中建四局高潔凈芯片廠房項(xiàng)目技術(shù)要點(diǎn)交流匯報(bào)2023年

中建四局深圳總承包公司高潔凈芯片廠房項(xiàng)目技術(shù)要點(diǎn)交流匯報(bào)匯報(bào)人：肖詩凱日期：2023.12.27目錄高潔凈芯片廠房整體特點(diǎn)1項(xiàng)目技術(shù)策劃要點(diǎn)3項(xiàng)目概況2高潔凈廠房關(guān)鍵施工技術(shù)要點(diǎn)4技術(shù)總結(jié)和反思501

PART ONE高潔凈芯片廠房整體特點(diǎn)行業(yè)背景設(shè)計(jì)特點(diǎn)不同芯片尺寸要求對比施工重點(diǎn)1.1行業(yè)背景2021年中國芯片進(jìn)口金額為4397億美元，2022年為4156億美元，同比出現(xiàn)-5.48%的下滑，是至2017年以來增長率下降最明顯的。中國芯片進(jìn)口額大幅度下滑，一方面是由于芯片受制于人的影響，另一方面說明了芯片正逐步進(jìn)行國產(chǎn)替代。國家在

2020

年《國務(wù)院關(guān)于印發(fā)新時(shí)期促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展若干政策的通知》中明確了要聚焦高端芯片、集成電路裝備的關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)，到2025年實(shí)現(xiàn)70%國產(chǎn)芯片自給率。因此，越來越多的國產(chǎn)芯片巨頭站出來，生產(chǎn)芯片的電子潔凈廠房也將如雨后春筍般快速、大量拔地而起。1.2設(shè)計(jì)特點(diǎn)?

潔凈芯片廠房的設(shè)計(jì)特點(diǎn)由于芯片產(chǎn)品功能化、微型化、集成化和精密化的要求，制造生產(chǎn)的潔凈芯片廠房與一般廠房的設(shè)計(jì)需求存在明顯差別。潔凈要求：芯片生產(chǎn)環(huán)境對空氣顆粒物數(shù)量有較高的控制要求氣密要求：減少構(gòu)造縫隙、加強(qiáng)縫隙構(gòu)造的氣密性，把空氣泄漏或污染的影響降至最低限度防微振要求：芯片加工精度要求高，需要減少振動(dòng)對設(shè)備的影響廠務(wù)系統(tǒng)要求：特殊動(dòng)力及機(jī)電系統(tǒng)滿足工藝機(jī)臺(tái)的需求，如特氣、化學(xué)品、純廢水等專業(yè)空間要求：廠房平面形狀簡潔，功能分區(qū)明確，管線隱蔽、空間分布合理，具有生產(chǎn)工藝和設(shè)備更新時(shí)的靈活性1.3不同尺寸芯片要求對比序號芯片廠做法傳統(tǒng)芯片廠當(dāng)前12″芯片廠今后趨勢1品圓尺寸6″，8″12″12″，18″2線寬要求0.5~1.0um28~90mm，14nm＜7nm，新工藝、新材料3產(chǎn)能常見40~60K/FAB例如中芯國際、積塔、華虹Logic：常見30~40K/FAB，例如：中芯國際、華力、臺(tái)積電Dram/Nand：50~70K/FAB，例如：三星、長鑫、長江取決于時(shí)長需求，配套技術(shù)和新材料，目前時(shí)長多為Pilot。R&D或小型產(chǎn)量工藝及產(chǎn)能決定機(jī)臺(tái)布置(Dense

pack)/工藝動(dòng)線生產(chǎn)環(huán)境滿足潔凈室及顆粒控制要求后勤及運(yùn)輸能力決定倉儲(chǔ)設(shè)計(jì)4微振要求局部VC-C，BallRoomVC-A局部VC-D，BallRoomVC-B局部VC-D或E，BallRoomVC-B5結(jié)構(gòu)體系混凝土框架+（華夫板）+鋼桁架混凝土框架+剪力墻+華夫板+大跨度柱網(wǎng)+鋼桁架6潔凈室空調(diào)系統(tǒng)潔凈等級ISO

6~4（1000~10）潔凈新風(fēng)+風(fēng)機(jī)過濾+干冷盤管（MAU+FFU+DCC）潔凈等級ISO6~3（1000~1）潔凈新風(fēng)+風(fēng)機(jī)過濾+干冷盤管（MAU+FFU+DCC）大體量新風(fēng)系統(tǒng)+水洗/濕膜/填料CFD氣流組織模擬7潔凈室做法單向氣流（可選）可采用Bay&Chase方式（無動(dòng)力下夾層）非關(guān)鍵區(qū)域可省略高架地板可為非靜壓箱形式僅光刻區(qū)域采用獨(dú)立隔間單向氣流全區(qū)域采用高架地板（高度600mm~1200mm）需要?jiǎng)恿ο聤A層（潔凈與非潔凈）靜壓箱形式需考慮AMC控制關(guān)鍵分區(qū)為獨(dú)立隔間單向氣流（層流）全區(qū)域采用高架地板（高度600mm~1200mm）僅單層潔凈動(dòng)力下夾層（Hookup距離）靜壓箱形式需考慮AMC控制關(guān)鍵分區(qū)為獨(dú)立隔間關(guān)鍵區(qū)域需考慮AMC與EMI控制8倉儲(chǔ)中間倉庫；原料/成品庫（可選）；化學(xué)品（可選）原材料庫；成品庫；化學(xué)品及危廢庫機(jī)臺(tái)動(dòng)力需求表(Utility

Matrix)

