《分布式薄膜壓力傳感器技術(shù)規(guī)范》

ICS31.040

CCSL15

團體標準

T/CESXXXX—202X

分布式薄膜壓力傳感器技術(shù)規(guī)范

Technicalspecificationofdistributedthinfilmpressuresensor

202X-XX-XX發(fā)布202X-XX-XX實施

中國電工技術(shù)學會??發(fā)布

T/CESXXXX—202X

分布式薄膜壓力傳感器技術(shù)規(guī)范

1范圍

本文件規(guī)定了分布式薄膜壓力傳感器的型號、結(jié)構(gòu)、參數(shù)、基本要求、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗

規(guī)則。

本文件適用于分布式薄膜壓力傳感器（以下簡稱“傳感器”）的生產(chǎn)、檢驗活動。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB/T191包裝儲運圖示標志

GB/T2423.5環(huán)境試驗第2部分：試驗方法試驗Ea和導則：沖擊

GB/T2828.1計數(shù)抽樣檢驗程序第1部分：按接收質(zhì)量限(AQL)檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T7665傳感器通用術(shù)語

GB/T13384機電產(chǎn)品包裝通用技術(shù)條件

GB/T15478—2015壓力傳感器性能試驗方法

GB/T17626.2電磁兼容試驗和測量技術(shù)靜電放電抗擾度試驗

GB/T17626.3電磁兼容試驗和測量技術(shù)射頻電磁場輻射抗擾度試驗

GB/T17626.9電磁兼容試驗和測量技術(shù)脈沖磁場抗擾度試驗

GB/T18806—2002電阻應變式壓力傳感器總規(guī)范

3術(shù)語和定義

GB/T7665界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。

分布式distributedpattern

傳感器系統(tǒng)的多個傳感器單元均勻分布在測量區(qū)域的不同位置上，每個單元都是一個獨立的感測點，

用于測量相應位置的壓力。

薄膜壓力傳感器thinfilmpressuresensor

采用薄膜制造工藝，將薄膜電阻制作在彈性元件上組成的壓力傳感器。

準確度accuracy

在整個壓力范圍和溫度范圍內(nèi)，由各種誤差源，例如：滯后性、重復性等，引起的實際輸出值與標

稱值之間的最大偏差與滿量程的百分比。

滯后性hysteresis

在規(guī)定的壓力范圍內(nèi)，在規(guī)定的供電電壓或電流下，輸出電壓的最大和最小值與滿量程輸出電壓的

百分比。

4型號

1

T/CESXXXX—202X

型號編制

4.1.1傳感器型號由主稱、序號組成。

CN

序號（主特征、參數(shù)）

主稱（薄膜壓力傳感器）

4.1.2主稱（薄膜壓力傳感器）使用漢語拼音字母“CN”標記。

4.1.3序號使用阿拉伯數(shù)字標記，表征感測區(qū)的尺寸參數(shù)。

型號示例

感測區(qū)長120mm，寬110mm的薄膜壓力傳感器，其型號標記為：CN1211。

5結(jié)構(gòu)

傳感器內(nèi)部宜采用多層結(jié)構(gòu)。最核心的兩層宜為行列交織的網(wǎng)格化壓阻半導體基材，外層宜依次分

布走線層和保護層，參見圖1。

標引序號說明：

1——保護層；

2——膠水層；

3——絕緣層；

4——壓敏層；

5——電極層。

圖1結(jié)構(gòu)示意圖

6參數(shù)

產(chǎn)品的基本參數(shù)應符合表1的規(guī)定。

2

T/CESXXXX—202X

表1基本參數(shù)

項目參數(shù)

厚度0.08mm～0.3mm

傳感器點數(shù)（單通道）≤2288個

傳感器最大行列數(shù)（單通道）52行，44列

量程3psi～10000psi

工作溫度-40℃～﹢60℃

絕緣電阻≥1000MΩ

7基本要求

設計研發(fā)

