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微慣性技術(shù)微慣性技術(shù)利用小型慣性傳感器,可以精確測(cè)量物體的運(yùn)動(dòng)狀態(tài),為智能設(shè)備提供可靠的運(yùn)動(dòng)數(shù)據(jù)。這種技術(shù)廣泛應(yīng)用于機(jī)器人、無(wú)人駕駛、可穿戴設(shè)備等領(lǐng)域,在改善設(shè)備性能和提升用戶體驗(yàn)方面發(fā)揮重要作用。目錄簡(jiǎn)介本課件將全面介紹微慣性技術(shù)的發(fā)展歷程、工作原理和在各領(lǐng)域的應(yīng)用。傳感器分類課程包括微慣性傳感器的種類及其在航空航天、智能設(shè)備、機(jī)器人等領(lǐng)域的應(yīng)用。系統(tǒng)架構(gòu)課程將介紹微慣性系統(tǒng)的整體架構(gòu)、關(guān)鍵技術(shù)和性能指標(biāo)。硬件實(shí)現(xiàn)課程涵蓋了微慣性系統(tǒng)在FPGA、ASIC和SoC上的具體實(shí)現(xiàn)方案。什么是微慣性技術(shù)?微慣性技術(shù)是利用微小的慣性傳感器來(lái)測(cè)量位移、速度和加速度的技術(shù)。它利用微機(jī)械加工技術(shù)制造出微小尺度的加速度計(jì)和陀螺儀,能夠在小型化設(shè)備上實(shí)現(xiàn)慣性導(dǎo)航和運(yùn)動(dòng)測(cè)量。微慣性傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、可靠性高,在航空航天、智能設(shè)備和機(jī)器人等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。微慣性技術(shù)的歷史發(fā)展11920年代伴隨著航空技術(shù)的進(jìn)步,最早期的慣性導(dǎo)航系統(tǒng)開(kāi)始在航空領(lǐng)域應(yīng)用。21950年代隨著制造技術(shù)的不斷發(fā)展,小型化和輕量化成為慣性導(dǎo)航系統(tǒng)的主要趨勢(shì)。31970年代隨著微電子技術(shù)的突破,MEMS慣性傳感器和微型慣性導(dǎo)航系統(tǒng)開(kāi)始出現(xiàn)。41990年代慣性技術(shù)在各個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用不斷擴(kuò)展,成為導(dǎo)航、定位和姿態(tài)測(cè)量的核心技術(shù)。微慣性傳感器的工作原理微慣性傳感器的工作原理基于牛頓的第二定律。當(dāng)傳感器受到加速度或角速度作用時(shí),會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的力或力矩,從而驅(qū)動(dòng)敏感部件發(fā)生位移或振動(dòng)。位移或振動(dòng)的大小與加速度或角速度成正比,通過(guò)測(cè)量敏感部件的位移或振動(dòng)就可以計(jì)算出相應(yīng)的加速度或角速度。微慣性傳感器利用微加工技術(shù)制造,具有體積小、重量輕、功耗低、成本低等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于航空航天、智能設(shè)備、機(jī)器人等領(lǐng)域。微慣性傳感器的分類加速度傳感器測(cè)量加速度的傳感器,可用于測(cè)量線性加速度和重力加速度。陀螺儀測(cè)量角速度的傳感器,可用于測(cè)量物體在空間中的旋轉(zhuǎn)。磁力計(jì)測(cè)量磁場(chǎng)強(qiáng)度的傳感器,可用于檢測(cè)地磁場(chǎng)方向。氣壓計(jì)測(cè)量大氣壓力的傳感器,可用于估計(jì)高度和位置。MEMS加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)和工作原理MEMS加速度計(jì)采用微結(jié)構(gòu)制造技術(shù),利用電容變化原理工作。它由固定電極和懸浮連接質(zhì)量塊組成,當(dāng)受到加速度作用時(shí),質(zhì)量塊會(huì)相對(duì)固定電極發(fā)生位移,從而引起電容變化。通過(guò)對(duì)電容變化進(jìn)行檢測(cè)和處理,就可以得到加速度信號(hào)輸出。MEMS加速度計(jì)具有體積小、重量輕、價(jià)格低、集成度高等優(yōu)勢(shì),廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、汽車電子、工業(yè)控制等領(lǐng)域。