GB/T 45130-2025氧化鋅鋁靶材

ICS7715060

CCSH.62.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T45130—2025

氧化鋅鋁靶材

Zinc-aluminumoxidetarget

2025-01-24發(fā)布2025-08-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T45130—2025

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專(zhuān)利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專(zhuān)利的責(zé)任

。。

本文件由中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出

。

本文件由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC243)。

本文件起草單位先導(dǎo)電子科技股份有限公司深圳市中金嶺南有色金屬股份有限公司株洲火炬

:、、

安泰新材料有限公司蕪湖映日科技股份有限公司成都中建材光電材料有限公司深圳市中金嶺南有

、、、

色金屬股份有限公司韶關(guān)冶煉廠廣東歐萊高新材料股份有限公司河北恒博新材料科技股份有限公

、、

司福建阿石創(chuàng)新材料股份有限公司中山智隆新材料科技有限公司上海大學(xué)廣東先導(dǎo)稀材股份有限

、、、、

公司

。

本文件主要起草人余芳童培云朱贊芳楊平蔣少英曾墩風(fēng)周毅蔡正明李慶豐陳文麟

:、、、、、、、、、、

葛春橋李喜峰朱劉高敏沂左鴻毅劉慧明王志強(qiáng)李佳宣李鵬駱勝磊陳欽忠李強(qiáng)張建華

、、、、、、、、、、、、、

張科曾平生師世龍王凱凱朱永峰

、、、、。

Ⅰ

GB/T45130—2025

氧化鋅鋁靶材

1范圍

本文件規(guī)定了氧化鋅鋁靶材以下簡(jiǎn)稱(chēng)靶材的分類(lèi)技術(shù)要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則標(biāo)志

(“AZO”)、、、、、

包裝運(yùn)輸貯存和隨行文件及訂貨單內(nèi)容

、、。

本文件適用于由和粉末按照一定比例混合以常壓燒結(jié)工藝生產(chǎn)的氧化鋅鋁靶材用

ZnOAl2O3,,

于薄膜太陽(yáng)能電池鍍膜和建筑節(jié)能玻璃鍍膜

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

硅單晶電阻率的測(cè)定直排四探針?lè)ê椭绷鲀商结樂(lè)?/p>

GB/T1551

致密燒結(jié)金屬材料與硬質(zhì)合金密度測(cè)定方法

GB/T3850

精細(xì)陶瓷彎曲強(qiáng)度試驗(yàn)方法

GB/T6569

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

金屬顯微組織檢驗(yàn)方法

GB/T13298

鉆孔應(yīng)變法測(cè)量殘余應(yīng)力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法

SL499

濺射靶材背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗(yàn)方法

YS/T837-

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

。

31

.

表觀密度apparentdensity

每單位體積物質(zhì)的質(zhì)量

。

32

.

相對(duì)密度relativedensity

表觀密度與理論密度的比值

。

注靶材質(zhì)量比mm時(shí)靶材理論密度以3計(jì)算

:AZO(ZnO)∶(Al2O3)=98∶2,AZO5.57g/cm。

4分類(lèi)

靶材按形狀分為平面靶和管狀靶