決定機(jī)電配要求機(jī)臺(tái)布置

(Tool

Layout

&Utility

Mapping)定輸送管線布局9氣體化學(xué)品系統(tǒng)種類相對較少，純廢要求略低所需高純特種氣體50種以上，化學(xué)品30種以上對儲(chǔ)存、站房規(guī)劃、供應(yīng)管路提出較高要求芯片尺寸的增大，對材料消耗、儲(chǔ)存和供應(yīng)提出更高要求，工程的法規(guī)體系和造價(jià)，將會(huì)成為來為高端芯片工廠建廠時(shí)的重要挑戰(zhàn)10純廢水系統(tǒng)超純水電阻率等基本指標(biāo)與12寸廠接近，但對于特殊元素的要求低于12寸對金屬離子、硅、硼等含量的要求苛刻；耗水量大；節(jié)能減排，廢水回用和制程廢液的回收利用；廢水處理考慮金屬工藝影響需要更先進(jìn)的膜材料、樹脂以及高純高潔凈管理等材料應(yīng)對未來高端芯片工廠的苛刻挑戰(zhàn)11動(dòng)力系統(tǒng)冷熱水，CDA，工藝/清掃真空，工藝排風(fēng)（酸、堿有機(jī)排），柴油，天然氣，鍋爐/蒸汽12電力系統(tǒng)供配電、照明、防雷接地（特殊區(qū)域考慮防靜電接地），E-電和U-電，生命安全系統(tǒng)（門禁、廣播、火宅報(bào)警），IT，有毒有害氣體和化學(xué)品偵測系統(tǒng)（GMS），全廠控制系統(tǒng)FMCS13消防系統(tǒng)噴淋+消防栓+CO2滅火器，潔凈室Vesda系統(tǒng)，消防排煙、補(bǔ)風(fēng)、正壓送風(fēng)工藝輸入及生產(chǎn)計(jì)劃芯片廠形式動(dòng)力及機(jī)電配套學(xué)握工藝需求市場信息新技術(shù)新趨勢合理的廠房及機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)，滿足工藝需求設(shè)計(jì)優(yōu)化（造價(jià)/進(jìn)度/質(zhì)量）:優(yōu)化結(jié)構(gòu)體系優(yōu)化潔凈室理念優(yōu)化機(jī)電系統(tǒng)及輸送管道布局能回收再利用1.4施工重點(diǎn)工期更緊根據(jù)摩爾定律，平均每18~24個(gè)月芯片集成密度會(huì)增加一倍，隨電子產(chǎn)品的更新迭代，對生產(chǎn)廠房的需求隨之更新；由于電子產(chǎn)品的快速更新，使得電子潔凈廠房的實(shí)際使用壽命只有10~15年。資源組織要求更高電子潔凈廠房一般建設(shè)體量大、工期緊、工序穿插緊密、資源周轉(zhuǎn)難度大、主材消耗更集中，如此緊密的資源組織造成總平面管理壓力大、資源組織要求高。在基礎(chǔ)及主體階段主要體現(xiàn)在勞動(dòng)力、鋼筋、混凝土、架體材料、起重機(jī)械等；在機(jī)電、裝飾及設(shè)備安裝階段主要體現(xiàn)在場地需求、施工機(jī)械各類管材輔材、特殊設(shè)備等。施工品質(zhì)要求高主要體現(xiàn)在平整度、氣密性和低塵施工三個(gè)方面。精密設(shè)備除防環(huán)境、外界振動(dòng)和環(huán)境共振外，設(shè)備自身的平穩(wěn)性同樣重要，因此地面的平整度要求達(dá)2mm/2m；氣密性的保證對不同潔凈區(qū)保持壓差繼而控制污染源的作用巨大；嚴(yán)格控制空氣過濾和調(diào)節(jié)設(shè)備安裝前對潔凈室的清潔以及安裝后對施工準(zhǔn)備和施工過程中易產(chǎn)生灰塵的環(huán)節(jié)進(jìn)行控制分包管理協(xié)調(diào)要求高電子潔凈廠房施工工序復(fù)雜、專業(yè)化程度高、涉及特殊分包商多，各專業(yè)交叉作業(yè)面廣，因此需要協(xié)調(diào)好各專業(yè)的工序與工作面、減少交叉，掌握各專業(yè)間界面移交的切實(shí)需求，做好總包的協(xié)調(diào)管理工作。0102030402

PART TWO

項(xiàng)目概況

項(xiàng)目概況項(xiàng)目設(shè)計(jì)特點(diǎn)項(xiàng)目重難點(diǎn)2.1

PY科技園項(xiàng)目概況開工時(shí)間2023/4/25計(jì)劃竣工時(shí)間2025/6/30工期目標(biāo)總工期792天用地面積建筑面積50.02萬㎡約81萬㎡地下：約60萬㎡地上：約21萬㎡工程規(guī)模建筑概況廠區(qū)由3棟FAB廠房、3棟測試樓、1棟動(dòng)力廠房、1棟食堂及原材料庫、大宗氣站等輔助用房組成人才公寓由9棟19層人才房住宅、2棟商業(yè)配套、1層地下室、1棟垃圾收集站、1棟冷卻塔（含地下室）組成。開工時(shí)間2023/9/15計(jì)劃竣工時(shí)間工期目標(biāo)63.66萬㎡建筑面積約120.7萬㎡地下：約33.2萬㎡地上：約87.5萬㎡建筑概況配置2棟生產(chǎn)廠房（單棟總建筑面積約21.4萬㎡

）2棟封測廠房（F3總建筑面積約7.3萬㎡，F(xiàn)4總建筑面積6.9萬㎡）1棟動(dòng)力中心（總建筑面積約22.4萬㎡）并配套大宗氣體供應(yīng)及輔助用房工程規(guī)模用地面積總工期623天2025/5/302.1DH科技園項(xiàng)目概況華夫板華夫板204m大跨度鋼桁架屋面3m高低跨回風(fēng)夾道水池和泵房，部分水池為6面雙層板結(jié)構(gòu)2.2項(xiàng)目設(shè)計(jì)特點(diǎn)設(shè)計(jì)特點(diǎn)-結(jié)構(gòu)特點(diǎn)鋼桁架屋蓋具有較大高度和跨度，DH項(xiàng)目鋼桁架最大高度為9.02m，跨長可達(dá)204m。鋼桁架結(jié)構(gòu)重量巨大，PY項(xiàng)目屋蓋總重量約1.4萬噸，DH項(xiàng)目屋蓋總重量估計(jì)約2萬噸。華夫板樓層有均勻的預(yù)留大量孔洞，使上下樓層形成回風(fēng)通道，以達(dá)到車間所需潔凈度要求。華夫樓板地坪控制精度要求平整度2m范圍內(nèi)靠尺檢測誤差不大于3mm。高潔凈廠房有部分地下室（1層或2層），且含有3m高低跨結(jié)構(gòu)。CUB動(dòng)力廠房地下室有大量水池和水泵房，且部分水池為6面雙層板結(jié)構(gòu)。?

設(shè)計(jì)特點(diǎn)-PY項(xiàng)目主要產(chǎn)品工藝內(nèi)容單位FAB1FAB2FAB3（預(yù)留）光纖廠房產(chǎn)品方案晶圓直徑mm150/200150/200待定特種光纖工藝節(jié)點(diǎn)um10.25待定產(chǎn)品類型/3F：M量產(chǎn)業(yè)務(wù)及中試線業(yè)務(wù)FSAW聲表面濾波器

1F：先進(jìn)封測和晶圓后加工3F：H/Y/G業(yè)務(wù)Si-on-GaN（射頻器件）藍(lán)寶石（Al2O3）-on-GaN（LED）1F：LAB和預(yù)留SiC（按照12寸CMOS預(yù)留）特種光纖稀土摻雜光纖和空芯光纖滿產(chǎn)產(chǎn)能規(guī)劃k片/月20060（Y

30）待定9萬公里/年潔凈室面積m22751427514275141500注：? 1#廠房布局M量產(chǎn)業(yè)務(wù)及中試線業(yè)務(wù)，考慮綜合成本，無塵室一次建成，潔凈室局部開放；暫不考慮AMHS，預(yù)留后期改造的土建可行性；? 2#廠房整體布局第三代化合物半導(dǎo)體量產(chǎn)業(yè)務(wù)，考慮未來業(yè)務(wù)增長，無塵室一次建成，潔凈室全開，工藝設(shè)備分階段搬入；考慮AMHS；? 3#廠房完成土建毛坯，按12寸CMOS工廠進(jìn)行動(dòng)力預(yù)留，兼容非硅基；考慮AMHS；2.2項(xiàng)目設(shè)計(jì)特點(diǎn)2.2項(xiàng)目設(shè)計(jì)特點(diǎn)?

