導(dǎo)與光子集成芯片的應(yīng)用：光傳感

1.元波導(dǎo)的高靈敏度和響應(yīng)性使其在光傳感領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用，可用于實(shí)現(xiàn)高精度、多模態(tài)的光學(xué)傳感。

2.元波導(dǎo)的表面增強(qiáng)效應(yīng)可提高傳感器的靈敏度，用于檢測(cè)生物分子、化學(xué)物質(zhì)等。

3.元波導(dǎo)與硅基光子集成芯片的結(jié)合可實(shí)現(xiàn)小型化、低成本的光學(xué)傳感系統(tǒng)，滿(mǎn)足醫(yī)療診斷、環(huán)境監(jiān)測(cè)等應(yīng)用需求。

元波導(dǎo)與光子集成芯片的應(yīng)用：光量子技術(shù)

1.元波導(dǎo)在光量子技術(shù)中可用于實(shí)現(xiàn)光量子器件的集成和互連，如光量子比特、光量子糾纏源等。

2.元波導(dǎo)的低損耗、高相干性特性有利于光量子態(tài)的傳輸和操控。

3.元波導(dǎo)與硅基光子集成芯片的結(jié)合為光量子技術(shù)的實(shí)用化和商用化提供了可行的集成平臺(tái)。元波導(dǎo)與光子集成芯片的結(jié)合

元波導(dǎo)與光子集成芯片（PIC）的結(jié)合為光通信和光學(xué)計(jì)算帶來(lái)了變革性的可能性。通過(guò)將元波導(dǎo)與PIC集成，可以實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，從而增強(qiáng)光操縱能力并擴(kuò)大其應(yīng)用范圍。

PIC集成中的元波導(dǎo)類(lèi)型

PIC集成的元波導(dǎo)主要有兩種類(lèi)型：

*無(wú)源元波導(dǎo)：這些元波導(dǎo)負(fù)責(zé)光信號(hào)的傳輸、耦合和過(guò)濾，不提供光放大或調(diào)制。

*有源元波導(dǎo)：這些元波導(dǎo)包含光放大或調(diào)制功能，可實(shí)現(xiàn)光放大、開(kāi)關(guān)和調(diào)制等功能。

應(yīng)用

PIC中的元波導(dǎo)集成具有廣泛的應(yīng)用，包括：

*互連和光開(kāi)關(guān)：元波導(dǎo)可用于在PIC內(nèi)實(shí)現(xiàn)光信號(hào)的低損耗、高帶寬互連，并提供動(dòng)態(tài)路由和開(kāi)關(guān)能力。

*濾波器和復(fù)用器：元波導(dǎo)可用于設(shè)計(jì)具有窄帶或?qū)拵V波響應(yīng)的濾波器，以及可將多個(gè)波長(zhǎng)復(fù)用到同一光纖上的復(fù)用器。

*光放大器：元波導(dǎo)可集成有源元波導(dǎo)，如摻鉺波導(dǎo)放大器（EDFA），以放大光信號(hào)并補(bǔ)償傳輸損耗。

*調(diào)制器：元波導(dǎo)可集成有源元波導(dǎo)，如電光調(diào)制器（EOM）和馬赫-曾德?tīng)栒{(diào)制器（MZM），以實(shí)現(xiàn)光信號(hào)的調(diào)制和編碼。

集成優(yōu)點(diǎn)

將元波導(dǎo)集成到PIC中提供了以下優(yōu)勢(shì)：

*尺寸緊湊：PIC允許集成多個(gè)元波導(dǎo)器件在一個(gè)小型芯片上，實(shí)現(xiàn)高密度光學(xué)集成。

*低損耗：PIC中的元波導(dǎo)通常具有低傳播損耗，從而減少光信號(hào)傳輸過(guò)程中的損耗。

*高穩(wěn)定性：PIC中的元波導(dǎo)受環(huán)境的影響較小，具有出色的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和可靠性。

*低功耗：PIC中的元波導(dǎo)通常功耗低，可實(shí)現(xiàn)節(jié)能光互連和處理。

挑戰(zhàn)