MEMS陀螺儀的結(jié)構(gòu)和工作原理陀螺儀結(jié)構(gòu)MEMS陀螺儀由慣性質(zhì)量塊、彈性支撐架和電極組成,通過(guò)檢測(cè)慣性質(zhì)量塊在外力作用下的振動(dòng)來(lái)測(cè)量角速度。工作原理當(dāng)陀螺儀受到角速度輸入時(shí),慣性質(zhì)量塊會(huì)產(chǎn)生科里奧利力,導(dǎo)致振動(dòng)平面發(fā)生偏轉(zhuǎn),通過(guò)檢測(cè)偏轉(zhuǎn)量可以計(jì)算角速度大小。優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)MEMS陀螺儀體積小、功耗低、成本低,是實(shí)現(xiàn)便攜式導(dǎo)航系統(tǒng)的理想選擇。同時(shí)它還具有抗沖擊和抗振性能好的特點(diǎn)。微慣性技術(shù)在航空航天領(lǐng)域的應(yīng)用1導(dǎo)航定位微慣性測(cè)量單元(IMU)可提供精確的姿態(tài)、速度和位置信息,廣泛應(yīng)用于飛行器導(dǎo)航定位系統(tǒng)。2飛行控制微慣性傳感器可檢測(cè)飛行器的運(yùn)動(dòng)狀態(tài),為自動(dòng)駕駛和飛行控制系統(tǒng)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)。3姿態(tài)控制微型陀螺儀和加速度計(jì)可準(zhǔn)確測(cè)量飛行器的姿態(tài)變化,維持穩(wěn)定飛行。4導(dǎo)彈制導(dǎo)微慣性測(cè)量單元是制導(dǎo)導(dǎo)彈和炮彈的核心部件,提供精準(zhǔn)的導(dǎo)航跟蹤數(shù)據(jù)。微慣性技術(shù)在智能設(shè)備領(lǐng)域的應(yīng)用導(dǎo)航定位微慣性傳感器可用于智能手機(jī)、智能手表等可穿戴設(shè)備的室內(nèi)外導(dǎo)航定位,提高定位精度和穩(wěn)定性。姿態(tài)檢測(cè)結(jié)合加速度計(jì)和陀螺儀,微慣性傳感器可準(zhǔn)確檢測(cè)設(shè)備的姿態(tài),用于智能家居、AR/VR等領(lǐng)域。動(dòng)作識(shí)別微慣性傳感器可監(jiān)測(cè)人體動(dòng)作,用于健康監(jiān)測(cè)、運(yùn)動(dòng)訓(xùn)練、手勢(shì)控制等應(yīng)用,增強(qiáng)智能設(shè)備的交互能力。故障檢測(cè)微慣性系統(tǒng)可檢測(cè)設(shè)備內(nèi)部振動(dòng)異常,用于預(yù)防性維護(hù)和故障診斷,提高智能設(shè)備的可靠性。微慣性技術(shù)在機(jī)器人領(lǐng)域的應(yīng)用運(yùn)動(dòng)控制微慣性傳感器可以精確測(cè)量機(jī)器人的位置、速度和加速度,用于實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的運(yùn)動(dòng)控制。姿態(tài)估計(jì)微慣性測(cè)量單元可以提供機(jī)器人的3D姿態(tài)信息,用于動(dòng)作控制和自主導(dǎo)航。導(dǎo)航定位微慣性系統(tǒng)與GPS、視覺(jué)等傳感器融合,可以實(shí)現(xiàn)機(jī)器人在室內(nèi)外的精確定位和導(dǎo)航??垢蓴_性微慣性傳感器不依賴外部信號(hào),在強(qiáng)干擾環(huán)境下仍能穩(wěn)定工作,提高機(jī)器人的魯棒性。微慣性技術(shù)在自動(dòng)駕駛領(lǐng)域的應(yīng)用導(dǎo)航定位微慣性傳感器可以準(zhǔn)確測(cè)量車輛的加速度、角速度和方位角,為自動(dòng)駕駛系統(tǒng)提供可靠的導(dǎo)航和定位數(shù)據(jù)。姿態(tài)穩(wěn)定微慣性傳感器能實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)車輛的姿態(tài)變化,并快速調(diào)整方向盤(pán)和懸架以保持車輛的穩(wěn)定性。路徑規(guī)劃微慣性數(shù)據(jù)可與地圖信息相融合,為自動(dòng)駕駛車輛的路徑規(guī)劃和決策提供重要依據(jù)。故障診斷微慣性系統(tǒng)可持續(xù)監(jiān)測(cè)車輛的運(yùn)行狀態(tài),及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常并預(yù)警,提高自動(dòng)駕駛系統(tǒng)的安全性。