潔凈室各項(xiàng)指標(biāo)的檢測方法程序法則判定標(biāo)準(zhǔn)

潔凈室各項(xiàng)指標(biāo)的檢測方法程序法則判定標(biāo)準(zhǔn)潔凈室的檢測主要分為：風(fēng)量和風(fēng)速的檢測靜壓差的檢測潔凈度的測定微生物粒子的檢測安裝高效空氣過濾器后的檢漏污染泄露測試氣流流型試驗(yàn)自凈時間測定溫度及相對濕度檢測照度檢測噪聲檢測防靜電地面導(dǎo)電性能測定風(fēng)量和風(fēng)速的檢測風(fēng)量和風(fēng)速的檢測必須首先進(jìn)行，凈化空調(diào)的各項(xiàng)效果必須是在設(shè)計(jì)風(fēng)量和風(fēng)速的條件下獲得。用熱力風(fēng)速儀測量風(fēng)速用風(fēng)量罩直接測量風(fēng)量測前準(zhǔn)備工作風(fēng)量檢測前必須檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行是否正常，系統(tǒng)中各部件安裝是否正確，有無障礙（如過濾器有無被堵、檔），所有閥門應(yīng)固定在一定的開啟位置上，并且必須實(shí)際測量被測風(fēng)口、風(fēng)管尺寸。單向流潔凈室的風(fēng)量測量垂直單向流及水平單向流潔凈室，目前均采用截面平均風(fēng)速與截面面積的成績計(jì)算風(fēng)量，關(guān)于截面的取法和測點(diǎn)的布置如下表單向流潔凈室風(fēng)量測定的有關(guān)規(guī)定JGJ71-90GB50073-2001垂直單向流水平單向流垂直單向流水平單向流測定截面選取距地面0.8m距送風(fēng)面0.5m取離高效過濾器0.3m垂直于氣流平面測點(diǎn)布置間距≤2m均勻布置不大于0.6m均勻布置最少測點(diǎn)數(shù)10點(diǎn)（算術(shù)平均值）5點(diǎn)（算術(shù)平均值）儀器熱球風(fēng)速儀未具體規(guī)定評定標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)大于設(shè)計(jì)風(fēng)速，且不超過20%1-4級0.3~0.5不均勻的均方根差不大于0.255級（百級）0.2~0.53．非單向流（亂流）潔凈室的風(fēng)量測定：非單向流（亂流）潔凈室的風(fēng)量可以用風(fēng)管法和風(fēng)口法兩種方法測量，關(guān)于截面取法和測點(diǎn)布置見下表測定方法使用場合測定截面位置及測點(diǎn)數(shù)的規(guī)定非單向流潔凈室的風(fēng)量測定風(fēng)管法對于風(fēng)口上風(fēng)側(cè)較長的支管段，且已經(jīng)可以鉆孔時，可采用。常用于總管及分支管風(fēng)量量測測定截面的位置原則上選擇在氣流比較均勻穩(wěn)定的地方；與局部阻力部件的距離，在局部阻力部件前不少于3倍風(fēng)管管徑長度；在局部阻力部件后不少于5倍管徑或長邊長度。對于矩形風(fēng)管，將測定截面分成若干個相等的小截面，盡可能接近正方形，邊長最好不大于200mm，其截面積不大于0.05m2，測點(diǎn)在各個小截面中心處，但整個截面測點(diǎn)數(shù)不宜小于3個，測點(diǎn)布置見下圖（矩形風(fēng)管測點(diǎn)位置示意圖）對于圓形風(fēng)管截面，應(yīng)按等面積圓環(huán)法劃分測定截面確定測點(diǎn)數(shù)；即根據(jù)管徑大小將圓管分為若干個面積相等的同心圓環(huán)，每個圓環(huán)上有四個測點(diǎn)，四個測點(diǎn)必須在相互垂直的兩個直徑上，圓環(huán)中心設(shè)一個測點(diǎn)，測點(diǎn)的布置見下圖（圓形風(fēng)管測點(diǎn)位置示意圖）風(fēng)口法多用于高效過濾器末端風(fēng)口風(fēng)量及房間換氣次數(shù)的測定。因此時往往難于選擇足夠的穩(wěn)定管段。