PIC中的元波導(dǎo)集成也面臨一些挑戰(zhàn)：

*工藝復(fù)雜性：元波導(dǎo)的制造過(guò)程復(fù)雜，需要高精度的模式化和蝕刻技術(shù)。

*光耦合：元波導(dǎo)之間的光耦合必須優(yōu)化，以最大化信號(hào)傳輸效率并最小化損耗。

*熱效應(yīng)：高功率光信號(hào)通過(guò)元波導(dǎo)時(shí)會(huì)產(chǎn)生熱效應(yīng)，這可能會(huì)影響波導(dǎo)特性。

發(fā)展趨勢(shì)

元波導(dǎo)與PIC集成領(lǐng)域正在迅速發(fā)展，新的材料和設(shè)計(jì)不斷涌現(xiàn)。例如：

*硅光子元波導(dǎo)：硅光子技術(shù)為PIC集成提供了低成本、高性能的平臺(tái)。

*鈮酸鋰元波導(dǎo)：鈮酸鋰波導(dǎo)具有出色的電光特性，使其適用于光調(diào)制和非線性光學(xué)應(yīng)用。

*III-V族化合物元波導(dǎo)：III-V族化合物元波導(dǎo)具有寬帶隙和高光學(xué)非線性性，適用于高功率光學(xué)應(yīng)用。

結(jié)論

元波導(dǎo)與PIC集成相結(jié)合，為光通信和光學(xué)計(jì)算的發(fā)展開(kāi)辟了新的可能性。通過(guò)提供復(fù)雜的光操縱能力和廣泛的應(yīng)用，這種集成技術(shù)將繼續(xù)推動(dòng)光學(xué)領(lǐng)域的創(chuàng)新和進(jìn)步。第六部分元波導(dǎo)在生物傳感中的探索關(guān)鍵詞關(guān)鍵要點(diǎn)光學(xué)元波導(dǎo)在生物傳感中的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)

-元波導(dǎo)的超緊湊尺寸和高靈敏度使其能夠?qū)崿F(xiàn)微流體系統(tǒng)中生物標(biāo)志物的實(shí)時(shí)、原位監(jiān)測(cè)。

-通過(guò)集成光學(xué)元件，如光譜儀和干涉儀，元波導(dǎo)生物傳感器可實(shí)現(xiàn)對(duì)多種生物標(biāo)志物的多參數(shù)檢測(cè)，包括核酸、蛋白質(zhì)和代謝物。

-微流控集成允許對(duì)樣本進(jìn)行精密控制和處理，增強(qiáng)傳感器的特異性和靈敏度。

光學(xué)元波導(dǎo)在生物傳感中的增強(qiáng)信號(hào)

-元波導(dǎo)的亞波長(zhǎng)尺寸可通過(guò)共振增強(qiáng)與生物標(biāo)志物的相互作用，提高傳感器的信號(hào)強(qiáng)度。

-非線性光學(xué)效應(yīng)，如二次諧波產(chǎn)生和拉曼散射，可以進(jìn)一步增強(qiáng)信號(hào)，提高檢測(cè)靈敏度。

-表面增強(qiáng)技術(shù)，如金屬納米顆粒和介電材料涂層，可通過(guò)提高局部場(chǎng)強(qiáng)度來(lái)增強(qiáng)生物分子與光子的相互作用。

光學(xué)元波導(dǎo)在生物傳感中的多路復(fù)用和集成

-元波導(dǎo)陣列可實(shí)現(xiàn)多路復(fù)用檢測(cè)，同時(shí)監(jiān)測(cè)多個(gè)生物標(biāo)志物，提高傳感器的通量和信息量。

-光學(xué)元件的集成，如分束器、濾波器和探測(cè)器，減少了傳感器的復(fù)雜性和尺寸，便于其在便攜式設(shè)備和點(diǎn)測(cè)試中部署。

-光纖與元波導(dǎo)的耦合可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程傳感和分布式監(jiān)測(cè)，擴(kuò)展了生物傳感的應(yīng)用范圍。

