激光器和激光相關設備 角分辨散射的試驗方法 征求意見稿

1激光器和激光相關設備角分辨散射的測試方法本文件適用于光學元件（如鍍膜或未鍍膜的光學元件ΔΩsARS(θ(θ,φs)P方向的輻射功率ΔPΔΩsΔΩs:注：用ARS除以cosθs可將ARS變換為雙向反射、透射或散射分布函數(shù)，BRDF、BTDF或BSDF（fr2漫反射標準板（diffusereflectancestand4符號和縮略語f%ΔΩsPiφθiθrθs散射輻射功率—在某些應用中，將原點放置在其他位置可能是有用的，例如在樣品中。31——待測樣品θi——入2——入射光束θs——極散射角3——鏡面反射光束注：鏡面反射角(θr）等于入射角(θi）。外，應定義并記錄樣品的方位角。入射方向和表面法線定ARS測量儀器的基本工作原理(見圖2)是基于測量樣品散射的輻射功率來描述。在即將修訂的版本中，這將改為符號σTS。）或內的一個確定的軌跡進行掃描。最簡單的測量4背反射，并放置在空間濾波器之前，以及適當?shù)臋z測器，最好與實際的散射探測器相極管、窄帶或寬帶光源都可用作輻射源。應記錄所輻射源的輻射功率隨時間的變化應予以測量和記錄，包括長期漂移和短期波動。小于5%使用一種基于中性密度濾波器或其他方法組合的衰減器來調整入射輻提是儀器特征，特別是在接近鏡面方向的散射角處，5位時，鏡面反射或正常透射的光束應聚焦在探測器孔如果使用球面反射鏡，入射角應盡可能小，以減少可能嚴重影響近鏡面區(qū)域儀器本單自由度的儀器允許在一個平面（通常是入射平面）內進行掃描。這些測量被稱為“平面內ARS散射角的范圍應予以記錄。通過說明最小和最大散射角以及步長可保持恒定的步長。ARS測量”或“平面外ARS測量”。散射角的步長應足夠小，使得在兩個連續(xù)的測量位置由探測器孔徑覆蓋的立6鏡)，使探測器前方的入射輻射均勻化，或抑制通過不需要的路徑到達探測器的雜散輻散射的輻射并將其傳輸?shù)酵獠刻綔y器。光譜靈敏度和時間特性應與輻射源的特性相匹配。如果使用多元件探測器而不使用成像系統(tǒng)（物鏡則定義探測器立體角的孔徑對應于每個元件的將定義探測的立體角。通常這將是空間點擴散b)應優(yōu)化處理和測量程序，使樣品暴露在試驗環(huán)境中的時間最短；c)相對濕度應高于40%，低于%7σTS可以通過3.3中的公式得到。一個具有小但有限孔徑的探測器對樣品進行掃描，對準對于測量的準確性至關重要，包括儀器本身以及樣品在內的實驗裝置的對必須確保軸對準（見7.2.2）保持準確。應調整樣品的位置，使入射根據(jù)定義，只要知道散射輻射功率與入射輻射功率的比值和探測器的立體角，就可以測量A8當探測器孔徑直徑遠小于探測器與樣品之間的距離時，r為探測器孔徑與樣品之間的距離。如果測得的探測器信號為電壓，則記錄散射輻射對應的探測器,φs)=cVs(θs,φs)應記錄探測器的立體角，包括如何確定及其相關測量不確定度9可以通過儀器本征估算，通常是指ARS最低區(qū)域的儀器本征的平均值。動態(tài)在分析樣本的ARS數(shù)據(jù)時，應將測量儀器本征記錄下來并加以考慮。樣品相對于照明光束或坐標原點的橫向位置應根據(jù)規(guī)格和表征任務進行選—最大ARSf，即TS值最大的ARS曲線;—平均ARSf由公式（9）計算得到：入射角和偏振條件應根據(jù)說明書及要求進行調整并φ達率的不確定性和電子發(fā)射概率引起的暗電流的散粒噪聲。這些可擬或兩種方法的結合，可以對測量不確定度進行更詳細的—θs(?1)：作為所選入射角和散射角函數(shù)的ARS測量[2]ISO128-34,Technicaldrawings-Generalprinciplesof[3]ISO128-40,Tec[4]ISO128-44,Technicaldrawingsmechanicalengineeringdrawings[6]ISO10241,Internationalt[7]ISO12005,Lasersandlaser-r[8]ISO13694,Opticsandphotonicpower（energy）densitydistribution[10]ISO80000（allp[11]ISO/IEC/TR10000-1,Informationtechnology-FrameworkandStandardizedProfiles-Part1:Generalprin[12]ISO/IECGuide98-3,Uncertaintyofmeasurement-Part3:Guidetotheexpressionofuncertainty[13]IEC60027（allparts）,Lettersymbolstobeusedinelectric[14]VONFINCKA.etalmeasurement,"Appl.Opt.