對于安有過濾器的風(fēng)口，根據(jù)風(fēng)口形式可選用輔助用管，既用硬質(zhì)板材做成與風(fēng)口內(nèi)截面相同，長度等于2倍風(fēng)口邊上的直管段，連接于過濾器風(fēng)口外部，在輔助風(fēng)管出口平面上，按最少測點(diǎn)數(shù)不少于不少于6點(diǎn)均勻布置測點(diǎn)，用熱球風(fēng)速儀測定各點(diǎn)風(fēng)速，以風(fēng)口截面平均風(fēng)速乘以風(fēng)口靜截面積測定風(fēng)量對于安有同類擴(kuò)散板的風(fēng)口，可以根據(jù)擴(kuò)散板的風(fēng)量阻力曲線（出廠風(fēng)量阻力曲線或現(xiàn)場實(shí)測風(fēng)量阻力曲線）和實(shí)際擴(kuò)散板阻力（孔板內(nèi)靜壓與是被靜壓之差），查出風(fēng)量。測定時用微壓計(jì)和細(xì)畢托管，活用細(xì)橡膠管代替畢托管，但都必須使用測孔平面與氣流方向平行。測量注意事項(xiàng)：在測量風(fēng)速時宜采用支架固定測夾；不得不用手持風(fēng)速儀時，手臂要盡量伸直使測頭遠(yuǎn)離身體（側(cè)方或下游）以減少人身干擾。評定：a．系統(tǒng)的實(shí)測風(fēng)量應(yīng)大于各自的設(shè)計(jì)風(fēng)量，但不應(yīng)超過20%。b．總實(shí)測新風(fēng)量和設(shè)計(jì)新風(fēng)量之差，不應(yīng)超過設(shè)計(jì)新風(fēng)量的±10%。c．室內(nèi)各風(fēng)口的風(fēng)量與各自設(shè)計(jì)風(fēng)量之差均不應(yīng)超過設(shè)計(jì)風(fēng)量的±15%。矩形風(fēng)管測點(diǎn)位置示意圖圓形風(fēng)管測點(diǎn)位置示意圖圓形劃分?jǐn)?shù)按下表規(guī)定：圓形風(fēng)管分環(huán)表風(fēng)管直徑/mm＜200200-400400-700＞700圓環(huán)個數(shù)345＞6靜壓差檢測此項(xiàng)檢測的目的是為了測定潔凈室的靜壓差，它可以是正壓或者負(fù)壓，以防止?jié)崈羰覂?nèi)外氣流間的相互影響。檢測要求靜壓差的檢測要求要在潔凈室內(nèi)所有的門窗全部關(guān)閉的情況下進(jìn)行在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行，一直檢測到直通室外的房間測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何位置均可，測管口面與氣流流線平行所測量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到0.1Pa檢測步驟：先關(guān)閉所有的門窗用微壓計(jì)測量各潔凈室之間、潔凈室與走廊之間、走廊與外界之間的壓差。記錄所有數(shù)據(jù)合格標(biāo)準(zhǔn)按照潔凈室的設(shè)計(jì)和工藝的要求決定維持被測潔凈室的正壓或負(fù)壓值。不同等級的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)（室）之間的靜壓差，應(yīng)不小于5Pa。潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應(yīng)不小于10Pa對于空氣潔凈度等級高于5級（100級）的單向流潔凈室在開門時，門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級別的含塵濃度極限值。若達(dá)不到上述要求，則需重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量，直至合格為止?jié)崈舳葴y定《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》（JGJ71-90）中規(guī)定如下：檢測規(guī)則測定潔凈度的最低限度采樣點(diǎn)睡按下表規(guī)定確定。