光學(xué)元波導(dǎo)在生物傳感中的高通量篩選

-元波導(dǎo)生物傳感器陣列可高通量篩選生物樣品，識(shí)別候選生物標(biāo)志物或潛在的治療靶點(diǎn)。

-通過(guò)并行檢測(cè)，元波導(dǎo)可縮短篩選時(shí)間并增加吞吐量，加快藥物發(fā)現(xiàn)和疾病診斷。

-實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)能力允許對(duì)生物分子相互作用的動(dòng)力學(xué)進(jìn)行研究，深入了解疾病進(jìn)程和治療反應(yīng)。

光學(xué)元波導(dǎo)在生物傳感中的點(diǎn)測(cè)試

-基于元波導(dǎo)的生物傳感器可以通過(guò)小型化和光纖集成實(shí)現(xiàn)點(diǎn)測(cè)試，使即時(shí)、現(xiàn)場(chǎng)的生物標(biāo)志物檢測(cè)成為可能。

-微流控與元波導(dǎo)的集成提高了樣本處理能力，即使在資源有限的環(huán)境中也能進(jìn)行準(zhǔn)確可靠的檢測(cè)。

-點(diǎn)測(cè)試裝置便于使用，可用于疾病篩查、環(huán)境監(jiān)測(cè)和食品安全控制等應(yīng)用。

光學(xué)元波導(dǎo)在生物傳感中的未來(lái)趨勢(shì)

-正在探索新型元波導(dǎo)材料和結(jié)構(gòu)，以提高光學(xué)性能和增強(qiáng)與生物標(biāo)志物的相互作用。

-人工智能和機(jī)器學(xué)習(xí)算法的整合將提高傳感器的準(zhǔn)確性和可靠性，實(shí)現(xiàn)個(gè)性化檢測(cè)和疾病風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估。

-可穿戴式和植入式元波導(dǎo)生物傳感器有望實(shí)現(xiàn)連續(xù)、無(wú)創(chuàng)的生物標(biāo)志物監(jiān)測(cè)，提高疾病預(yù)防和健康管理的效率。元波導(dǎo)在生物傳感中的探索

#簡(jiǎn)介

元波導(dǎo)是一種新型的光學(xué)器件，因其具有超緊致、高度可調(diào)諧和低損耗等優(yōu)點(diǎn)而備受關(guān)注。其在生物傳感領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景，能夠?qū)崿F(xiàn)靈敏、實(shí)時(shí)和原位檢測(cè)。

#生物化學(xué)傳感

元波導(dǎo)支持多種傳感模式，包括共振腔、表面等離激元（SPP）和光超材料。這些模式對(duì)光的特性高度敏感，例如頻率、相位和偏振，當(dāng)與生物分子相互作用時(shí)會(huì)發(fā)生可檢測(cè)的變化。

共振腔生物傳感器利用元波導(dǎo)的腔諧振來(lái)檢測(cè)目標(biāo)分子。當(dāng)目標(biāo)分子附著在腔表面時(shí)，其折射率或介電常數(shù)會(huì)發(fā)生變化，從而導(dǎo)致腔諧振模式的移位。通過(guò)監(jiān)測(cè)諧振移位，可以定量分析靶分子濃度。

SPP生物傳感器利用元波導(dǎo)表面支持的SPP模式來(lái)傳感。SPP是沿著金屬-介質(zhì)界面的電磁波，其傳播特性對(duì)表面性質(zhì)高度敏感。當(dāng)目標(biāo)分子吸附在金屬表面上時(shí)，SPP的相位和振幅會(huì)發(fā)生變化，這可以通過(guò)光譜測(cè)量來(lái)檢測(cè)。

光超材料生物傳感器利用元波導(dǎo)中的人工制造納米結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)光的超常操控。這些納米結(jié)構(gòu)可以設(shè)計(jì)為具有特定的光學(xué)特性，并對(duì)特定生物分子敏感。當(dāng)目標(biāo)分子存在時(shí)，超材料的光學(xué)特性會(huì)發(fā)生變化，從而實(shí)現(xiàn)傳感。

