JJF(浙) 1194-2022 閃影像測量儀校準(zhǔn)規(guī)范

2022-11-14發(fā)布2023-02-14實(shí)施浙江省市場監(jiān)督管理局發(fā)布JJF（浙）1194-2022閃測影像測量儀校準(zhǔn)規(guī)范閃測影像測量儀校準(zhǔn)規(guī)范JJF（浙）1194-2022I 2 2 2 2 2 4 6 11JJF（浙）1194-2022JJF1094-2002《測量儀器特性評定求和試驗(yàn)方法。JJF(浙)1194-20221本規(guī)范適用于閃測影像測量儀的校準(zhǔn)。本規(guī)范引用下列文件：JJF1071-2010國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本規(guī)范。二維探測誤差2Dprobingerror用閃測影像測量儀測定平面圓形實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的半徑變化范圍。4概述閃測影像測量儀又稱一鍵式影像測量儀，簡稱閃測儀，是由上下光源、高像素CCD/CMOS相機(jī)、大視角大景深遠(yuǎn)心鏡頭、不可移動(dòng)工作臺或可移動(dòng)工作臺組成，包括廣JJF（浙）1194-20222），表1計(jì)量特性序號計(jì)量特性測量設(shè)備1二維探測誤差（PM，PS）圓形靶標(biāo)2尺寸測量誤差（EXY）線紋尺，一維點(diǎn)陣掩膜版，二維點(diǎn)陣掩膜版3測量重復(fù)性注：以上測量設(shè)備可在滿足閃測影像測量儀校準(zhǔn)要求的前提下選擇使用。6.1.3儀器測量室內(nèi)應(yīng)無影響測量的灰塵、噪音、振動(dòng)表2測量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備序號設(shè)備名稱技術(shù)要求1圓形靶標(biāo)圓度不超過1/4MPEPS2線紋尺不確定度不大于1/4MPEEXY3一維點(diǎn)陣掩膜版不確定度不大于1/4MPEEXY4二維點(diǎn)陣掩膜版不確定度不大于1/4MPEEXYJJF(浙)1194-202237.1二維探測誤差測量示例見圖2。用所有25個(gè)測量點(diǎn)的數(shù)據(jù)擬合最小二乘圓，得到圓心，25個(gè)測量點(diǎn)到圓心的距離即為半徑R,Rm-R.即7.1.2二維探測誤差Ps選擇適當(dāng)尺寸的圓形靶標(biāo)(標(biāo)靶影像直徑約為視場范圍的10%~30%),將圓形靶標(biāo)水平不同點(diǎn)對圓形靶標(biāo)的圓周進(jìn)行測量，測量示例見圖3。A圓靶標(biāo)AJJF(浙)1194-20224當(dāng)使用線紋尺作為測量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，在工作臺面上應(yīng)選擇4個(gè)位置進(jìn)行測量。其中兩個(gè)位置應(yīng)是沿測量范圍內(nèi)兩條對角線X+Y與X-Y方向，另兩個(gè)位置應(yīng)是平行于X軸和Y軸方向，測量示例見圖4。YYX每個(gè)位置測量不少于3個(gè)間隔，最小測量間隔不大于該測量位置測量行程的10%,X軸與Y軸方向最大測量間隔不小于該測量位置測量行程的90%,對角線X+Y與X-Y方向當(dāng)使用線紋尺做測量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，按7.2.1的要求選擇測量位置。在各測量位置上依次對規(guī)定的線紋間隔進(jìn)行測量。三次測得值的平均值與標(biāo)準(zhǔn)器實(shí)際值的差值為尺寸測量誤差。當(dāng)使用二維掩膜板做測量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，將二維掩膜板放置在工作臺面上，依次按規(guī)定的間隔對二維圖形標(biāo)記的坐標(biāo)進(jìn)行測量，得到各標(biāo)記點(diǎn)的二維坐標(biāo)。三次測得值的平均值與標(biāo)準(zhǔn)器上對應(yīng)點(diǎn)實(shí)際值的差值為尺寸測量誤差。JJF（浙）1194-202251如閃測影像測量儀具有廣視野與高精度兩種測量模式，則需校準(zhǔn)兩種測量模式的尺寸測量誤差。2當(dāng)閃測影像測量儀工作臺可移動(dòng)時(shí)，按7.2.3的方法測量拼接模式下尺寸測量誤差。 s=s——重復(fù)性,mm；Li——第i次的讀數(shù)值，mm； n——測量次數(shù)，n=10。1如閃測影像測量儀具有廣視野與高精度兩種測量模式，則需校準(zhǔn)兩種測量模式的測量重復(fù)性。2當(dāng)閃測影像測量儀工作臺可移動(dòng)時(shí)，按7.3的方法測量拼接模式下測量重復(fù)性。準(zhǔn)證書至少應(yīng)包括JJF1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》5.12條款中的信息。校準(zhǔn)JJF（浙）1194-2022A.1二維探測誤差RRmin（mm）1PM2PSA.2測量平面內(nèi)的尺寸測量誤差A(yù).2.1廣視野模式：EXY測量值（mm）測量值平均值標(biāo)稱值示值誤差123XYX+YX-YA.2.2廣視野模式拼接：EXY測量值（mm）測量值平均值標(biāo)稱值示值誤差123X7YX+YX-YA.2.3高精度模式：EXY測量值（mm）測量值平均值標(biāo)稱值示值誤差123XYX+YX-YA.2.4高精度模式拼接：EXY測量值（mm）測量值平均值標(biāo)稱值示值誤差123XYX+YX-YA.3測量重復(fù)性A.3.1廣視野模式：序號12345測量值（mm）序號6789測量值（mm）A.3.2廣視野模式拼接：序號12345測量值（mm）序號6789測量值（mm）9A.3.3高精度模式：序號12345測量值（mm）序號6789測量值（mm）A.3.4高精度模式拼接：序號12345測量值（mm）序號6789測量值（mm）JJF1194-2022B.1二維探測誤差1PM2PSB.2尺寸測量誤差EXY廣視野模式廣視野模式拼接高精度模式高精度模式拼接測量值平均值示值誤差測量值平均值示值誤差測量值平均值示值誤差測量值平均值示值誤差XYX+YX-YB.3測量重復(fù)性測量重復(fù)性（mm）1廣視野模式2廣視野模式拼接3高精度模式4高精度模式拼接式中：--------閃測影像測量儀測量平面內(nèi)的尺寸示值誤差；u()c(L)u2(L)c(l)u2(l)（C.2）(l)1a)測量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u1；b)閃測影像測量儀分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u2；c)標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u3；d)閃測影像測量儀光柵尺與標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺線膨脹系數(shù)差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u4；JJF1194-2022 (xix)2實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差s0.33μm依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺的證書，其測量不確定度為U=(0.20+1.5L)μm，(L-m)k=3，取JJF1194-2022表C.1標(biāo)準(zhǔn)不確定度一覽表輸入標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u(xi)不確定度分量來源不確定度分量值ciu(xi)(μm）u(