甘肅索通綠能碳化硅單晶片及碳碳復(fù)合材料項(xiàng)目報(bào)告書

甘肅索通綠能碳材料有限公司碳化硅單晶片及碳/碳復(fù)合材料項(xiàng)目表2.2-1碳化硅單晶片項(xiàng)目產(chǎn)排污環(huán)節(jié)分析匯總一覽表類別產(chǎn)污環(huán)節(jié)主要污染物治理措施排污環(huán)節(jié)來源（工序、裝置）編號(hào)名稱編號(hào)廢氣原料混合廢氣G1-1顆粒物集氣罩+布袋除塵+15m排氣筒原料混合廢氣DA001碳化硅合成廢氣G1-2顆粒物碳化硅合成廢氣單晶生長(zhǎng)廢氣G1-3顆粒物集氣罩+布袋除塵+15m排氣筒單晶生長(zhǎng)廢氣DA002晶片清洗廢氣G1-4含酸廢氣（硫酸霧、氯化氫、氟化物）、乙醇（非甲烷總烴）集氣罩+堿液吸收塔+15m煙囪晶片清洗廢氣DA003碳化硅合成車間無組織顆粒物密閉車間、加強(qiáng)通風(fēng)//單晶生長(zhǎng)車間晶片加工車間含酸廢氣（硫酸霧、氯化氫、氟化物）、乙醇（非甲烷總烴）廢水碳化硅合成冷卻水W1-1COD、SS等依托綠碳廠區(qū)污水處理站處理，采用“反應(yīng)、氣浮、過濾、活性炭吸附”處理工藝處理后回用。/不外排晶體生長(zhǎng)冷卻水W1-2COD、SS等晶片定向滾圓廢水W1-3COD、SS、石油類等經(jīng)廠區(qū)廢水處理設(shè)施，采用“中和、絮凝沉淀”工藝處理后，進(jìn)入綠碳廠區(qū)污水處理站處理，回用于循環(huán)冷卻系統(tǒng)補(bǔ)充用水切割倒角廢廢水W1-4COD、SS、石油類等研磨廢水W1-5COD、SS、石油類等拋光廢水W1-6COD、SS、石油類等自動(dòng)清洗廢水W1-7COD、SS、石油類、氯化物、硫酸根、氟化物等純水制備濃水W1-8COD、SS等堿液噴淋塔廢水W1-9COD、SS等生活污水W1-10COD、SS、氨氮等排入嘉北園區(qū)生活污水管網(wǎng)，進(jìn)入園區(qū)污水處理站噪聲混料機(jī)N1-1LAeq設(shè)置操作間，安裝隔聲罩、消聲器、基礎(chǔ)處理等噪聲N1-1研磨機(jī)N1-2N1-2切割機(jī)N1-3N1-3倒角機(jī)N1-4N1-4拋光機(jī)N1-5N1-5風(fēng)機(jī)N1-6N1-6水泵N1-7N1-7固廢原料混合、合成布袋收塵S1-1返回生產(chǎn)工序收塵S1-1廢坩堝/石墨氈S1-2外售資源化利用廢坩堝/石墨氈S1-2晶體出爐不合格品S1-3外售資源化利用晶體出爐不合格品S1-3晶體生長(zhǎng)布袋收塵S1-4返回生產(chǎn)工序晶體生長(zhǎng)布袋收塵S1-4晶片加工產(chǎn)生的廢邊角料S1-5外售資源化利用廢邊角料S1-5產(chǎn)品檢驗(yàn)產(chǎn)生的不合格品S1-6外售資源化利用不合格品S1-6晶片加工廢加工液S1-7暫存于廠區(qū)危廢庫，定期交有資質(zhì)單位處理晶片加工廢加工液S1-7自動(dòng)清洗廢酸S1-8暫存于廠區(qū)危廢庫，定期交有資質(zhì)單位處理自動(dòng)清洗廢酸S1-8鍍銅鋼絲S1-9交由廠家回收利用鍍銅鋼絲S1-9廢化學(xué)原料桶S1-10暫存于廠區(qū)危廢庫，定期交有資質(zhì)單位處理廢化學(xué)原料桶S1-10廢礦物油S1-11暫存于廠區(qū)危廢庫，定期交有資質(zhì)單位處理廢礦物油S1-11純水制備廢過(膜)濾器、廢活性炭和廢離子交換樹脂S1-12交由廠家回收利用廢過(膜)濾器、廢活性炭和廢離子交換樹脂S1-12生活垃圾S1-13統(tǒng)一收集后，由市政環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一集中處置生活垃圾S1-碳/碳復(fù)合材料生產(chǎn)根據(jù)生產(chǎn)過程，分析碳/碳復(fù)合材料項(xiàng)目產(chǎn)排污環(huán)節(jié)如下:1、大氣污染源①原料預(yù)制廢氣G2-1碳纖維預(yù)制（織布、成網(wǎng)、復(fù)合針刺）過程中，會(huì)產(chǎn)生少量的粉塵，采用集氣罩+布袋除塵器處理，處理后通過1根高15m、內(nèi)徑0.3m的排氣筒（DA004）排放。