半導(dǎo)體制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物（PFA）閥門技術(shù)規(guī)范（征求意見稿）_第1頁
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文檔簡介

1劃GB/T10610產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法評定GB/T17213.9工業(yè)過程控制SEMIF57-2001用于超純水和液體化學(xué)分配系統(tǒng)的聚合物組件的臨時規(guī)范（Provisional3.1PFA閥門在5℃~120℃溫度下應(yīng)能正常工作。5.2壁厚及公差232436486815.4壓力5.5流通能力24695.7耐振性5.8耐腐蝕性337%28%49%69%40%40%5.9制造5.10啟閉性能6.2壁厚及公差6.3長度及偏差6.4壓力6.5流通能力6.6氣密性在-1℃~1℃下對閥門進(jìn)行預(yù)處理后，在水平1m處使閥門自由下落，目視檢查。6.8耐腐蝕性46.9制造6.10啟閉性能7.3.3抽樣方式按GB/T2828.水平為Ⅱ,接收質(zhì)量限（AQL）取6.5。58.2.1應(yīng)單個包裝，內(nèi)包裝用聚乙烯薄膜袋封裝，外包裝為紙盒或木制小盒，內(nèi)外包裝之間應(yīng)有填充8.3.1PFA閥門兩端應(yīng)用盲板保護(hù)法蘭密封8.4貯存8.4.1隔膜閥的啟閉件應(yīng)處于關(guān)閉狀態(tài)，但不可關(guān)閉過緊，以防隔膜因長時間受壓而失去彈性以致影

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