設(shè)計(jì)特點(diǎn)-專業(yè)包特點(diǎn)潔凈區(qū)的潔凈度要求高，業(yè)主要求建設(shè)潔凈度為千級（局部要求為百級）的潔凈工作車間。純/廢水系統(tǒng)對管道系統(tǒng)的密閉性有更高的要求，從而確保水源不污染、廢水不泄漏，達(dá)到使用要求。危化品、特殊氣體等專業(yè)包處理工藝多，且存在較多的有毒有害物質(zhì)，施工需要進(jìn)行安全設(shè)計(jì)。地下室、屋面等機(jī)械設(shè)備多，管線空間管理復(fù)雜。03

PART THREE

項(xiàng)目技術(shù)策劃要點(diǎn)

項(xiàng)目組織架構(gòu)及管理思路施工組織安排3.1項(xiàng)目組織架構(gòu)及管理思路? 組織架構(gòu)以PY科技園項(xiàng)目為例，項(xiàng)目采用部門與組團(tuán)形成矩陣式的管理框架，組團(tuán)管理相對獨(dú)立，又與部門業(yè)務(wù)交叉，既發(fā)揮了組團(tuán)管理小兵團(tuán)作戰(zhàn)的靈活性，又體現(xiàn)了業(yè)務(wù)部門相互協(xié)作的整體性。以技術(shù)管理為例，組團(tuán)專人負(fù)責(zé)跟蹤，及時(shí)、快速對接和解決現(xiàn)場問題，同時(shí)組團(tuán)人員兼顧業(yè)務(wù)線條，形成業(yè)務(wù)小組拉通管理，避免工作的重復(fù)性。3.1項(xiàng)目組織架構(gòu)及管理思路? 組團(tuán)及勞務(wù)劃分思路組團(tuán)劃分思路：u 交通運(yùn)輸相對獨(dú)立u 施工作業(yè)互不交叉u 材料堆場均衡合理勞務(wù)劃分思路：u 施工面積相對合理、區(qū)域相對集中u 首開重點(diǎn)區(qū)重點(diǎn)投入u 全周期資源投入均衡合理u 關(guān)聯(lián)區(qū)域統(tǒng)籌施工廠房分段思路：u 每小段按1000~1500㎡劃分u 按塔樓、地下室等功能分段u 施工關(guān)聯(lián)板塊獨(dú)立成段墊層開挖階段首層施工階段3.1項(xiàng)目組織架構(gòu)及管理思路資源投入結(jié)合業(yè)態(tài)和交付時(shí)間，室外獨(dú)立成團(tuán)，單獨(dú)攻堅(jiān)，主體結(jié)構(gòu)移交區(qū)域同步進(jìn)行，實(shí)現(xiàn)：主體階段：資源、勞動(dòng)力按照項(xiàng)目部劃分單獨(dú)配置，做到“質(zhì)量與安全并進(jìn)，效率與速度同行”裝修階段：合理穿插施工，重點(diǎn)部位優(yōu)先移交2.2項(xiàng)目組織架構(gòu)及管理思路? 平面交通組織管理逆向思維，管網(wǎng)先行，構(gòu)筑物先行，提前穿插室外管線預(yù)埋，施工道路以永臨結(jié)合為主、臨時(shí)道路為輔的思路進(jìn)行修筑。開工后快速形成整體大環(huán)路+小組團(tuán)小環(huán)路，保證各施工區(qū)域間交通順暢且相對獨(dú)立。同時(shí)設(shè)置交通管理小組，在交通易堵期及關(guān)鍵路口設(shè)置專員，疏導(dǎo)交通壓力；設(shè)置人車分流、減速帶、限速提示牌等措施，保障現(xiàn)場交通安全。人車分流及限速提示牌減速帶施工進(jìn)展完成情況一覽圖板塊施工作戰(zhàn)圖每周澆筑板塊（計(jì)劃/實(shí)際）偏差折線圖3.2施工組織安排? 高潔凈工業(yè)廠房精細(xì)化計(jì)劃管理模式“關(guān)鍵路徑的工作搶著干，非關(guān)鍵路徑的工作提前干”樓層進(jìn)度作戰(zhàn)地圖ALC施工作戰(zhàn)地圖肥槽回填作戰(zhàn)地圖鋼構(gòu)施工作戰(zhàn)地圖機(jī)電工作面移交作戰(zhàn)地圖幕墻工作面移交作戰(zhàn)地圖3.2施工組織安排? 高潔凈工業(yè)廠房施工作戰(zhàn)方法根據(jù)各個(gè)分部分項(xiàng)工程，形成作戰(zhàn)地圖，嚴(yán)格按照策劃的順序、時(shí)間移交工作面；同時(shí)應(yīng)弱化結(jié)構(gòu)正負(fù)零、封頂?shù)墓?jié)點(diǎn)，強(qiáng)化工作面高質(zhì)量移交節(jié)點(diǎn)，“關(guān)注面子更要里子”，實(shí)現(xiàn)后續(xù)專業(yè)快速穿插，一個(gè)專業(yè)快不叫快，項(xiàng)目交付快才叫快。04

PART FOUR

高潔凈廠房關(guān)鍵施工技術(shù)要點(diǎn)大型潔凈車間樓地面成型關(guān)鍵施工技術(shù)墻板施工關(guān)鍵施工技術(shù)大跨度鋼桁架屋蓋關(guān)鍵施工技術(shù)潔凈車間施工及設(shè)備安裝技術(shù)純/廢水系統(tǒng)施工和設(shè)備安裝技術(shù)CDS化學(xué)品(中央供酸)系統(tǒng)關(guān)鍵施工技術(shù)特殊氣體關(guān)鍵施工技術(shù)4.1大型潔凈車間樓面成型關(guān)鍵施工技術(shù)?

華夫筒和chess筒概況華夫筒簡介：PY和DH項(xiàng)目FAB主廠房三層和局部一層樓層采用華夫板模板結(jié)構(gòu)，梁板為1150mm厚,通風(fēng)孔直徑350mm。華夫板作為高潔凈度要求無塵車間的通風(fēng)通道和表面材料，預(yù)留大量孔洞形成回風(fēng)通道，利用氣壓排出懸浮顆粒，滿足潔凈度要求。chess筒簡介：DH項(xiàng)目的F3、F4兩棟封測廠房二層采用chess筒模板結(jié)構(gòu)，chess筒通風(fēng)孔直徑350mm,800mm高。封測廠核心生產(chǎn)區(qū)結(jié)構(gòu)對防微震要求高，通常采用剛度大的密肋交叉梁及鋼筋混凝土墻組成的樓層結(jié)構(gòu)防微震體系，以減弱微振影響，采用chess筒用來減輕結(jié)構(gòu)重量。chess筒為四個(gè)一組空腔盲筒構(gòu)造華夫筒為四個(gè)一組空腔梯形構(gòu)造4.1大型潔凈車間樓地面成型關(guān)鍵施工技術(shù)?

華夫筒與chess筒的對比結(jié)構(gòu)形式：華夫筒與chess筒均采用玻璃鋼SMC材質(zhì)，性能穩(wěn)定、低煙阻燃、耐高溫、耐酸堿，造型上chess筒是四個(gè)一組空腔盲筒構(gòu)造，本身剛性強(qiáng)度更大，華夫孔板則是四桶合一的梯形構(gòu)造。施工方式：華夫筒和Chess桶在施工方式上基本一致，但華夫筒在梯形區(qū)域增設(shè)了內(nèi)支撐，以防止混凝土在施工過程中受到擠壓而變形。適用范圍：華夫筒和Chess桶適用于不同的樓板厚度。Chess桶主要用于核心生產(chǎn)區(qū)等關(guān)鍵區(qū)域，華夫筒主要用于潔凈車間等對空氣質(zhì)量要求較高的場所。華夫筒chess筒4.1大型潔凈車間樓地面成型關(guān)鍵施工技術(shù)?