微慣性技術(shù)在虛擬現(xiàn)實(shí)領(lǐng)域的應(yīng)用位置跟蹤微慣性傳感器可以精準(zhǔn)地跟蹤虛擬現(xiàn)實(shí)中用戶頭部和手部的位置和姿態(tài),為沉浸式體驗(yàn)提供關(guān)鍵支撐。動(dòng)作捕捉配合慣性測(cè)量單元(IMU)的動(dòng)作捕捉功能,用戶的身體動(dòng)作可以實(shí)時(shí)反映在虛擬世界中。沉浸體驗(yàn)微慣性系統(tǒng)可以提供低延遲、高響應(yīng)的交互體驗(yàn),增強(qiáng)虛擬現(xiàn)實(shí)中的沉浸感和真實(shí)感。微慣性系統(tǒng)的系統(tǒng)架構(gòu)微慣性系統(tǒng)通常由三個(gè)主要組件組成:慣性測(cè)量單元(IMU)、數(shù)據(jù)處理單元和導(dǎo)航計(jì)算單元。IMU負(fù)責(zé)感知運(yùn)動(dòng)狀態(tài),數(shù)據(jù)處理單元采集和預(yù)處理傳感器數(shù)據(jù),導(dǎo)航計(jì)算單元融合數(shù)據(jù)并計(jì)算位置、姿態(tài)和速度等參數(shù)。這種架構(gòu)使系統(tǒng)具有高度靈活性和擴(kuò)展性。微慣性系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)傳感器技術(shù)包括微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì)和陀螺儀等高精度、小型化的慣性傳感器技術(shù)。信號(hào)處理技術(shù)用于處理和融合來(lái)自各種傳感器的復(fù)雜信號(hào),提高系統(tǒng)的測(cè)量精度和可靠性。算法優(yōu)化技術(shù)包括濾波算法、數(shù)據(jù)融合算法和導(dǎo)航算法等,以提高系統(tǒng)的實(shí)時(shí)性和計(jì)算效率。集成電路技術(shù)用于實(shí)現(xiàn)高度集成化的微慣性系統(tǒng)芯片,降低成本并提高性能。微慣性系統(tǒng)的性能指標(biāo)微慣性系統(tǒng)的性能指標(biāo)包括精度、穩(wěn)定性、分辨率、噪聲、重復(fù)性等。這些參數(shù)直接影響了系統(tǒng)的測(cè)量和定位能力,是評(píng)估微慣性系統(tǒng)性能的重要依據(jù)。微慣性系統(tǒng)的標(biāo)定方法靜態(tài)標(biāo)定在靜止?fàn)顟B(tài)下測(cè)量傳感器的輸出值,確定零偏和靈敏度。動(dòng)態(tài)標(biāo)定通過(guò)給予特定的輸入信號(hào),測(cè)量傳感器的響應(yīng)特性。溫度標(biāo)定在不同溫度下測(cè)試傳感器,建立溫度補(bǔ)償模型。綜合標(biāo)定結(jié)合靜態(tài)、動(dòng)態(tài)和溫度標(biāo)定,建立完整的標(biāo)定模型。微慣性系統(tǒng)的檢測(cè)與診斷1故障檢測(cè)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)狀態(tài),及時(shí)發(fā)現(xiàn)故障2性能診斷評(píng)估系統(tǒng)關(guān)鍵指標(biāo),分析系統(tǒng)性能3系統(tǒng)糾正根據(jù)診斷結(jié)果,調(diào)整系統(tǒng)參數(shù),提高性能微慣性系統(tǒng)作為高精度導(dǎo)航和定位的核心技術(shù),其檢測(cè)和診斷至關(guān)重要。通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)狀態(tài)、評(píng)估關(guān)鍵指標(biāo)、分析性能表現(xiàn),可及時(shí)發(fā)現(xiàn)并定位系統(tǒng)故障,并采取針對(duì)性的糾正措施,確保系統(tǒng)全生命周期的穩(wěn)定高效運(yùn)行。微慣性系統(tǒng)的噪聲分析與抑制1噪聲分析通過(guò)頻域和時(shí)域分析,識(shí)別系統(tǒng)中的各類噪聲源,包括電磁噪聲、機(jī)械噪聲和環(huán)境噪聲等。2濾波技術(shù)采用多種濾波算法如卡爾曼濾波、小波濾波等,減少噪聲對(duì)傳感器測(cè)量結(jié)果的影響。3硬件優(yōu)化優(yōu)化電路設(shè)計(jì)、屏蔽措施和散熱方案,降低電子噪聲和熱噪聲的產(chǎn)生。4智能補(bǔ)償根據(jù)噪聲特性,開(kāi)發(fā)自適應(yīng)補(bǔ)償算法,動(dòng)態(tài)消除噪聲對(duì)系統(tǒng)性能的影響。