每點(diǎn)采樣次數(shù)不低于3次，各點(diǎn)采樣次數(shù)可以不同最低限度采樣點(diǎn)數(shù)面積潔凈度100級及高于100級1000級10000級100000級＜102--322210432220862240161342100403210320080632064001601264013100040031610032200080063320063注：表中的面積含義是：對于單向流潔凈室，是指送風(fēng)面面積，對于亂流潔凈室，是指房間面積。最低限度采樣量（L）級別粒徑（μm）0.10.20.30.5111785198566102.838.519.856.61002.832.835.6610002.8385100002.838.51000002.838.5測定潔凈度的最小采樣量按下表規(guī)定確定對于單向流潔凈室，采樣口應(yīng)對著氣流方向；對于亂流潔凈室，采樣口宜向上。采樣速度均應(yīng)盡可能接近室內(nèi)氣流速度。也即參考“等速采樣”潔凈室測點(diǎn)的布置原則是：多于5點(diǎn)時可分層布置，但每層不少于5點(diǎn)；5點(diǎn)或5點(diǎn)以下時，可布置在離地面0.8m高平面的對角線上（如下圖），或該平面上的兩個過濾器之間的地點(diǎn)，也可以在人為需要布點(diǎn)的其他地方。五點(diǎn)測點(diǎn)布置圖數(shù)據(jù)整理室內(nèi)潔凈度按公式計(jì)算室平均含塵濃度N和各測點(diǎn)平均含塵濃度的標(biāo)準(zhǔn)誤差評定標(biāo)準(zhǔn)如測定的狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)）與事先約定的狀態(tài)相同，則以其級別上限作為評定標(biāo)準(zhǔn)。如測定時為空態(tài)或靜態(tài)，則動態(tài)時粒子數(shù)一定會高。所以，如用靜態(tài)檢測代替動態(tài)檢測則粒子數(shù)會偏小，有時可以用靜態(tài)粒子數(shù)的3-5倍來估計(jì)動態(tài)情況。當(dāng)然這也僅是經(jīng)驗(yàn)參考值注意事項(xiàng)測定時進(jìn)入潔凈室的人員要穿潔凈服（有風(fēng)淋室要經(jīng)過風(fēng)淋），在室內(nèi)盡量處于下風(fēng)處，最多進(jìn)入兩人。粒子計(jì)數(shù)器一般均有一個開機(jī)后預(yù)熱穩(wěn)定的過程（時間因機(jī)型而異）注意按儀表說明書操作。一般粒子計(jì)數(shù)器均有“粒子校準(zhǔn)”這一旋鈕，在使用前必須校準(zhǔn)，使用一段時間（例如連續(xù)使用0.5-1h）后均需進(jìn)行檢查。嚴(yán)禁故意將靈敏度調(diào)低的不正當(dāng)做法每個測點(diǎn)測完后需要移機(jī)（或移動采樣口）時，要有一個穩(wěn)定過程，一般為1-5分鐘，也可以將移機(jī)后前幾次打印結(jié)果棄去。有研究結(jié)果表明打印機(jī)本身的動作有一定的產(chǎn)塵量，故在測量高級別潔凈室時，要考慮到打印機(jī)紙張發(fā)塵的影響。建議選取可存儲數(shù)據(jù)的儀器，實(shí)驗(yàn)結(jié)束后再把結(jié)果打印出來；或?qū)⑦B線延長，將打印機(jī)置于被測潔凈室外。在粒子計(jì)數(shù)器中反應(yīng)得粒徑，知識“光散射等效粒徑”，因?yàn)橛?jì)數(shù)器時用潔凈大氣塵密度的聚苯乙烯小球（標(biāo)準(zhǔn)粒子）來標(biāo)定的。所以在實(shí)例中凡是與某種直徑標(biāo)準(zhǔn)粒子的光散射特性相同的灰塵就被記錄為該粒徑的粒數(shù)，而不能真正代表該灰塵的真實(shí)外形和理化性能，而這個方面，還得在采樣后靠顯微鏡（電子顯微鏡）和微量（痕量）理化分析來解決。目前的粒子計(jì)數(shù)器都存在一個“上限濃度”的問題，由于儀器本身構(gòu)造的原因，如抽氣流速過大，會有可能兩個或多個粒子同事進(jìn)入散射光區(qū)域，此時會合并基礎(chǔ)一個粒徑偏大的粒子，從而造成測量的重疊誤差。如實(shí)測環(huán)境含塵量超過上限濃度，則應(yīng)采用稀釋器稀釋后再測。