華夫筒和chess桶安裝關(guān)鍵要點(diǎn)排版布置：先安裝最外側(cè)華夫桶作為基準(zhǔn)，再安裝中間區(qū)域華夫桶，避免誤差累積，并檢查筒口頂面水平，調(diào)整或更換。模板鋪設(shè)：在保證架體頂部平整度的條件下，模板采用密拼通鋪。板柱模板交接處，板模下部次楞伸至柱模邊，避免支撐剛度不足導(dǎo)致的華夫模板拼縫密封破裂漏漿。桶身固定：在華夫筒和Chess筒定位后，自攻螺絲連接相鄰模板，每相鄰邊中間最少固定3顆螺絲，底部自粘膜固定到木板上，華夫筒和chess筒間縫隙用密封膠來填充。埋件預(yù)埋：預(yù)埋的哈芬槽均按機(jī)電管線走向進(jìn)行單向布置，從而確保后續(xù)機(jī)電管道安裝的順利進(jìn)行。使用自攻螺絲穿過哈芬槽螺絲孔位，固定到木模板。華夫筒、chess筒成品保護(hù)：作為一次性永久模板，后期不拆除，SMC材質(zhì)具有一定的脆性，施工過程中需要采用夾板便道避免踩踏，墊設(shè)模板木方等措施進(jìn)行成品保護(hù)。4.1大型潔凈車間樓地面成型關(guān)鍵施工技術(shù)?

實(shí)施效果分享底模板、板面標(biāo)高復(fù)核華夫筒鋪設(shè)華夫筒鋼筋綁扎混凝土澆筑華夫筒蓋邊緣收平華夫筒底模板拆除華夫筒內(nèi)支撐拆除華夫筒內(nèi)澆筑成型效果4.1大型潔凈車間樓地面成型關(guān)鍵施工技術(shù)?

結(jié)構(gòu)地坪關(guān)鍵施工技術(shù)結(jié)構(gòu)精平“六步法”：初高控制：每平米設(shè)置測量點(diǎn)，高鏟低填，澆筑后面標(biāo)高應(yīng)比設(shè)計(jì)高2~3mm。初平控制：6m重型刮尺橫豎刮，注意柱腳和邊角。圓盤打磨：嚴(yán)格控制收面質(zhì)量，采用圓盤磨光機(jī)進(jìn)行壓實(shí)提漿，務(wù)必在初凝前完成全面磨光處理

。二次標(biāo)高控制和找平：塔尺跟進(jìn)測量，細(xì)部人工修抹，再用刮尺橫豎刮。打磨拋光：雙刀全自動(dòng)磨光機(jī)二次打磨，邊角人工收光。三次平整度檢查：收光過程中，水平尺及塞尺實(shí)時(shí)測量，不滿足則人工修補(bǔ)填平后二次收光。4.2墻板施工關(guān)鍵施工技術(shù)墻板施工技術(shù)要點(diǎn)對于高潔凈芯片廠房工期緊的特點(diǎn)，往往是三邊工程，管線開洞需求不明確，因此采用橫裝方式便于后期管線開洞，降低安全風(fēng)險(xiǎn)對于層高低于6m、管線不多的區(qū)域，采用豎裝的方式對于墻板開洞多、衛(wèi)生間潮濕、管線多、短肢交叉墻等區(qū)域，不建議采用ALC墻板外墻轉(zhuǎn)角位置是ALC結(jié)構(gòu)較為薄弱的節(jié)點(diǎn)，轉(zhuǎn)角采用300長，φ6mm的銷釘進(jìn)行連接加固4.3大跨度鋼桁架屋蓋關(guān)鍵施工技術(shù)高潔凈廠房鋼桁架屋蓋廠房平面尺寸最大高度跨度單次滑移最大重量PY項(xiàng)目2#廠房200.4m×138.0m8.50m138m2300噸（8榀）DH項(xiàng)目4#廠房204.0m×195.6m9.02m204m2000噸（6榀）?

鋼結(jié)構(gòu)施工施工工藝和機(jī)械選型?

由于華夫板樓面不能上大型機(jī)械且工期短，采取原位拼裝、整體提升等安裝方法不可行，廠房鋼結(jié)構(gòu)屋蓋均采用室外地面分段拼裝、吊裝、分塊滑移的施工方法。?以PY科技園項(xiàng)目2#廠房為例：桁架單片重量達(dá)235-350t，根據(jù)大型機(jī)械選型，每個(gè)山墻端2臺(tái)300噸履帶吊，分5段吊裝，支撐胎架從3層華夫板樓面起。4.3大跨度鋼桁架屋蓋關(guān)鍵施工技術(shù)鋼桁架屋蓋滑移分區(qū)部署(以PY為例)由于結(jié)構(gòu)部分有局部地下室和高低跨結(jié)構(gòu)，因進(jìn)度存在時(shí)間差，分為左右兩塊不等面積的滑移區(qū)塊，由兩端向中間滑移的施工方式施工。廠房分為32榀主桁架，采用四條滑移軌道，在控制合理滑移重量和后補(bǔ)桿件數(shù)量的前提下，整個(gè)鋼屋蓋分五個(gè)滑移分區(qū)。分區(qū)滑移到位后可穿插樓板施工，將分塊間的裝次梁帶著滑移，減少補(bǔ)桿。4.3大跨度鋼桁架屋蓋關(guān)鍵施工技術(shù)?

免卸載節(jié)點(diǎn)的優(yōu)化為實(shí)現(xiàn)滑移到位后鋼桁架免卸載，在柱子底部和預(yù)埋鋼板間留設(shè)15mm間距，在滑移溝槽位置左右各開孔130×100mm，在柱側(cè)面留設(shè)400×400mm的焊接操作孔，鋼柱滑移到位后直接進(jìn)行焊接和補(bǔ)板。4.3大跨度鋼桁架屋蓋關(guān)鍵施工技術(shù)?

鋼結(jié)構(gòu)埋件的優(yōu)化原柱腳節(jié)點(diǎn)為4根M36錨栓，與柱底板高強(qiáng)螺栓緊固連接后二次灌漿，優(yōu)化節(jié)點(diǎn)后，將鋼柱底板在施工過程中與柱脫離，底板和抗剪鍵以及錨桿作為預(yù)埋件形式同土建一同施工，錨栓不冒頭，使得板面平整同混凝土柱頂標(biāo)高。優(yōu)化后埋件?

鋼桁架拼裝方法優(yōu)化采用臥拼法進(jìn)行拼裝，在拼裝前根據(jù)分段大小制作高1.25m、長2m、8m、9.05m等多個(gè)規(guī)格的拼裝馬凳，馬凳位置在滑移梁的延長線上，鋼桁架在地面進(jìn)行預(yù)拼裝，保證拼裝后的精度。?