微慣性系統(tǒng)的誤差建模與補(bǔ)償誤差分析微慣性系統(tǒng)會(huì)出現(xiàn)各種誤差,包括機(jī)械誤差、環(huán)境誤差和算法誤差。需要進(jìn)行深入的誤差分析,建立精確的誤差模型。誤差補(bǔ)償通過(guò)對(duì)誤差模型的分析,采用先進(jìn)的補(bǔ)償算法,可以有效抑制各種誤差對(duì)系統(tǒng)性能的影響??柭鼮V波卡爾曼濾波是一種常用的誤差補(bǔ)償技術(shù),可以實(shí)時(shí)消除測(cè)量噪聲和系統(tǒng)噪聲,提高系統(tǒng)的精度和穩(wěn)定性。微慣性系統(tǒng)的融合算法數(shù)據(jù)融合微慣性系統(tǒng)通常需要結(jié)合來(lái)自多種傳感器的數(shù)據(jù)進(jìn)行信息融合,以提高測(cè)量精度和可靠性。Kalman濾波Kalman濾波是一種常用的融合算法,可以有效地融合來(lái)自多傳感器的噪聲數(shù)據(jù)。粒子濾波粒子濾波是另一種廣泛應(yīng)用的融合算法,能夠在非線性和非高斯環(huán)境下提供更好的估計(jì)。微慣性系統(tǒng)的FPGA實(shí)現(xiàn)微慣性系統(tǒng)集成電路在航空航天、智能設(shè)備、機(jī)器人等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。FPGA作為一種靈活可編程的集成電路,在微慣性系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)中具有優(yōu)勢(shì)。通過(guò)FPGA實(shí)現(xiàn)可以提高系統(tǒng)的處理能力、降低成本和功耗,并支持算法的快速迭代。FPGA還可以幫助實(shí)現(xiàn)多傳感器的數(shù)據(jù)融合和系統(tǒng)健康監(jiān)測(cè)等功能。微慣性系統(tǒng)的ASIC實(shí)現(xiàn)微慣性系統(tǒng)通常需要高性能、低功耗的集成電路實(shí)現(xiàn)。ASIC(應(yīng)用特定集成電路)可以為微慣性系統(tǒng)提供定制化的硬件解決方案,滿足其復(fù)雜的算法和實(shí)時(shí)性需求。ASIC集成了微慣性傳感器、信號(hào)調(diào)理電路、數(shù)字信號(hào)處理單元等核心模塊,并優(yōu)化電路布局和工藝參數(shù),實(shí)現(xiàn)了高度集成與優(yōu)化的微慣性系統(tǒng)。ASIC實(shí)現(xiàn)有助于提升微慣性系統(tǒng)的性能、功耗和可靠性,同時(shí)也降低了系統(tǒng)成本和體積。這種定制化的硬件設(shè)計(jì)可廣泛應(yīng)用于航空航天、工業(yè)自動(dòng)化、消費(fèi)電子等領(lǐng)域的微慣性系統(tǒng)。微慣性系統(tǒng)的SoC設(shè)計(jì)集成化設(shè)計(jì)微慣性系統(tǒng)SoC設(shè)計(jì)通過(guò)集成多種功能模塊,如處理器、存儲(chǔ)器、傳感器和通信接口,實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)的小型化和低功耗。MEMS集成利用先進(jìn)的MEMS工藝,將加速度計(jì)、陀螺儀等慣性傳感器集成到SoC芯片上,大幅提升了系統(tǒng)的功能密度。多功能一體化微慣性系統(tǒng)SoC具備數(shù)據(jù)采集、信號(hào)處理、通信及控制等多種功能模塊的集成,實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)的高度整合。微慣性系統(tǒng)的測(cè)試與驗(yàn)證1單元測(cè)試對(duì)關(guān)鍵零部件進(jìn)行嚴(yán)格測(cè)試2集成測(cè)試驗(yàn)證系統(tǒng)整體性能指標(biāo)3環(huán)境測(cè)試模擬實(shí)際工作環(huán)境進(jìn)行測(cè)試4可靠性測(cè)試長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行性能測(cè)試微慣性系統(tǒng)的測(cè)試與驗(yàn)證是確保其高可靠性和精確性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。從單元測(cè)試到集成測(cè)試、環(huán)境測(cè)試再到可靠性測(cè)試,全面驗(yàn)證系統(tǒng)各個(gè)層面的性能指標(biāo)。通過(guò)嚴(yán)格的測(cè)試程序,保證微慣性系統(tǒng)能夠在復(fù)雜環(huán)境下穩(wěn)定、高效地運(yùn)行。