微生物粒子檢測本實(shí)驗(yàn)室不涉及微生物粒子檢測，此處不做詳述安裝高效過濾器的檢漏高效過濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場前，生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定對其進(jìn)行性能試驗(yàn)（其檢測方法如DOP試驗(yàn)、NaCl試驗(yàn)、油霧試驗(yàn)等），并提供合格證（含性能檢測結(jié)果）。對于5級（100級）以上潔凈室用高效過濾器、超高效過濾器在現(xiàn)場應(yīng)再次進(jìn)行高效過濾器本體及其正確安裝狀態(tài)進(jìn)行泄露試驗(yàn)。對于6級及以下的生物潔凈室也用此方法啊檢漏。而在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的超凈技術(shù)中（0.1μm，1級），由于新風(fēng)量往往是循環(huán)風(fēng)量的百分之幾，經(jīng)過稀釋上風(fēng)側(cè)也變成6級（1000級）的程度，因此，在這種情況下，就必須重新考慮采用DOP檢漏試驗(yàn)。DOP檢漏儀級配套的DOP發(fā)生器如下圖DOP檢漏儀檢漏儀配套DOP發(fā)生器檢測要求一般采用離子計(jì)數(shù)器法進(jìn)行檢測，被檢高效過濾器必須已檢測過風(fēng)量，并在設(shè)計(jì)風(fēng)速的80%-120%之間運(yùn)行。實(shí)測時很多設(shè)計(jì)風(fēng)量不到過濾器額定風(fēng)量的80%，由于過濾器在低風(fēng)速下泄露比例會加大，數(shù)據(jù)偏安全，有時不必再加大風(fēng)量。對于被檢高效過濾器上風(fēng)側(cè)的微粒濃度符合如下要求。對于受控粒徑≥0.5μm的濃度，必須≥3.5x104pc/L;對受控粒徑≤0.5μm的濃度，必須≥3.5x106~107pc/L檢測方法采用掃描法對高效過濾器安裝接縫和主斷面進(jìn)行檢測，檢測點(diǎn)應(yīng)距離被測表面20~30mm，測頭以5~20mm/s的速度移動，對被測過濾器整個斷面、封膠頭和安裝框架處進(jìn)行掃描，如下圖。粒子計(jì)數(shù)器的最小采樣量大于1L/min。評定標(biāo)準(zhǔn)由受檢過濾器下風(fēng)側(cè)測得泄露的濃度換算成穿透率，高效過濾器不應(yīng)大于出廠合格穿透率的兩倍，對于D級超高效過濾器不應(yīng)大于出廠合格穿透率的3倍污染泄露測試此項(xiàng)測試時為考慮與軌跡接軌而規(guī)定的。它要求，有空洞想通不同潔凈度等級的相鄰潔凈室，其洞口處應(yīng)有合理的流向，且其風(fēng)速應(yīng)該大于0.2m/s。氣流流行試驗(yàn)測點(diǎn)位置對于單向流潔凈室，在每個所測截面上測點(diǎn)間距為0.2~1m，垂直單向流要取四個截面：潔凈室縱剖面，橫剖面及距地0.8m、1.5m兩個水平面。水平單向流要求5個截面：潔凈室縱剖面、工作區(qū)水平面、房間中心線距離送、回風(fēng)墻0.5m的3個橫剖面。對非單向流需要取三個測點(diǎn)截面：具有代表性的送、回風(fēng)口中心的縱、橫剖面和工作區(qū)高度的水平面測定方法用發(fā)煙器或懸掛細(xì)絲線的方法逐點(diǎn)觀察和記錄氣流流向；用量角器測定氣流流向的偏離角度。在每個截面的測點(diǎn)布置圖上標(biāo)出氣流流向。判定標(biāo)準(zhǔn)工作區(qū)氣流流向偏離規(guī)定方向的角度最好不大于14度，應(yīng)給出氣流流型圖，并給出分析結(jié)果自凈時間的測定以大氣塵為基礎(chǔ)測量時，潔凈室必須停止運(yùn)行一段時間（條件允許可開門開窗）。待空氣中含塵濃度與大氣接近時，然后開機(jī)，定時讀數(shù)。直到濃度達(dá)到最低穩(wěn)定值為止，這一段時間即為自凈時間。以人工塵（例如芭蘭香和香煙）為基準(zhǔn)則在潔凈室中央1.8m以上的高度發(fā)煙1~2分鐘即停止，再穩(wěn)定一分鐘，然后開機(jī)重復(fù)上條方法檢測。