鋼桁架屋蓋安裝方法優(yōu)化-免卸載滑移安裝滑移到位后，與滑靴連接的頂推器可直接拆除。屋蓋按設(shè)計(jì)標(biāo)高進(jìn)行滑移，到位后與預(yù)埋板全熔透焊接成型，無卸載過程。免卸載滑移安裝順序如下：鋼桁架滑移就位→拆除頂推裝置→切除鋼柱內(nèi)軌道→焊接十字加勁板→切除滑靴（即卸載）→焊接外圍矩形鋼柱板→切除鋼柱外軌道→開孔位置補(bǔ)板。4.3大跨度鋼桁架屋蓋關(guān)鍵施工技術(shù)4.3大跨度鋼桁架屋蓋關(guān)鍵施工技術(shù)2#廠房鋼結(jié)構(gòu)首吊鋼桁架支撐立面支撐桿件鋼桁架吊裝滑靴位于滑移軌道上鋼構(gòu)件吊裝鋼桁架補(bǔ)桿托梁支撐滑移完成的鋼桁架柱腳補(bǔ)板開孔細(xì)部圖?

現(xiàn)場情況及施工成果4.4潔凈車間施工及設(shè)備安裝技術(shù)?

潔凈工程概況PY科技園項(xiàng)目FAB1、FAB2為潔凈廠房，潔凈區(qū)范圍一至三層夾層區(qū)域，潔凈區(qū)面積為89877m2。主要系統(tǒng)為MAU

+FFU+

DCC系統(tǒng)，適用于潔凈度要求較高（千級及以上）的潔凈室廠房。FAB2FAB12A1AL2L1CUBL6L5l 潔凈工程范圍潔凈技術(shù)下夾層干泵區(qū)/動(dòng)力站房潔凈生產(chǎn)區(qū)MAU機(jī)房上技術(shù)夾層回風(fēng)夾道回風(fēng)夾道3F2F1F4.4潔凈車間施工及設(shè)備安裝技術(shù)消防水系統(tǒng)消防弱電系統(tǒng)1、進(jìn)行共用管道支吊架的二次設(shè)計(jì)2、管道隔震措施滿足相關(guān)要求潔凈室新風(fēng)（MAU系統(tǒng)）潔凈室的循環(huán)/過梁系統(tǒng)干式冷盤管系統(tǒng)水管系統(tǒng)潔凈包橋架工程潔凈區(qū)配電支干線工程潔凈區(qū)照明設(shè)備安裝FUU的配電支線工程生活加壓給水系統(tǒng)（DW）市政給水系統(tǒng)（CIW）生產(chǎn)給水系統(tǒng)（IW/PW）洗滌塔補(bǔ)水系統(tǒng)（RCW)ROW

供水系統(tǒng)潔凈包排水系統(tǒng)環(huán)境建立溫度送風(fēng)量濕度潔凈度壓力潔凈生產(chǎn)區(qū)潔凈技術(shù)下夾層干泵區(qū)/動(dòng)力站房MAU機(jī)房上技術(shù)夾層FFUOAFFUDCC回風(fēng)夾道DCC回風(fēng)夾道MAU+FFU+DCC電子潔凈室的壓差控制系統(tǒng)及方法MAU（新風(fēng)機(jī)組）：控制相對濕度、保證潔凈室正壓FFU（風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組）：保證潔凈度DCC（干式冷卻盤管）：控制溫度潔凈室氣流形式-層流循環(huán)上技術(shù)夾層：氣流從下夾層經(jīng)回風(fēng)夾道和DCC（干式冷卻盤管）冷卻后回到靜壓箱潔凈生產(chǎn)區(qū)：潔凈氣流由靜壓箱中FFU（風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組）送入潔凈室潔凈技術(shù)下夾層：氣流經(jīng)潔凈室華夫板流入潔凈下夾層?

潔凈車間環(huán)境實(shí)現(xiàn)原理潔凈工程的核心是創(chuàng)造一個(gè)滿足芯片生成需求的室內(nèi)環(huán)境，需對室內(nèi)的溫度、濕度、壓力、潔凈度等指標(biāo)進(jìn)行控制，并且會(huì)根據(jù)不同的指標(biāo)選擇不同的凈化方案使得潔凈環(huán)境順利達(dá)標(biāo)。l 潔凈車間環(huán)境實(shí)現(xiàn)原理: l 機(jī)電系統(tǒng)各專業(yè)內(nèi)容4.4潔凈車間施工及設(shè)備安裝技術(shù)空氣潔凈度等級（N）大于或等于表中粒徑的最大濃度限值（個(gè)/立方米）0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μm11022100241043100023710235841000023701020352835100000237001020035208322961000000237000102000352008320293735200083200293083520000832000293009352000008320000293000

0.1

2.08

D

C

10

N

n式中：Cn——大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度（pc/m3）；Cn是以四舍五入至相近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過三位。N——潔凈度等級，數(shù)字不超出9，潔凈度等級整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量。D——要求的粒徑（μm），其值為[0.1~5.0]。0.1——常數(shù)，其量綱為μm。各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應(yīng)按下式計(jì)算：擴(kuò)展：在《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GBJ73—84，潔凈等級采用百、千、萬、十萬級表示，最新規(guī)范中對空氣潔凈度等級的相關(guān)內(nèi)容作了修改和補(bǔ)充。?

潔凈室等級劃分符合GB50073-2013《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》規(guī)定4.4潔凈車間施工及設(shè)備安裝技術(shù)?

潔凈車間施工管理要點(diǎn)管理要點(diǎn)1：平行包管理?

潔凈廠房建造涉及專業(yè)廣、專業(yè)化程度高，涉及較多對施工品質(zhì)要求極高的專業(yè)，施工期間要涉及平行分包商十?dāng)?shù)家

(根據(jù)業(yè)主拆包模式)，接口工程量大，協(xié)調(diào)管理難度高。如何加強(qiáng)總承包管理，確保工程目標(biāo)實(shí)現(xiàn)，對各分包商行有效地協(xié)調(diào)，為各分包商提供全面有效的服務(wù)是管理重點(diǎn)。核心生產(chǎn)設(shè)備的參數(shù)型號、匹配需求等應(yīng)在廠房設(shè)計(jì)階段確定下來并下單，減少現(xiàn)場重大設(shè)計(jì)變更，保證設(shè)備制造、運(yùn)輸周期能夠滿足現(xiàn)場工期要求。純水、廢水、工藝?yán)鋮s水、電梯等專業(yè)的分包商招標(biāo)工作應(yīng)盡可能前置，保證其設(shè)備基礎(chǔ)、井道尺寸等能夠在結(jié)構(gòu)施工前確定。在分包商進(jìn)場后及時(shí)根據(jù)專業(yè)需求及合同要求，通過協(xié)調(diào)分階段提供堆場、工作面等；在實(shí)施的過程中應(yīng)以保證最終完成節(jié)點(diǎn)為目標(biāo)根據(jù)實(shí)際情況制定計(jì)劃糾偏、同時(shí)各項(xiàng)獎(jiǎng)懲措施應(yīng)及時(shí)兌現(xiàn)。?

對應(yīng)措施：潔凈工程相關(guān)平行包l

動(dòng)力機(jī)電工程包l

工藝排氣工程包l

純水工程包l

消防工程包l

廢水處理工程包l

特氣工程包l

化學(xué)品工程包l

大宗氣體工程包l

研磨液工程包l

FMCS工程包l

電梯包l

弱電工程包4.4潔凈車間施工及設(shè)備安裝技術(shù)?

