《微機電系統(tǒng)半導體氣體傳感器性能檢測方法（報批稿）》編制說明

1《微機電系統(tǒng)半導體氣體傳感器性能檢測方法》編制說明江蘇省是全國MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)基地之一，聚集了大量MEMS23限公司、翼捷安全設備（昆山）有限公司等7位專家參加了審查，專家聽為規(guī)范微機電系統(tǒng)半導體氣體傳感器性能檢測方法，提升產(chǎn)品質(zhì)量，本標準主要包括微機電系統(tǒng)半導體氣體傳感器性能檢測條件和檢測方法，2．第二章列出了規(guī)范引用文件。主要包括GB/T34004-2017《家用和4箱內(nèi)利用靜態(tài)配氣原理充滿試驗氣體，以檢測傳感器在試驗氣體中的信號輸出。因靜態(tài)配氣能更好的模擬傳感器的實際使用環(huán)境，且傳感器體積非常小，易受氣流沖擊影響，利用動態(tài)配氣原理配制的試驗氣體氣流較大，才能測試，且不同的傳感器預熱時間不同，因此明確了待試驗的樣品應在規(guī)定的環(huán)境條件下通電預熱后方可進行檢測，預熱時間以產(chǎn)品使用說明書為準；又因傳感器需要配套的檢測裝置才能正常工作以及讀取輸出信號，因此傳感器送檢同時提供檢測裝置，在測試傳感器信號輸出時把傳感器安MEMS半導體氣體傳感器的優(yōu)點有功耗低、檢出限低、靈敏度高等。針對以上特點，標準中設置了功率、最低檢測濃度、靈敏度參數(shù)，以體現(xiàn)在功率的檢測方法中，因傳感器體積非常小，不便于接入功率計進行傳感器最低檢測濃度主要針對傳感器標識的最低檢測濃度進行驗證，s-V0s-V0s-5r靈敏度采用了氣體傳感器靈敏度通用檢測方法，主要參照JB/T此3項參數(shù)為氣體傳感器的常規(guī)檢測參數(shù)，反映的是氣體傳感器的基本性能。因標準中測試時讀取的是傳感器的原始輸出信號值（電壓、電阻等），因此示值誤差計算時需要借助傳感器響應曲線（制造商提供），將輸出信號值轉化為濃度值，才能計算示值誤差。響應時間與恢復時間采用MEMS半導體氣體傳感器的缺點主要有選擇性差，易中毒等。標準中通過將傳感器暴露在已知或使用方要求的干擾氣體中計算干擾影響因子，暴檢驗傳感器的抗干擾氣體性能、抗中毒性能，對制造商在傳感器的性能改善方面具有重要的指導意義。檢測方法主要參考GB/T34004-2017和GB4）耐溫濕度性能、耐振動、跌落性能、長除了常規(guī)條件下的性能檢測，標準還參考了GB/T34004-2017、JB/T了耐溫濕度性能、耐振動、跌落性能、長期穩(wěn)定性試驗等，用以模擬實際7．附錄部分主要給出了測試箱示意圖及測試箱內(nèi)氣體濃度的計算方目前國內(nèi)外針對微機電系統(tǒng)半導體氣體傳感器的檢測沒有相關的標準，文件編制格式嚴格遵循GB/T1.1—2020的要求，主要參考了GB/T6氣體傳感器》、GB12358-2006《作業(yè)場所環(huán)境氣體檢測報警儀通用技術型可燃氣體探測器》等標準，結合本團隊試驗結果，針對性的編制了微機本標準編制過程中無重大分歧意見。標準編制組與行業(yè)專家經(jīng)過多次全防護的各類氣體傳感器、室內(nèi)外環(huán)境監(jiān)測用低濃度氣體傳感器、氫燃料電池汽車用氫氣傳感器、電子潔凈廠房內(nèi)痕量氣體傳感器等。前期選擇省本標準承擔單位為蘇州市計量測試院，參與單位為蘇州慧聞納米科技史蘇娟蘇州市計量測試院研究員級高級工程師標準起草負責人，組織標準起草工作，總體負責標準審定撰寫，組織標準審查、報批等工作方丹蘇州市計量測試院高級工程師組織推進標準制定程序和進度，負責協(xié)調(diào)標準定制過程中所需資源，協(xié)助標準審查、報批等工作耿彥紅蘇州市計量測試院高級工程師組織討論標準編寫思路，確定標準制定框架，開展標準的實驗驗證王瑞蘇州市計量測試院工程師協(xié)助討論標準編寫思路，協(xié)助開展標準的實驗驗證董亮華蘇州市計量測試院工程師參與標準制定相關文獻調(diào)研，協(xié)助整理標準相關技術文檔。7徐春蘇州市計量測試院工程師參與標準制定相關文獻調(diào)研，協(xié)助