合格標(biāo)準(zhǔn)實(shí)測自凈時間如不大于由初始濃度、穩(wěn)定下限濃度、實(shí)際換氣次數(shù)、計(jì)算得出的理論計(jì)算濃度的1.2倍即為合格。溫度及相對濕度檢測檢測要求測定前，凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)連續(xù)運(yùn)行24h以上。根據(jù)溫度和相對濕度的波動范圍要求，應(yīng)選擇足夠精度的測試儀表，并經(jīng)過校驗(yàn)標(biāo)定合格檢測方法測點(diǎn)距地面0.8m，距外墻應(yīng)大于0.5m，也可以根據(jù)恒溫區(qū)的大小，分別布置在離地面不同高度的幾個平面上根據(jù)溫濕度波動范圍要求，檢測應(yīng)連續(xù)進(jìn)行8~48h，每次讀數(shù)間隔不大于30分鐘對于沒有恒溫要求的房間，溫度僅測房間中心一個點(diǎn)即可。對有濕度波動要求的區(qū)域，測點(diǎn)應(yīng)放在送、回風(fēng)口處或有代表性的地點(diǎn)。其測點(diǎn)數(shù)按下表確定:波動范圍測定儀器測點(diǎn)位置溫度△t＜±0.5℃用小量程溫度自動記錄儀或0.01℃刻度的水銀溫度計(jì)測點(diǎn)間距為0.5~2m，每個房間測點(diǎn)不應(yīng)少于20個，測點(diǎn)的距離大于0.5mm，單向流潔凈室大于0.2m相對濕度（△RH）＜±5%用氯化鋰溫濕度計(jì)△t=±0.5℃~≤±2℃用0.1℃厚刻度的水銀溫度計(jì)面積≤50m3時，測一點(diǎn)；大于50m3時，每增加20m3~50m3，增加啊3~5個點(diǎn)?！鱎H=±0.5%~≤±10%用0.2℃的通風(fēng)干濕球溫度計(jì)△t＞2℃用0.2℃的水銀溫度計(jì)潔凈室面積小于50m3時，測一點(diǎn)：當(dāng)大于50m3，沒增加20m3至50m3，立方米，增加1個測點(diǎn)△RH＞10%用通風(fēng)干濕度溫度計(jì)合格標(biāo)準(zhǔn)室溫波動范圍按各測點(diǎn)的各次溫度中，偏差控制溫度的最大值整理成累計(jì)統(tǒng)計(jì)曲線，若90%以上測點(diǎn)偏差值在室溫控制范圍內(nèi)，為符合設(shè)計(jì)要求，反之為不合格。相對濕度波動可按溫度波動范圍的規(guī)定進(jìn)行。照度檢測檢測要求室內(nèi)照度測定必須在室溫已趨穩(wěn)定，光源輸出趨于穩(wěn)定后進(jìn)行（對熒光燈必須有100h）。檢測方法測點(diǎn)平面離地面0.85m，按間距1~2m布點(diǎn)，測點(diǎn)距墻面1m。其要求基本與潔凈度的測定位置要求相同記錄，在簡圖上設(shè)測量位置，記錄實(shí)測照度值并計(jì)算總的平均照度。照度測定一般僅測定除局部照明之外的一般照明檢測儀器：便攜式照度計(jì)合格標(biāo)準(zhǔn)符合設(shè)計(jì)要求或符合GB50073-2001《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》中對潔凈室的照度值的明確規(guī)定（該規(guī)范中的表9.2.3）。潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7.十一、噪聲檢測噪聲儀器為帶倍頻程分析儀的聲級計(jì)，一般情況下值檢測A聲級的數(shù)據(jù)，必要時測倍頻程聲壓級。檢測方法檢測點(diǎn)布置，當(dāng)面積≤50m2時，只測房間中心一個點(diǎn)；當(dāng)房間面積較大時，每增加50m2增測一個點(diǎn)，測點(diǎn)距離地面1.1m有條件時，宜測量潔凈室靜態(tài)工況的噪聲和潔凈室的本底噪聲。合格標(biāo)準(zhǔn)符合設(shè)計(jì)要求或按《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001中的規(guī)定，在空態(tài)情況下