潔凈車間施工管理要點(diǎn)管理要點(diǎn)2：潔凈管制一級管制l

潔凈室內(nèi)實(shí)現(xiàn)基本清潔l

管制區(qū)域?qū)崿F(xiàn)基本封閉l

進(jìn)入管制區(qū)域的人員須提前經(jīng)過潔凈培訓(xùn)，并將培訓(xùn)合格標(biāo)簽貼到胸卡上。二級管制三級管制l

在管制區(qū)域的工作需要工作許可證l

清潔的安全鞋（小白鞋）l

清潔的工作服l

在管制區(qū)域內(nèi)不得飲食、抽煙l

盡可能避免污染作業(yè)l

有序堆放施工材料l

管制口設(shè)專人執(zhí)行管制基本要求l

執(zhí)行相應(yīng)等級的潔凈培訓(xùn)l

做好全面的清潔工作l

做好潔凈和非潔凈區(qū)的隔離，保證潔凈室的封閉，開啟正壓送風(fēng)l

打印管制規(guī)定章程，并粘貼在進(jìn)入潔凈區(qū)入口顯眼處l

佩戴潔凈的鞋套,

頭發(fā)套、PVC手套l

準(zhǔn)備6%異丙醇混合液用于材料擦洗l

及時(shí)清掃施工殘留物及廢料l

材料進(jìn)入潔凈室前需要擦拭干凈，且走材料專用通道l

地面環(huán)氧做好防護(hù)l

在潔凈區(qū)域使用的金屬梯子、腳手架和工作平臺(tái)必須是干凈的和接近于新的狀況l

分包商必須在系統(tǒng)完成安裝后進(jìn)行一次徹底的清潔l

執(zhí)行相應(yīng)等級的潔凈培訓(xùn)l

開啟正壓送風(fēng)l

使用帶高效過濾器的吸塵器l

可移動(dòng)腳手架和梯子的轉(zhuǎn)輪要用潔凈膠帶包裹l

只有經(jīng)申請批準(zhǔn)的打磨、切割和點(diǎn)火作業(yè)，并在完善的保護(hù)措施下才能在室內(nèi)進(jìn)行。否則應(yīng)盡量在潔凈室外完成上述作業(yè)l

只能用潔凈室專用筆和紙l

FFU開啟l

設(shè)一間臨時(shí)材料搬入間、擦拭間、更衣室l

更衣要求：面罩+頭套+潔凈服和潔凈鞋+安全眼鏡

(如需要)+

PVC

手套4.4潔凈車間施工及設(shè)備安裝技術(shù)中央走道下主管架共同管架共同管架母線橋架母線橋架?

潔凈車間施工管理要點(diǎn)管理要點(diǎn)3：空間管理l 公共管架區(qū)域管路數(shù)量多，管路進(jìn)出走道的銜接，需后續(xù)深化時(shí)預(yù)留出穿越空間與管路檢修空間。l Truss

層有

DCC

平臺(tái)可穿越空間、檢修馬道凈高、鋼構(gòu)自身斜撐的避讓、DCC管道共架等問題，同時(shí)作為排氣管線和新風(fēng)管下至回風(fēng)道的主要穿越層，還有排煙系統(tǒng)等其他管線的穿越，需配合回風(fēng)夾道鋼構(gòu)斜撐的規(guī)劃，著重進(jìn)行空間管理。l 下夾層主管共架為雙層，主管與

Submain管路（次干管）的銜接，為空管重點(diǎn)。4.4潔凈車間施工及設(shè)備安裝技術(shù)?

潔凈車間施工管理要點(diǎn)管理要點(diǎn)4：防微震措施潔凈區(qū)的微振控制是重點(diǎn)，根據(jù)前期項(xiàng)目微振分析報(bào)告，在深化設(shè)計(jì)階段需對設(shè)備、管道等振動(dòng)源頭設(shè)置隔離措施，對工藝關(guān)鍵設(shè)備，如光刻、測試設(shè)備配置采取主動(dòng)/被動(dòng)減振臺(tái)座等措施。先進(jìn)封裝區(qū)、中試線、晶圓后加工區(qū)；光罩加工、ChemicalLAB、FA&RE

LAB區(qū)要求VC-E（防微振等級），對應(yīng)該區(qū)域的管道支架型式和減振設(shè)計(jì)。對應(yīng)措施：深化設(shè)計(jì)時(shí)核對有防微震等級區(qū)域管道路和管徑，確保管道支架型式滿足15240抗振要求，對于大口徑管路盡量避開VC-E要求區(qū)域。在選購設(shè)備時(shí)，選擇具有防振功能的設(shè)備，如具有防震墊、減震器等裝置的設(shè)備?？梢杂行У販p少振動(dòng)對設(shè)備的影響。在安裝設(shè)備時(shí)采用防振裝置，如減震器、防震墊等，以減少振動(dòng)對設(shè)備的影響。防振裝置應(yīng)根據(jù)設(shè)備的重量和振動(dòng)特性進(jìn)行選擇和安裝?

實(shí)施效果分享4.4潔凈車間施工及設(shè)備安裝技術(shù)4.5純水系統(tǒng)施工和設(shè)備安裝技術(shù)?

純水系統(tǒng)高純水的應(yīng)用是集成電路生產(chǎn)的必要條件之一，電子潔凈廠房所需的高純水一般為超純水，超純水系統(tǒng)一般分為超純水制造區(qū)、超純水拋光循環(huán)區(qū)、超純水輸送管網(wǎng)以及超純水回收系統(tǒng)四部分，其中超純水制造區(qū)是最重要也是最為復(fù)雜的部分。PY科技園項(xiàng)目純水系統(tǒng)主要包含CUB前處理系統(tǒng)、FAB1、FAB2、FAB3拋光區(qū)及LOOP管路系統(tǒng)及其相關(guān)配套系統(tǒng)。其中FAB1一期供水200m3/h，F(xiàn)AB2一期供水120m3/h。CUB地下一層純水制備（FAB2）CUB地下一層純水制備（FAB1）CUB地下一層純水制備（FAB3）-9.000純水拋光冷凝水收集間-0.4PCW站房50±0.000純水UF間4.5純水系統(tǒng)施工和設(shè)備安裝技術(shù)?

純水系統(tǒng)施工技術(shù)重難點(diǎn)：重難點(diǎn)1：水池FRP防腐施工水池?cái)?shù)量多，空間狹小，施工難度大，地下室因交叉施工，施工環(huán)境惡劣；混凝土與FRP防腐材料基層要求高，未妥善處理易導(dǎo)致材料粘接后的脫落；水池做FRP防腐施工時(shí)可能會(huì)釋放有害氣體，安全風(fēng)險(xiǎn)大。?

應(yīng)對措施l 施工人員必須佩戴好防護(hù)用具，并利用送風(fēng)機(jī)保證水池?zé)o間斷通風(fēng)，保持水池底部的氧氣含量，有限空間作業(yè)須有專人監(jiān)護(hù)；l 地下室水池區(qū)域粉塵作業(yè)應(yīng)與防腐作業(yè)錯(cuò)開，防止地下室的粉塵通過送風(fēng)進(jìn)入到水池，污染FRP防腐涂料，導(dǎo)致其潔凈度、導(dǎo)電性無法滿足要求；l 土建移交前進(jìn)行基層檢查，F(xiàn)RP防腐涂料固化前檢查纖維布有無浮起、鼓脹或剝落，施工完成后再次進(jìn)行空鼓檢查4.5純水系統(tǒng)施工和設(shè)備安裝技術(shù)?