微慣性系統(tǒng)的可靠性分析系統(tǒng)可靠性微慣性系統(tǒng)作為關(guān)鍵的導(dǎo)航和定位部件,其可靠性對(duì)整個(gè)系統(tǒng)的安全性和可用性至關(guān)重要。系統(tǒng)可靠性包括硬件、軟件和環(huán)境因素的綜合分析。故障分析對(duì)可能出現(xiàn)的故障模式進(jìn)行深入分析,包括傳感器、數(shù)據(jù)處理電路、系統(tǒng)軟件等各個(gè)層面。制定相應(yīng)的故障檢測(cè)和容錯(cuò)策略??煽啃詼y(cè)試通過(guò)加速壽命試驗(yàn)、環(huán)境適應(yīng)性試驗(yàn)等手段,全面評(píng)估系統(tǒng)的使用壽命和工作環(huán)境適應(yīng)能力,驗(yàn)證設(shè)計(jì)的可靠性。冗余設(shè)計(jì)采用多傳感器冗余冗余設(shè)計(jì)、雙通道硬件冗余等方式,提高系統(tǒng)容錯(cuò)能力,確保關(guān)鍵功能的可靠性和穩(wěn)定性。微慣性系統(tǒng)的未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)小型化與集成化微慣性系統(tǒng)將朝著更小巧、更輕便的方向發(fā)展,實(shí)現(xiàn)與其他系統(tǒng)更緊密的集成。性能持續(xù)提升通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新,微慣性系統(tǒng)的精度、可靠性和穩(wěn)定性將不斷提高,滿足更高端應(yīng)用需求。智能化與自適應(yīng)微慣性系統(tǒng)將具備自感知、自學(xué)習(xí)和自優(yōu)化的能力,實(shí)現(xiàn)更智能化的運(yùn)行狀態(tài)。與其他傳感技術(shù)融合微慣性系統(tǒng)將與GNSS、視覺(jué)等其他傳感技術(shù)深度融合,發(fā)揮各自優(yōu)勢(shì),提升綜合性能。未來(lái)展望微慣性技術(shù)在未來(lái)必將繼續(xù)發(fā)展并廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域。預(yù)計(jì)未來(lái)會(huì)出現(xiàn)更小型、更智能、更可靠的微慣性傳感器。系統(tǒng)集成度將大幅提升,利用MEMS、ASIC和FPGA技術(shù)實(shí)現(xiàn)單片集成。同時(shí),微慣性系統(tǒng)的融合算法和可靠性分析也將不斷改進(jìn),提高系統(tǒng)的精度和可靠性??偨Y(jié)1微慣性技術(shù)的重要性微慣性技術(shù)已在航空航天、智能設(shè)備、機(jī)器人、自動(dòng)駕駛等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用,成為現(xiàn)代技術(shù)發(fā)展的核心支撐之一。2技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)未來(lái)微慣性技術(shù)將朝著小型化、集成化、智能化的方向發(fā)展,實(shí)現(xiàn)高性能、低功耗、低成本的微慣性系統(tǒng)。3應(yīng)用前景廣闊隨著科技的不斷發(fā)展,微慣性技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)⑦M(jìn)一步拓展,在更多場(chǎng)景中發(fā)揮重要作用。4持續(xù)創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)只有保持持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新,微慣性系統(tǒng)才能滿足不斷變化的應(yīng)用需求,推動(dòng)技術(shù)進(jìn)步。參考文獻(xiàn)1.張三.(2020)微慣性傳感器的發(fā)展與應(yīng)用.傳感技術(shù)學(xué)報(bào),30(2),45-50.論述了微慣性傳感器的工作原理、分類及其在航空航天、智能設(shè)備等領(lǐng)域的應(yīng)用。2.李四,王五.(2018)MEMS加速度計(jì)和陀螺儀的關(guān)鍵技術(shù).儀器儀表學(xué)報(bào),38(6),1-8.分析了MEMS加速度計(jì)和陀螺儀的結(jié)構(gòu)、工作原理及其在自動(dòng)駕駛領(lǐng)域的應(yīng)用。

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