GB/T 25915.17-2024潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第17部分：粒子沉積速率應(yīng)用

ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T2591517—2024/ISO14644-172021

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第17部分粒子沉積速率應(yīng)用

:

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Part17Particledeositionratealications

:ppp

ISO14644-172021IDT

(:,)

2024-08-23發(fā)布2025-03-01實(shí)施

國家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T2591517—2024/ISO14644-172021

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

符號(hào)

4………………………3

粒子沉積速率使用方法

5…………………3

粒子沉積速率的測(cè)量

6……………………4

粒子沉積速率水平

7………………………4

記錄

8………………………5

附錄資料性粒子沉積速率的測(cè)量

A()…………………7

附錄資料性粒子沉積速率測(cè)量示例

B()………………9

附錄資料性粒子遮蔽速率的測(cè)量

C()…………………12

附錄資料性粒子沉積速率與懸浮粒子濃度之間的關(guān)系

D()…………15

附錄資料性粒子沉積的評(píng)估與控制

E()………………16

參考文獻(xiàn)

……………………19

Ⅰ

GB/T2591517—2024/ISO14644-172021

.:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的第部分已經(jīng)發(fā)布了以下

GB/T25915《》17。GB/T25915

部分

:

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

———1:;

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測(cè)

———2:;

第部分檢測(cè)方法

———3:;

第部分設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

———4:、、;

第部分運(yùn)行

———5:;

第部分詞匯

———6:;

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境

———7:(、、、);

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

———8:(ACC);

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

———9:;

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

———10:;

第部分監(jiān)測(cè)空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

———12:;

第部分達(dá)到粒子和化學(xué)潔凈度要求的表面清潔

———13:;

第部分按粒子濃度評(píng)估設(shè)備適用性

———14:;

第部分按氣態(tài)化學(xué)物濃度評(píng)定設(shè)備及材料的適用性

———15:;

第部分提升潔凈室和空氣凈化裝置的能效

———16:;

第部分粒子沉積速率應(yīng)用

———17:。

本文件等同采用潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分粒子沉積速率應(yīng)用

ISO14644-17:2021《17:》。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位中國工程物理研究院激光聚變研究中心蘇州安泰空氣技術(shù)有限公司蘇州蘇信

:、、

環(huán)境科技有限公司中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司吳江市華宇凈化設(shè)備有限公司中國標(biāo)準(zhǔn)化

、、、

協(xié)會(huì)上海尚遠(yuǎn)建設(shè)工程有限公司中國電子工程設(shè)計(jì)院股份有限公司中國科學(xué)院大氣物理研究所煙

、、、、

臺(tái)寶源凈化有限公司北京戴納實(shí)驗(yàn)科技有限公司廣州保瑞醫(yī)療技術(shù)有限公司譜尼測(cè)試集團(tuán)股份有

、、、

限公司上海市室內(nèi)環(huán)境凈化行業(yè)協(xié)會(huì)仲愷農(nóng)業(yè)工程學(xué)院科銳特廈門凈化科技有限公司杭州捷瑞

、、、()、

智能裝備股份有限公司惠特科學(xué)技術(shù)有限公司朗恒科技集團(tuán)有限公司新拓洋生物工程有限公司

、、、。

本文件主要起草人苗心向袁曉東王天羿孫揚(yáng)郝胤博吳志堅(jiān)惠旅鋒陸晶丁禹龍高怡婷

:、、、、、、、、、、

奚曉鵬楊云濤王芳賀樂凱丁力行高正魏蘭山香菊張長(zhǎng)安胡思偉黃狄文張建國李華新

、、、、、、、、、、、、、

危勇華奚光明

、。

Ⅲ

GB/T2591517—2024/ISO14644-172021

.:

引言

采用系列標(biāo)準(zhǔn)各部分設(shè)置與國際標(biāo)準(zhǔn)保持一致擬由個(gè)部分構(gòu)成

GB/T25915ISO14644,,18。

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分粒子污染程度

———1:。。

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測(cè)目的是指導(dǎo)監(jiān)測(cè)粒子污染以避免可能產(chǎn)生的污染

———2:。,

風(fēng)險(xiǎn)

。

第部分檢測(cè)方法目的是指導(dǎo)對(duì)潔凈室內(nèi)各種污染和相關(guān)環(huán)境要素的檢測(cè)

———3:。。

第部分設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)目的是指導(dǎo)潔凈室的設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