純水系統(tǒng)施工技術(shù)重難點(diǎn)：重難點(diǎn)2：管道安裝管道的材質(zhì)采用PVDF等高純管材，管道的施工環(huán)境要達(dá)到較高的潔凈程度；管道安裝時(shí)潔凈度、管道粘結(jié)和支架間距不符合要求導(dǎo)致潔凈度不達(dá)標(biāo)、管道漏水、變形?

應(yīng)對措施l

在地下室設(shè)立臨時(shí)潔凈間，作業(yè)前經(jīng)過臨時(shí)潔凈間進(jìn)行除塵處理；l

使用管道廠商提供的清洗劑或丙酮清洗承口和插口，需戴潔凈手套進(jìn)行管道粘接；l

安裝管道支架應(yīng)避免間距過大，引起管道彎曲。4.5廢水系統(tǒng)施工和設(shè)備安裝技術(shù)?

廢水系統(tǒng)高潔凈芯片廠房在生產(chǎn)過程中會(huì)產(chǎn)生大量的廢水，通過廢水系統(tǒng)的處理工藝，達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)，部分廢水可再次利用，提高資源利用率。PY科技園項(xiàng)目廢水系統(tǒng)主要包含：FAB1廠房的PDS管路及地下室廢水提升及外載系統(tǒng)，

FAB2廠房的PDS管路及FAB1外載系統(tǒng)，CUB動(dòng)力廠房地下室、1F、2F廢水處理系統(tǒng)。-9.00dFAB1廢水調(diào)節(jié)池FAB2廢水調(diào)節(jié)池0FAB3廢水調(diào)節(jié)池? 廢水系統(tǒng)序號專業(yè)系統(tǒng)名稱系統(tǒng)內(nèi)容簡介1廢水系統(tǒng)PDS廢水收集系統(tǒng)FBA1廢水收集系統(tǒng)和FAB2廢水收集系統(tǒng)（主要有廢水收集管路及廢水提升系統(tǒng)、廢酸、有機(jī)廢液外載系統(tǒng)）2DWWA酸堿系統(tǒng)酸堿處理系統(tǒng)1400m3/h（酸堿廢水采用三段式pH反應(yīng)調(diào)整,

最后通過放流池放流。）3DHFW含氟系統(tǒng)含氟含磷處理系統(tǒng)140m3/h（含氟處理系統(tǒng)以1段化混進(jìn)行處理,

透過ph調(diào)節(jié),

加入氯化鈣、PAC、PAM等藥劑,

達(dá)到F去除,

合格產(chǎn)水進(jìn)入到放流池放流）4CMP系統(tǒng)CMP處理系統(tǒng)140m3/h（CMP處理系統(tǒng)以

1段化混進(jìn)行處理,

透過ph調(diào)節(jié),

PAC、PAM等藥劑,

達(dá)到SS去除,合格產(chǎn)水進(jìn)入到放流池放流,具備能力短時(shí)間備用含氟系統(tǒng)。）5氨氮廢水系統(tǒng)氨氮處理系統(tǒng)60m3/h（系統(tǒng)以調(diào)整pH達(dá)到吹脫罪加pH,

透過錳砂塔去除雙氧水,

并經(jīng)過二段式加熱后進(jìn)行氨氮吹脫工藝）6含氟含氨廢水系統(tǒng)含氟含氨氮處理系統(tǒng)60m3/h（含氟含氨廢水處理系統(tǒng)裝置和氨氮系統(tǒng)互為備用,經(jīng)吹脫將氨氮去除后,再進(jìn)入含F(xiàn)系統(tǒng)處理）8含銅廢水系統(tǒng)含Cu處理系統(tǒng)20m3/h（采用化混沉淀工藝+MMF+ACF+重金屬離子交換樹脂進(jìn)行處理）9有機(jī)廢水系統(tǒng)有機(jī)處理系統(tǒng)90m3/h（有機(jī)廢水采用AO工藝,

經(jīng)MBR過濾后,內(nèi)部儀表檢測達(dá)標(biāo)后排放至中和系統(tǒng)）10含Ni廢水系統(tǒng)含Ni處理系統(tǒng)20m3/h（采用化混沉淀工藝+MMF+ACF+重金屬離子交換樹脂進(jìn)行處理）11含Ag/Sn廢水系統(tǒng)含Ag/Sn處理系統(tǒng)20m3/h（采用化混沉淀工藝+MMF+ACF+重金屬離子交換樹脂進(jìn)行處理）12TMAH前處理系統(tǒng)含TMAH前處理系統(tǒng)10m3/h（TMAH廢水經(jīng)過原水泵打入到調(diào)整pH調(diào)整槽，調(diào)整至酸性,

使廢液由液態(tài)變成懸浮態(tài)，以氣浮池進(jìn)行固液分離,上清液溢流到產(chǎn)水池經(jīng)轉(zhuǎn)運(yùn)水泵打到有機(jī)系統(tǒng)，繼續(xù)進(jìn)行生化處理）4.5廢水系統(tǒng)施工和設(shè)備安裝技術(shù)? 廢水系統(tǒng)-重難點(diǎn)4.5廢水系統(tǒng)施工和設(shè)備安裝技術(shù)重難點(diǎn)1：FRP防腐施工FRP防腐施工量大，施工難度高，安全風(fēng)險(xiǎn)高?

應(yīng)對措施l 設(shè)置專門的FRP材料倉庫，配置消防設(shè)施，安排專人值守l FRP施工事先制定FRP專項(xiàng)施工方案報(bào)業(yè)主、監(jiān)理、總包審核，施工過程中依照施工方案管控，定期做安全疏散演練l 合理安排工程施工工序，禁止FRP作業(yè)隔離區(qū)域內(nèi)有動(dòng)火及電氣作業(yè)l

對施工隊(duì)伍做技術(shù)交底，在施工中施工后通過空鼓檢查，電火花測試，硬度測試等方式，確保FRP施工質(zhì)量，避免重復(fù)返工重難點(diǎn)2：金屬桶槽焊接，大型儲(chǔ)罐、設(shè)備安裝金屬桶槽數(shù)量多，焊接工作量大大型儲(chǔ)罐，大型設(shè)備多，吊裝搬運(yùn)難度大?

應(yīng)對措施l 桶槽尺寸符合運(yùn)輸條件的優(yōu)先選擇工廠預(yù)制；l 合理規(guī)劃施工工序，禁止焊接動(dòng)火作業(yè)與FRP施工交叉作業(yè)l 同一區(qū)域大型儲(chǔ)罐數(shù)量多，需依照布置圖及搬運(yùn)動(dòng)線先內(nèi)后外對桶槽編號，協(xié)調(diào)廠商依照編號安排制造和出貨順序l 設(shè)備進(jìn)場前提前勘察吊裝搬運(yùn)動(dòng)線，與平行包協(xié)調(diào)錯(cuò)峰吊裝4.6CDS化學(xué)品(中央供酸)系統(tǒng)關(guān)鍵施工技術(shù)堿桶槽間甲類溶劑間甲類桶槽間酸桶槽間H2O2桶槽研磨液間堿供應(yīng)間酸、氟供應(yīng)間H2O2供應(yīng)間間研磨液間HCL供應(yīng)丙類溶劑間間 HNO3供應(yīng)間運(yùn)輸通道?