7.1.1應根據(jù)客戶要求繪制所需網(wǎng)版圖紙。網(wǎng)版圖案應清晰，設計的感測點密度和感測面積應滿足客

戶需求。

7.1.2宜采用計算機輔助軟件對傳感器的生產(chǎn)運行參數(shù)進行分析。

工藝裝備

7.2.1應具備自動印刷機、烘箱、滾輪等生產(chǎn)設備。

7.2.2傳感器形狀裁切應采用尋邊裁切機進行，裁切精度應達到0.5mm。

檢驗檢測

應配備讀數(shù)記錄裝置等試驗設備，具備對傳感器性能的檢測能力。

8技術(shù)要求

外觀要求

8.1.1傳感器應符合本文件的要求，并按照經(jīng)規(guī)定程序批準的工藝及技術(shù)文件制造。

8.1.2傳感器表面應干凈整潔，無明顯油污、色漬、劃痕等缺陷。

8.1.3傳感器切邊應平整光滑，無破損、毛刺、溢膠等不良現(xiàn)象。

8.1.4傳感器應貼合緊密，層間無空隙，貼合位置無偏差。

8.1.5標識文字應印刷清晰，內(nèi)容完整、無殘缺。

尺寸偏差

感應器實際尺寸與標示尺寸相符，允許偏差為±0.5mm。如有特殊要求，可根據(jù)顧客要求而定。

性能要求

8.3.1準確度

傳感器的準確度等級及基本誤差應符合表2的規(guī)定。

3

T/CESXXXX—202X

表2準確度等級及基本誤差

準確度等級基本誤差

0.02±0.02

0.05±0.05

0.1±0.1

0.2±0.2

0.3±0.3

0.5±0.5

1.0±1.0

2.0±2.0

注：誤差以滿量程輸出的百分數(shù)表示。

8.3.2線性誤差

傳感器的線性誤差應不大于±5%。

8.3.3重復性

傳感器應給出滿量程重復性指標，選取至少5個能覆蓋滿量程的檢測點進行檢測，測量所得的傳

感器重復性應不大于±2.5%。

8.3.4滯后性

應在傳感器的測量范圍內(nèi)，對傳感器依次施加從小到大的壓力，到達滿量程后，壓力由大變小，檢

測同一壓力下在上升和下降時的輸出電壓的最大差值。壓力遲滯值應不大于±4.5%。

電磁兼容性

8.4.1靜電放電抗擾度

傳感器應能承受GB/T17626.2等級為4級的靜電放電試驗。在試驗期間及試驗后，傳感器應能

正常工作。

8.4.2射頻電磁場輻射抗擾度

傳感器應能承受GB/T17626.3等級為4級的輻射電磁場干擾試驗。在試驗期間及試驗后,傳感器

應能正常工作。

8.4.3脈沖磁場抗擾度

傳感器應能承受GB/T17626.9等級為5級的脈沖磁場擾試驗。在試驗期間及試驗后，傳感器應

能正常工作。

抗沖擊性能

傳感器應能承受峰值加速度30g，持續(xù)時間18ms的沖擊試驗。在試驗期間及試驗后，傳感器應

能正常工作。

9試驗方法

環(huán)境條件

9.1.1試驗的環(huán)境條件應符合以下要求：

a)環(huán)境溫度：15℃±35℃；

b)相對濕度：30%～85%；

c)大氣壓力：86kPa～106kPa。

9.1.2在每項實驗過程中，溫度變化率不應超過1℃/h。

4

T/CESXXXX—202X

一般規(guī)定

9.2.1證書文件

試驗所用的主要儀器設備和計量器具應具有計量/校準技術(shù)機構(gòu)簽發(fā)的有效期內(nèi)的檢定證書或校準

證書，以保證其量值能夠溯源到國家基準。

9.2.2試驗前靜置

試驗前，被試傳感器應在試驗環(huán)境條件下放置，放置時間應不小于1h。放置時間也可按傳感器的

詳細規(guī)范規(guī)定進行。

9.2.3試驗前預熱

試驗前，被試傳感器及其相連接的測試儀器等應通電預熱，預熱時間應不小于0.5h。預熱時間也

可按傳感器的詳細規(guī)范規(guī)定進行。

9.2.4連接

被試傳感器應根據(jù)具體試驗項目，按相關(guān)標準或詳細規(guī)范的規(guī)定與讀數(shù)裝置等實驗裝置進行連接。

9.2.5安裝

被試傳感器應按實驗要求和詳細規(guī)范的規(guī)定安裝在試驗裝置上。

外觀要求

操作者應具備正常視力和顏色分辨力，并選擇在有利的觀察距離和適當?shù)恼斩认逻M行，以目測、手

觸進行檢驗。

尺寸偏差

用標準的通用量具進行測量，量具精度應不大于0.1mm。

性能要求

9.5.1準確度

按GB/T15478的規(guī)定進行。

9.5.2線性誤差

按GB/T18806—20027.4.3的規(guī)定進行。

9.5.3重復性

按GB/T15478—20155.4.2.6的規(guī)定進行。

9.5.4滯后性

按GB/T15478—20155.4.2.5的規(guī)定進行。

電磁兼容性

9.6.1靜電放電抗擾度

按GB/T17626.2的規(guī)定進行。

9.6.2射頻電磁場輻射抗擾度

按GB/T17626.3的規(guī)定進行。

9.6.3脈沖磁場抗擾度

5

T/CESXXXX—202X

按GB/T17626.9的規(guī)定進行。

抗沖擊性能

按GB/T2423.5的規(guī)定進行。

10檢驗規(guī)則

檢驗分類

產(chǎn)品檢驗分為型式檢驗和出廠檢驗。

組批

以同一工藝、同一原輔材料生產(chǎn)的同一規(guī)格產(chǎn)品為一組批。

出廠檢驗

10.3.1產(chǎn)品出廠需經(jīng)生產(chǎn)廠檢驗部門逐批檢驗合格，方能出廠。

10.3.2出廠檢驗項目包括本文件中的外觀要求、尺寸偏差的所有項目。

10.3.3出廠檢驗應進行全數(shù)檢驗，因批量大，進行全數(shù)檢驗有困難時可實行抽樣檢驗，抽樣檢驗方法

GB/T2828.1計數(shù)抽樣檢驗程序一次性抽樣方案的規(guī)定進行，檢驗水平為Ⅱ。接收質(zhì)量限(AQL)取6.5；

根據(jù)表3抽取樣本。

表3抽樣數(shù)量及判定組

批量范圍樣本數(shù)接收數(shù)（Ac)拒收數(shù)（Re）

26～50812

51～901323

91～1502034

151～2803256

281～5005078

501～1200801011

1201～32001251415

≥320120021