《硅多晶還原爐用氮化硅制品》

2YS/TXXXX-XXXX硅多晶還原爐用氮化硅制品本文件規(guī)定了硅多晶還原爐用氮化硅制品的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存、隨行文件及訂貨單內容。本文件適用于氣壓燒結、無壓燒結工藝制備的氮化硅制品的測試、檢驗和評價。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T2828.1計數(shù)抽樣檢驗程序第1部分：按接收質量限（AQL）檢索的逐批檢驗抽樣計劃GB/T5593電子元器件結構陶瓷材料GB/T5594.5電子元器件結構陶瓷材料性能測試方法體積電阻率測試方法GB/T6569精細陶瓷彎曲強度試驗方法GB/T10610產品幾何技術規(guī)范(GPS)表面結構輪廓法評定表面結構的規(guī)則和方法GB/T10623金屬材料力學性能試驗術語GB/T14264半導體材料術語GB/T15463靜電安全術語GB/T16534精細陶瓷室溫硬度試驗方法GB/T16535精細陶瓷線熱膨脹系數(shù)試驗方法頂桿法GB/T17991精細陶瓷術語GB/T23806精細陶瓷斷裂韌性試驗方法單邊預裂紋梁(SEPB)法GB/T24582多晶硅表金屬雜質含量的測定酸浸取-電感耦合等離子體質譜法GB/T25995精細陶瓷密度和顯氣孔率試驗方法GB/T31838.2固體絕緣材料介電和電阻特性第2部分：電阻特性(DC方法)體積電阻和體積電阻率3術語和定義GB/T10623、GB/T14264、GB/T15463和GB/T17991界定的術語和定義適用于本文件。4分類硅多晶還原爐用氮化硅制品按用途分為氮化硅絕緣環(huán)、氮化硅尾氣罩和氮化硅噴嘴。5技術要求3YS/TXXXX—XXXX5.1理化性能硅多晶還原爐用氮化硅制品的理化性能要求見表1。表1理化性能>10>10%5.2尺寸硅多晶還原爐用氮化硅制品應按圖紙要求加工，典型的氮化硅絕緣環(huán)見圖1，典型的氮化硅尾氣罩見圖2，典型的氮化硅噴嘴見圖3。4YS/TXXXX-XXXX圖1氮化硅陶瓷絕緣環(huán)圖2氮化硅陶瓷尾氣罩5YS/TXXXX—XXXX圖3氮化硅噴嘴5.3外觀質量硅多晶還原爐用氮化硅制品為色澤均勻的黑色或深灰色結構件，無肉眼可見裂紋，無尺寸大于5mm的斑點，每平方厘米上小于5mm的斑點數(shù)量應不大于2個，崩缺尺寸應不大于2mm。6試驗方法6.1硅多晶還原爐用氮化硅制品密度的檢驗按GB/T25995規(guī)定的方法進行。6.2硅多晶還原爐用氮化硅制品三點抗彎強度的檢驗按GB/T6569規(guī)定的方法進行。6.3硅多晶還原爐用氮化硅制品體積電阻率的檢驗按GB/T5594.5規(guī)定的方法進行。6.4硅多晶還原爐用氮化硅制品擊穿強度的檢驗按GB/T5593規(guī)定的方法進行。6.5硅多晶還原爐用氮化硅制品線膨脹系數(shù)的檢驗按GB/T16535規(guī)定的方法進行。6.6硅多晶還原爐用氮化硅制品維氏硬度法的檢驗按GB/T16534規(guī)定的方法進行。6.7硅多晶還原爐用氮化硅制品斷裂韌性的檢驗按GB/T23806規(guī)定的方法進行。6.8硅多晶還原爐用氮化硅制品表面粗糙度的檢驗按GB/T10610規(guī)定的方法進行。6.9硅多晶還原爐用氮化硅制品的尺寸采用精度為0.01mm的游標卡尺進行檢驗。6.10硅多晶還原爐用氮化硅制品表面雜質含量的檢驗按GB/T24582規(guī)定的方法進行。6YS/TXXXX-XXXX6.11硅多晶還原爐用氮化硅制品的色澤、裂紋和斑點在光線良好的環(huán)境下目視檢驗，崩缺尺寸采用精度為0.01mm的游標卡尺進行檢驗。7檢驗規(guī)則7.1檢查和驗收7.1.1產品由供方或第三方進行檢驗，保證產品質量符合本標準及訂貨單的規(guī)定，并填寫隨行文件。7.1.2需方可對收到的產品按本文件或訂貨單的規(guī)定進行檢驗，如檢驗結果與本文件或訂貨單的規(guī)定不符時，應在收到產品之日起3個月內向供方提出，由供需雙方協(xié)商確定。7.2組批產品應成批提交驗收，每批應由同一原料、同一工藝、同一用途的產品組成。7.3檢驗項目每批產品應對理化性能、外觀質量進行檢驗。7.4取樣每批產品項目檢測按GB/T2828.1—2012一般檢查水平Ⅱ,正常檢查一次抽樣方案進行，或按供需雙方協(xié)商的抽樣方案進行。7.5檢驗結果的判定產品檢驗項目的接收質量限（AQL）應符合表2的規(guī)定。表2檢驗項目及接收質量限123458標志、包裝、運輸、貯存和隨行文件8.1標志包裝箱外應至少注明以下內容：a)供方名稱；b)產品名稱；c)批號、規(guī)格型號；d)數(shù)量；e)“小心輕放”、“易碎品”、“勿摔勿壓”、“防潮”、“向上”等字樣。8.2包裝7YS/TXXXX—XXXX產品裝入潔凈的聚乙烯氣泡包裝袋內，雙層包裹后再將包裝袋裝入包裝箱內。包裝時應防止聚乙烯包裝袋破損，以避免產品外來沾污。8.3運輸產品運輸時應防止雨淋潮濕，不允許劇烈碰撞。8.4貯存產品應存放于干燥、潔凈環(huán)境中，堆放高度應避免產品的外包裝變形和垮塌。8.5隨行文件每批產品應附有隨行文件，其中除應包括供方信息、產品信息、本文件編號、出廠日期或包裝日期外，還宜包括：a）產品質量證明書，包括以下內容：——檢驗項目及其結果；——批量或批號；——檢驗日期；——檢驗員簽名及印章。b)產品質量控制過程中的檢驗報告及成品檢驗報告；c)產品使用