#細(xì)胞傳感

元波導(dǎo)還可用于細(xì)胞傳感，實(shí)現(xiàn)細(xì)胞計(jì)數(shù)、活力檢測(cè)和細(xì)胞分離等功能。

細(xì)胞計(jì)數(shù)利用元波導(dǎo)腔諧振檢測(cè)細(xì)胞對(duì)光傳輸?shù)挠绊?。?dāng)細(xì)胞進(jìn)入腔內(nèi)時(shí)，其折射率會(huì)改變腔諧振模式，從而可以計(jì)算細(xì)胞數(shù)量。

細(xì)胞活力檢測(cè)利用元波導(dǎo)SPP模式來(lái)傳感細(xì)胞的代謝活動(dòng)。當(dāng)活細(xì)胞代謝時(shí)，其排放的代謝物會(huì)影響SPP的傳播特性，這可以通過(guò)光譜測(cè)量來(lái)檢測(cè)。

細(xì)胞分離利用元波導(dǎo)的超材料來(lái)分離具有特定表型或狀態(tài)的細(xì)胞。超材料可以設(shè)計(jì)為對(duì)特定細(xì)胞標(biāo)志物敏感，當(dāng)細(xì)胞流過(guò)元波導(dǎo)時(shí)，靶細(xì)胞會(huì)與超材料相互作用并被分離出來(lái)。

#器件集成

元波導(dǎo)生物傳感器的集成是實(shí)現(xiàn)便攜式、低成本和高通量傳感系統(tǒng)的重要趨勢(shì)。通過(guò)將元波導(dǎo)傳感器與其他光學(xué)元件（如光源、探測(cè)器和光纖）集成，可以構(gòu)建小型化、集成化的生物傳感芯片。

光纖集成將元波導(dǎo)傳感器與光纖耦合，可以實(shí)現(xiàn)光信號(hào)的遠(yuǎn)距離傳輸和遠(yuǎn)程傳感。光纖集成的元波導(dǎo)生物傳感器可以在偏遠(yuǎn)地區(qū)或惡劣環(huán)境中進(jìn)行生物檢測(cè)。

多模集成將多個(gè)元波導(dǎo)傳感器集成在同一芯片上，可以同時(shí)檢測(cè)多種目標(biāo)分子。多模集成傳感器具有高復(fù)用度和高通量，適合于快速診斷和多重檢測(cè)。

#應(yīng)用實(shí)例

元波導(dǎo)生物傳感器在醫(yī)療診斷、環(huán)境監(jiān)測(cè)和食品安全等領(lǐng)域已顯示出巨大的應(yīng)用潛力。

醫(yī)療診斷：元波導(dǎo)生物傳感器可以用于檢測(cè)各種疾病標(biāo)志物，例如癌癥、心臟病和感染性疾病。其靈敏度和特異性足以實(shí)現(xiàn)早期診斷和個(gè)性化治療。

環(huán)境監(jiān)測(cè)：元波導(dǎo)生物傳感器可用于檢測(cè)環(huán)境中的污染物，例如重金屬、農(nóng)藥和病原體。其實(shí)時(shí)性和原位檢測(cè)能力使其成為環(huán)境監(jiān)測(cè)的有力工具。

食品安全：元波導(dǎo)生物傳感器可以用于檢測(cè)食品中的有害物質(zhì)，例如致病菌、農(nóng)藥殘留和毒素。其快速和靈敏的檢測(cè)能力有助于保障食品安全。

#結(jié)論

元波導(dǎo)在生物傳感中的應(yīng)用是一個(gè)快速發(fā)展的領(lǐng)域。其超緊致、高度可調(diào)諧和低損耗的特性為靈敏、實(shí)時(shí)和原位生物檢測(cè)提供了新的機(jī)遇。通過(guò)器件集成和多模傳感，元波導(dǎo)生物傳感器有望在醫(yī)療診斷、環(huán)境監(jiān)測(cè)和食品安全等領(lǐng)域發(fā)揮變革性作用。第七部分元波導(dǎo)在光學(xué)成像中的潛力元波導(dǎo)在光學(xué)成像中的潛力

