雙主軸晶圓劃片機用多絲母組件 技術(shù)要求編制說明_第1頁
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文檔簡介

《雙主軸晶圓劃片機用多絲母組件技術(shù)要求》編制說明根據(jù)《中國中小商業(yè)企業(yè)協(xié)會團體標(biāo)準(zhǔn)管理辦法》有關(guān)規(guī)定，標(biāo)準(zhǔn)符合立項條件，現(xiàn)批準(zhǔn)立項。的精度。所以提高多絲母組件的精度技術(shù)對提高芯片尺寸制造精度，件技術(shù)要求》晶圓劃片機加工相關(guān)情況進(jìn)行查證工作，確定了《雙主軸晶圓劃片機用多絲標(biāo)準(zhǔn)起草等角度廣泛征求多方意見，從理論完善和實踐應(yīng)用多方面提升標(biāo)準(zhǔn)的適用性和實用性。經(jīng)過理論研究和方法驗證，起草組形成了國標(biāo)準(zhǔn)編寫模板TCS2020版進(jìn)行6.1.6裝配后的多絲母組件應(yīng)進(jìn)行6.2.1多絲母組件的行程偏差和變無

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