CDS化學(xué)品系統(tǒng)化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)是指以中央供應(yīng)方式提供工藝生產(chǎn)過程中所需化學(xué)品的生產(chǎn)輔助工藝系統(tǒng)，其提供種類繁多的化學(xué)試劑是芯片生產(chǎn)中必要的用品。在FAB廠房一層、二層一側(cè)布有甲類溶劑間、酸氟供應(yīng)間、堿供應(yīng)間等化學(xué)品及設(shè)備間，化學(xué)品倉庫布置綜合考慮生產(chǎn)工藝流程、運(yùn)輸條件、材料設(shè)備選用及安全、衛(wèi)生、環(huán)保、施工、管理等因素?；瘜W(xué)品間化學(xué)品間運(yùn)輸通道有機(jī)廢液收集間

無機(jī)廢液收集間化學(xué)品填充區(qū)廢液外運(yùn)區(qū)研磨液間研磨液間FAB廠房首層設(shè)備分布平面圖FAB廠房首層化學(xué)品間分布平面圖4.6CDS化學(xué)品(中央供酸)系統(tǒng)關(guān)鍵施工技術(shù)堿桶槽間甲類溶劑間甲類桶槽間酸桶槽間H2O2桶槽研磨液間堿供應(yīng)間酸、氟供應(yīng)間H2O2供應(yīng)間間研磨液間HCL供應(yīng)丙類溶劑間間 HNO3供應(yīng)間運(yùn)輸通道?

CDS化學(xué)品系統(tǒng)化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)是指以中央供應(yīng)方式提供工藝生產(chǎn)過程中所需化學(xué)品的生產(chǎn)輔助工藝系統(tǒng)，其提供種類繁多的化學(xué)試劑是芯片生產(chǎn)中必要的用品。在FAB廠房一層、二層一側(cè)布有甲類溶劑間、酸氟供應(yīng)間、堿供應(yīng)間等化學(xué)品及設(shè)備間，化學(xué)品倉庫布置綜合考慮生產(chǎn)工藝流程、運(yùn)輸條件、材料設(shè)備選用及安全、衛(wèi)生、環(huán)保、施工、管理等因素?；瘜W(xué)品間化學(xué)品間運(yùn)輸通道有機(jī)廢液收集間

無機(jī)廢液收集間化學(xué)品填充區(qū)廢液外運(yùn)區(qū)研磨液間研磨液間FAB廠房首層設(shè)備分布平面圖FAB廠房首層化學(xué)品間分布平面圖? CDS（中央供酸系統(tǒng)）系統(tǒng)的組成目前我們正在施工的FAB1芯片廠房CDS系統(tǒng)高精度的化學(xué)試劑要達(dá)到的目標(biāo)：1.清洗芯片上的雜質(zhì)、微粒子2.蝕刻芯片圖案3.顯影芯片圖案4.為化學(xué)氣相沉積前置反應(yīng)物5.研磨芯片6.清洗制程設(shè)備零配件CCB：化學(xué)液輸送系統(tǒng)CDU：循環(huán)過濾裝置VMB：閥件分流箱4.6CDS化學(xué)品(中央供酸)系統(tǒng)關(guān)鍵施工技術(shù)4.6CDS化學(xué)品(中央供酸)系統(tǒng)關(guān)鍵施工技術(shù)?

施工技術(shù)要點(diǎn)技術(shù)要點(diǎn)1：化學(xué)品儲(chǔ)存間泄爆及泄露報(bào)警閥組施工技術(shù)化學(xué)品儲(chǔ)存間含有IPA（二甲基甲甲醇）、NMP（N-甲基吡咯烷酮）、PGMEA（丙二醇單甲基醚酯）等易爆物品，對于儲(chǔ)存間的泄爆需按照相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì)于施工，并且應(yīng)安裝泄露報(bào)警閥組，及時(shí)關(guān)注化學(xué)品儲(chǔ)存間的問題。l 有機(jī)化學(xué)品收集間位于化學(xué)品供應(yīng)站中間，其三面為鋼筋混凝土防爆墻（厚度300mm），靠近外側(cè)外墻為深灰色巖棉夾心金屬外墻板，頂部為單層壓型鋼板泄爆屋面。l 報(bào)警閥組安裝的位置應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，當(dāng)設(shè)計(jì)無要求時(shí)，報(bào)警閥組應(yīng)安裝在便于操作的明顯位置，距室內(nèi)地面高度宜為1.2m；兩側(cè)與墻的距離不應(yīng)小于0.5m；正面與墻的距離不應(yīng)小于1.2m；報(bào)警閥組凸出部位之間的距離不應(yīng)小于0.5m。l 報(bào)警閥組安裝應(yīng)在供水管網(wǎng)試壓、沖洗合格后進(jìn)行。l 安裝時(shí)應(yīng)先安裝水源控制閥、報(bào)警閥，然后進(jìn)行報(bào)警閥輔助管道的連接。l 水源控制閥、報(bào)警閥與配水干管的連接，應(yīng)使水流方向一致。4.6CDS化學(xué)品(中央供酸)系統(tǒng)關(guān)鍵施工技術(shù)?

施工技術(shù)要點(diǎn)技術(shù)要點(diǎn)2：化學(xué)品管道施工技術(shù)化學(xué)品管道應(yīng)按照技術(shù)要求，對CPVC（綠化聚氯乙烯樹脂）配管施工及PFA（四氟乙烯）配管施工重點(diǎn)關(guān)注，根據(jù)系統(tǒng)流程、系統(tǒng)布置圖、材料規(guī)格表進(jìn)行管線檢查。l

高純PVDF（聚偏氟乙烯）、高純PFA管道施工，需建立符合要求的潔凈設(shè)施，現(xiàn)場需搭建管道預(yù)制用潔凈小間（1000級），保證高純管道潔凈的施工環(huán)境和高質(zhì)量的預(yù)制焊接。l

CPVC管路安裝時(shí)都采用外套接頭，用PVC專用膠水粘結(jié)，每個(gè)街頭的密封性都直接影響整條管路的品質(zhì)，所以在作業(yè)時(shí)要注意每一個(gè)施工細(xì)節(jié)。PFV管道均是外管內(nèi)，整條管路安裝，中間沒有連接點(diǎn)，在安裝前要對外管的管路長度做好測量工作，在選用內(nèi)管時(shí)要保證有足夠的長度。在施工時(shí)要求專人指揮，作業(yè)人員配合動(dòng)作一致，在拉內(nèi)管時(shí)必須要有節(jié)奏性地一拉一松，讓PFV的延伸率及時(shí)得以復(fù)原，嚴(yán)禁強(qiáng)行蠻拉、使用機(jī)械或電動(dòng)葫蘆等工具作業(yè)。l 管道安裝完后貼上管路標(biāo)簽，標(biāo)簽要注明管路內(nèi)縮存在化學(xué)品的名稱、危害性、腐蝕性以及流向。4.7特殊氣體關(guān)鍵施工技術(shù)BGDS（大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)）、GC（氣柜）、GR（氣架）、VDP（氣體分配盤）、VDB(氣體分配箱)、VMB（氣體供應(yīng)箱）、VMP（氣體供應(yīng)盤）、N2/He吹GR（氣架掃盤面)、Scrubber（尾氣處理器）、GMS系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)等、GAS管道系統(tǒng)。FAB2FAB1特氣站、硅烷站本項(xiàng)