元波導(dǎo)是一種新型的光學(xué)元件，它利用亞波長(zhǎng)的結(jié)構(gòu)特征來(lái)操縱光，具有超薄、輕巧、低損耗等優(yōu)點(diǎn)。在光學(xué)成像領(lǐng)域，元波導(dǎo)展現(xiàn)出巨大的潛力，為實(shí)現(xiàn)高分辨率、寬視場(chǎng)、低畸變的光學(xué)系統(tǒng)提供了新的途徑。

高分辨率成像

元波導(dǎo)可以通過(guò)調(diào)制光的相位和振幅，在輸出端形成衍射受限的點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)（PSF）。與傳統(tǒng)光學(xué)透鏡相比，元波導(dǎo)能夠?qū)崿F(xiàn)更小的PSF，從而獲得更高的空間分辨率。例如，研究人員利用氮化硅元波導(dǎo)，實(shí)現(xiàn)了120nm的空間分辨率，比傳統(tǒng)光學(xué)透鏡高出10倍以上。

寬視場(chǎng)成像

傳統(tǒng)光學(xué)透鏡的視場(chǎng)通常受到口徑大小的限制。元波導(dǎo)則利用衍射效應(yīng)，可以實(shí)現(xiàn)大于180度的超寬視場(chǎng)成像。這使得元波導(dǎo)在全景成像、虛擬現(xiàn)實(shí)和增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)等應(yīng)用中具有廣闊的前景。

低畸變成像

元波導(dǎo)可以有效校正傳統(tǒng)光學(xué)透鏡中的像差，例如球差、彗差和畸變等。通過(guò)設(shè)計(jì)適當(dāng)?shù)牟嚸?，元波?dǎo)可以產(chǎn)生理想的像差校正，從而獲得高保真度的無(wú)畸變圖像。

集成成像系統(tǒng)

元波導(dǎo)的超薄、輕巧和低損耗特性使其非常適合集成到光學(xué)系統(tǒng)中。例如，可以將元波導(dǎo)集成到智能手機(jī)攝像頭中，以實(shí)現(xiàn)更高分辨率和更寬視場(chǎng)的成像。此外，元波導(dǎo)還可以與其他光學(xué)元件，如濾波器和光電探測(cè)器集成，從而實(shí)現(xiàn)多功能的成像系統(tǒng)。

具體應(yīng)用

元波導(dǎo)在光學(xué)成像領(lǐng)域的應(yīng)用范圍廣泛，包括：

*生物醫(yī)學(xué)成像：高分辨率的元波導(dǎo)顯微鏡可用于細(xì)胞和組織成像，提供深層組織的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。

*機(jī)器視覺(jué)：寬視場(chǎng)的元波導(dǎo)相機(jī)可用于檢測(cè)和識(shí)別物體，在工業(yè)自動(dòng)化和質(zhì)量控制領(lǐng)域具有應(yīng)用前景。

*消費(fèi)電子：集成到智能手機(jī)和虛擬現(xiàn)實(shí)頭顯中的元波導(dǎo)鏡頭可以提供增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)和虛擬現(xiàn)實(shí)體驗(yàn)。

*天文學(xué)：元波導(dǎo)望遠(yuǎn)鏡可以校正大氣湍流造成的像差，實(shí)現(xiàn)高分辨率的天文觀測(cè)。

挑戰(zhàn)和展望

雖然元波導(dǎo)在光學(xué)成像領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的潛力，但仍存在一些挑戰(zhàn)需要解決，包括：

*制造工藝：元波導(dǎo)的納米級(jí)結(jié)構(gòu)對(duì)制造工藝提出了極高的要求，需要開(kāi)發(fā)高精度和低成本的制造技術(shù)。

*材料損耗：某些材料在光通信波段存在較高的損耗，限制了元波導(dǎo)在長(zhǎng)距離成像中的應(yīng)用。

*集成技術(shù)：集成元波導(dǎo)到光學(xué)系