②熱處理工序G2-2化學(xué)氣相沉積過程，CVD（化學(xué)氣相沉積）爐為密閉性設(shè)備，因此在原輔材料投料及開蓋時(shí)產(chǎn)生少量廢氣，主要為顆粒物、氮?dú)?、氫氣、未燃燒的天然氣以及VOCs（以非甲烷總體計(jì)）等，采用負(fù)壓收集+RTO處理，處理后主要污染物為顆粒物、SO2、NOx、以及VOCs（以非甲烷總體計(jì)），通過1根高15m、內(nèi)徑0.3m的排氣筒（DA005）排放。高溫處理時(shí)、在爐內(nèi)通入氬氣作保護(hù)氣體，設(shè)備為全密閉，僅有少量氬氣產(chǎn)生（不以污染物計(jì)）。③機(jī)加工廢氣G2-3產(chǎn)品機(jī)加工過程中，會(huì)產(chǎn)生少量粉塵，采用集氣罩+布袋除塵器處理，處理后通過1根高15m、內(nèi)徑0.3m的排氣筒（DA006）排放。2、廢水污染源碳/碳復(fù)合材料項(xiàng)目產(chǎn)生的廢水主要為：氣相沉積爐冷卻水（W2-1）、高溫爐冷卻水（W2-2）、生活污水（W2-3）等。3、固體廢物碳/碳復(fù)合材料項(xiàng)目生產(chǎn)工藝產(chǎn)生的固廢為：原料預(yù)制布袋收塵（S2-1）、氣相沉積布袋收塵（S2-2）、機(jī)加工邊角料（S2-3）、氣相沉積爐焦油（S2-4）、廢包裝袋（S2-5）以及設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的廢礦物油（S2-6）、生活垃圾（S2-7）等。4、噪聲項(xiàng)目噪聲源主要有成網(wǎng)機(jī)、針刺機(jī)、織布機(jī)、切割機(jī)、車床、風(fēng)機(jī)、水泵等設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的噪聲，噪聲源強(qiáng)為80-95dB(A)，項(xiàng)目通過低噪聲設(shè)備選型，基礎(chǔ)減振、隔音等措施以減輕噪聲對(duì)周圍環(huán)境的影響。碳/碳復(fù)合材料項(xiàng)目污染物產(chǎn)排污節(jié)點(diǎn)分析見表2.2-2表2.2-2碳/碳復(fù)合材料項(xiàng)目產(chǎn)排污環(huán)節(jié)分析匯總一覽表類別產(chǎn)污環(huán)節(jié)主要污染物治理措施排污環(huán)節(jié)來源（工序、裝置）編號(hào)名稱編號(hào)廢氣原料預(yù)制廢氣G2-1顆粒物集氣罩+布袋除塵+15m排氣筒原料預(yù)制廢氣DA004熱處理廢氣G2-2顆粒物、SO2、NOx、VOCs（以非甲烷總體計(jì)）負(fù)壓收集+RTO+15m排氣筒熱處理廢氣DA005機(jī)加工廢氣G2-3顆粒物集氣罩+布袋除塵+15m排氣筒機(jī)加工廢氣DA006預(yù)制體車間無組織顆粒物密閉車間、加強(qiáng)通風(fēng)//機(jī)加工車間熱處理車間顆粒物、SO2、NOx、VOCs（以非甲烷總體計(jì)）廢水氣相沉積爐冷卻水W2-1COD、SS等依托低碳綠碳廠區(qū)污水處理站處理，采用“反應(yīng)、氣浮、過濾、活性炭吸附”工藝處理后回用。/不外排高溫爐冷卻水W2-2COD、SS等生活污水W2-3COD、SS、氨氮等排入嘉北園區(qū)生活污水管網(wǎng)，進(jìn)入園區(qū)污水處理站噪聲成網(wǎng)機(jī)N2-1LAeq設(shè)置操作間，安裝隔聲罩、消聲器、基礎(chǔ)處理等噪聲N2-1針刺機(jī)N2-2N2-2織布機(jī)N2-3N2-3切割機(jī)N2-4N2-4車床N2-5N2-5風(fēng)機(jī)N2-6N2-6水泵N2-7N2-7固廢原料預(yù)制布袋收塵S2-1返回生產(chǎn)工序收塵灰S2-1氣相沉積布袋收塵S2-2返回生產(chǎn)工序收塵灰S2-2機(jī)加工邊角料S2-3返回生產(chǎn)工序邊角料S2-3氣相沉積爐焦油S2-4暫存于廠區(qū)危廢庫，定期交有資質(zhì)單位處理焦油S2-4廢包裝袋S2-5交由廠家回收利用廢包裝袋S2-5廢礦物油S2-6暫存于廠區(qū)危廢庫，定期交有資質(zhì)單位處理廢礦物油S2-6生活垃圾S2-7統(tǒng)一收集后，由市政環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一集中處置生活垃圾S2-72.3平衡分析2.3.1總物料平衡碳化硅單晶片材料根據(jù)前述產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析、項(xiàng)目原輔料消耗，結(jié)合產(chǎn)排污核算結(jié)果及工藝設(shè)計(jì)情況，運(yùn)用質(zhì)量守恒定理，分析核算本項(xiàng)目物料平衡。