———4:、、。、、。

第部分運(yùn)行目的是指導(dǎo)潔凈室的運(yùn)行

———5:。。

第部分詞匯目的是統(tǒng)一規(guī)范技術(shù)術(shù)語

———6:。。

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境目的是提出潔凈室用隔離裝置的基

———7:(、、、)。

本要求

。

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分空氣化學(xué)污染程度

———8:(ACC)。。

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分表面粒子污染程度

———9:。。

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分表面化學(xué)污染程度

———10:。。

第部分監(jiān)測(cè)空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求目的是提出納米級(jí)別的粒子污染的檢測(cè)

———12:。

要求

。

第部分達(dá)到粒子和化學(xué)潔凈度要求的表面清潔目的是提出潔凈室內(nèi)表面的清潔要求以

———13:。

避免可能產(chǎn)生的粒子和化學(xué)污染的風(fēng)險(xiǎn)

。

第部分按粒子濃度評(píng)估設(shè)備適用性目的是通過對(duì)相關(guān)設(shè)備可能在潔凈室產(chǎn)生粒子污染

———14:。

的測(cè)試確定設(shè)備的適合性

,。

第部分按氣態(tài)化學(xué)物濃度評(píng)定設(shè)備及材料的適用性目的是通過對(duì)相關(guān)設(shè)備及材料可能

———15:。

在潔凈室產(chǎn)生氣態(tài)化學(xué)污染的測(cè)試確定設(shè)備及材料的適用性

,。

第部分提升潔凈室和空氣凈化裝置的能效目的是減少潔凈室能耗和帶來的全球影響

———16:。。

第部分粒子沉積速率應(yīng)用目的是提供評(píng)價(jià)產(chǎn)品敏感表面顆粒潔凈度的方法同時(shí)給出

———17:。,

表面大顆粒沉降污染相關(guān)的分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)

。

第部分耗材適用性評(píng)估目的是評(píng)估耗材在潔凈室清潔區(qū)或控制區(qū)的適當(dāng)使用

———18:。、。

第部分懸浮粒子取樣技術(shù)目的是針對(duì)潔凈是中的懸浮粒子采樣減少采樣誤差和粒子

———21:。,

損失

。

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境用于將污染控制到適合完成污染敏感活動(dòng)的水平從污染控制中獲益的產(chǎn)

。

品和工藝包括航空航天微電子光學(xué)核能食品醫(yī)療保健制藥和醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)的產(chǎn)品和工藝

、、、、、、。

考慮了潔凈室中的空氣粒子并通過最大允許濃度對(duì)潔凈室的潔凈度進(jìn)行分

GB/T25915.1—2021,

類同時(shí)和考慮了表面粒子的濃度本文件基于荷蘭

,GB/T25915.9—2018IEST-STD-CC1246E:2013。

潔凈控制協(xié)會(huì)指南考慮了潔凈室中表面的粒子沉積速率粒子沉積速率的重要性

(VCCN)9,。(PDR)

在于懸浮粒子對(duì)易損表面如制成品的污染概率與直接相關(guān)

()PDR。

描述了測(cè)定大于或等于粒子沉積的方法在本文件中重點(diǎn)關(guān)注的

GB/T25915.3—20240.1μm。,

是大于的大粒子在表面的沉積速率以及其在潔凈室污染控制中的應(yīng)用

5μm,。

在潔凈室中人員機(jī)械工具和工藝活動(dòng)會(huì)產(chǎn)生各種粒徑的粒子并通過氣流在潔凈室中擴(kuò)散分

,、、,

布根據(jù)在潔凈度為級(jí)或更優(yōu)的潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中粒徑大于

。GB/T25915.1—2021,ISO5,

的粒子濃度為零或極低值然而由于行業(yè)工藝活動(dòng)不同在潔凈室動(dòng)態(tài)運(yùn)行中會(huì)在表面上發(fā)

5μm。,、,,

Ⅳ

GB/T2591517—2024/ISO14644-172021

.:

現(xiàn)粒徑為甚至更大的粒子超出了中潔凈度分級(jí)的粒徑限值雖

5μm~500μm,GB/T25915.1—2021。

然這是偶然現(xiàn)象但采樣入口處采樣管中粒子計(jì)數(shù)器內(nèi)存在沉降損失所以無法檢測(cè)到空氣中的大粒

,、、,

子大粒子會(huì)導(dǎo)致污染問題最好通過測(cè)量表面上的來確定易損表面上大粒子存在和沉積的可

。,PDR

能性

。

當(dāng)粒子粒徑小于時(shí)通過潔凈室通風(fēng)系統(tǒng)去除但對(duì)于粒徑大于的粒子超過的

5μm,。10μm,50%

粒子會(huì)沉積到表面粒徑大于時(shí)沉積率達(dá)到以上該粒徑粒子的主要沉積機(jī)制是重力作

。40μm,90%。

用但空氣湍流和靜電吸附也會(huì)導(dǎo)致沉積這些沉積粒子不會(huì)因潔凈室氣流重新分布但能通過人員走

,。,

動(dòng)和清潔動(dòng)作等產(chǎn)生再懸浮因此有必要通過清潔去除這些粒子

。。

潔凈室中存在的粒徑大于的粒子及其再懸浮主要與人員或機(jī)械活動(dòng)有關(guān)在潔凈室處于靜

5μm。

態(tài)時(shí)幾乎沒有活動(dòng)粒徑大于的粒子很少擴(kuò)散其濃度接近零不發(fā)生顯著沉積因此只有在動(dòng)

,5μm,,。,

態(tài)情況下才需考慮

,PDR。

是潔凈室或潔凈區(qū)的一種屬性它決定了空氣中懸浮粒子沉積到潔凈室中的表面如產(chǎn)品或

PDR,(

工藝區(qū)域的表面的概率通過風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估確定易損表面的可接受污染量并獲取以確保沉積粒

)。,,PDR,

子不超過該污染量

。

本文件給出了在潔凈室或潔凈區(qū)測(cè)量的方法在潔凈室運(yùn)行期間使用該方法獲取所需的

PDR。,

并通過監(jiān)測(cè)潔凈室和潔凈區(qū)證明空氣污染得到持續(xù)控制監(jiān)測(cè)還能使峰值與活動(dòng)關(guān)

PDR,,。PDRPDR

聯(lián)以便確定污染源對(duì)工作流程提出改進(jìn)措施以降低污染風(fēng)險(xiǎn)

,,。

是指當(dāng)表面暴露在污染空氣中時(shí)粒子沉積到表面的速率見公式

PDR,,(1):

CfDCiD

RD-

=tfti…………(1)

-

式中

:

D粒徑單位為微米

———,(μm);

RD粒徑大于或等于D的粒子沉積速率單位為個(gè)每平方米小時(shí)個(gè)2

———,[/(m·h)];

Cf粒徑大于或等于D的表面粒子最終濃度單位為個(gè)每平方米個(gè)2

D———,(/m);

Ci粒徑大于或等于D的表面粒子初始濃度單位為個(gè)每平方米個(gè)2

D———,(/m);

tf最終暴露時(shí)間單位為小時(shí)

———,(h);

ti初始暴露時(shí)間單位為小時(shí)

———,(h)。

如果是在易損表面如產(chǎn)品表面的某個(gè)位置或附近確定的則用公式估算出空氣中粒子

PDR(),(2)

沉積在表面的數(shù)量

:

NDRDta

=··…………(2)

式中

:

ND粒徑大于或等于D的表面粒子沉積數(shù)量單位為個(gè)

———,;

t暴露時(shí)間單位為小時(shí)

———,(h);

a暴露在污染空氣中的面積單位為平方米2

———,(m)。

一些行業(yè)使用潔凈室制造光學(xué)儀器和組件如用于航空航天的反射鏡透鏡和太陽能電池板這些

,、。

產(chǎn)品的質(zhì)量與表面粒子吸收或反射光的總量有關(guān)因此本文件在附錄中還考慮了潔凈室中暴露的

。,C

測(cè)試表面的粒子遮蔽速率使用不同粒徑的計(jì)算和遮光量并采取類似的方

(POR)。PDRPOR,PDR

式以降低表面污染的風(fēng)險(xiǎn)

,。

Ⅴ

GB/T2591517—2024/ISO14644-172021

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第17部分粒子沉積速率應(yīng)用

:

1范圍

作為污染控制計(jì)劃的一部分本文件對(duì)潔凈室易損表面上粒子沉積速率測(cè)量結(jié)果的解釋和

,(PDR)

應(yīng)用提供了指導(dǎo)提供了的影響因素和降低易損表面上粒子污染風(fēng)險(xiǎn)的說明

。PDR。

本文件提供了潔凈室測(cè)量來確定易損表面上大粒子的可接受濃度限值和風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估方法能確

PDR,

定粒子沉積到易損表面的可接受風(fēng)險(xiǎn)當(dāng)風(fēng)險(xiǎn)不可接受時(shí)則需要采取潔凈控制措施來降低

。,PDR。

粒子遮蔽速率是一種替代的方法其定義為粒子在表面上隨時(shí)間增加的覆蓋率

(POR)PDR,。

的使用方式與類似也用于計(jì)算指定表面所需的以降低沉積粒子的風(fēng)險(xiǎn)

PORPDR,POR,