碳化硅單晶片項(xiàng)目平衡分析見表2.3-1，圖2.3-1。碳碳復(fù)合材料項(xiàng)目平衡分析見表2.3-2，圖2.3-2。表2.3-1碳化硅單晶片材料物料平衡表單位t/a投入產(chǎn)出名稱數(shù)量（t/a）比例（%）名稱數(shù)量（t/a）比例（%）高純碳粉23.82.2碳化硅晶片908.4高純硅粉124.111.6不合格品48.424.5硫酸5.80.5機(jī)加工邊角料0.740.1鹽酸1.80.2燒損5.80.5氫氟酸1.80.2混合合成、出爐廢氣2.940.3雙氧水3.50.3含酸廢氣1.4750.1乙醇7.30.7廢清洗液918.72586.0純水90084.3合計(jì)1068.11001068.1100表2.3-2碳碳復(fù)合材料物料平衡表單位t/a投入產(chǎn)出名稱數(shù)量（t/a）比例（%）名稱數(shù)量（t/a）比例（%）碳纖維14730碳碳復(fù)合材料20041.0天然氣91.1119邊角料71.4氮?dú)?3047粉塵51.0氬氣204焚燒后廢氣0.90.2未分解的天然氣18.223.7燒損6.991.4氮?dú)?3047.1氬氣204.1合計(jì)488.11100488.11100圖2.3-1碳化硅單晶片項(xiàng)目物料平衡圖單位t/a圖2.3-2碳碳復(fù)合材料項(xiàng)目物料平衡圖單位t/a2.3.2元素平衡1、氟平衡碳化硅單晶片項(xiàng)目晶片自動(dòng)清洗工序用到30%氫氟酸，用量為1.8t/a，則含氟0.513t/a。氫氟酸去向主要為廢氫氟酸和氫氟酸廢氣，氫氟酸廢氣經(jīng)堿洗塔后，生成氟化物進(jìn)入廢水中。碳化硅單晶片項(xiàng)目硫平衡分別見表2.3-3和圖2.3-3。表2.3-3氟元素平衡表單位t/a投入產(chǎn)出名稱物料量t/a含氟量%氟量t/a比例%名稱物料量t/a含氟量%氟量t/a比例%氫氟酸1.828.50.513100進(jìn)入廢液1.72725.480.4486進(jìn)入廢氣1.4750.7460.0112進(jìn)入廢水918.7250.0070.06212合計(jì)0.5131000.513100圖2.3-3氟元素平衡圖單位t/a2.3.3供排水平衡本項(xiàng)目用水主要為生產(chǎn)用水和生活用水，其中生產(chǎn)用水主要為合成爐、晶體生長(zhǎng)爐、氣相沉積爐及高溫爐循環(huán)冷卻水、晶片加工水（滾圓、切割倒角、研磨、拋光）、自動(dòng)清洗水、純水制備水、堿液噴淋水。（1）生產(chǎn)用水①循環(huán)冷卻水本項(xiàng)目生產(chǎn)過程中需對(duì)碳化硅單晶片材料生產(chǎn)中合成爐、晶體生長(zhǎng)爐，碳碳復(fù)合材料生產(chǎn)中氣相沉積爐及高溫爐進(jìn)行冷卻，本項(xiàng)目采用間接水冷卻；產(chǎn)生的設(shè)備冷卻水可循環(huán)使用不外排，僅定期補(bǔ)充少量損耗。碳化硅單晶片材料循環(huán)水冷卻水總用水量1751m3/d，其中新鮮水用量51m3/d，循環(huán)水量1700m3/d，損耗水量34m3/d，廢水排放量17m3/d。碳碳復(fù)合材料循環(huán)水冷卻水總用水量826m3/d，其中新鮮水用量26m3/d，循環(huán)水量800m3/d，損耗水量17m3/d，廢水排放量9m3/d。本項(xiàng)目循環(huán)水冷卻水總用水量2577m3/d，其中新鮮水用量77m3/d，循環(huán)水量2500m3/d，損耗水量51m3/d，回用水量26m3/d。廢水經(jīng)綠碳廠區(qū)污水處理站處理，采用“反應(yīng)、氣浮、過濾、活性炭吸附”工藝，處理后回用于循環(huán)系統(tǒng)補(bǔ)充用水。②晶片加工水碳化硅單晶片材料項(xiàng)目晶片加工水包括滾圓、切割倒角、研磨、拋光用水。a、滾圓淋洗：碳化硅晶片定向滾圓后需要用純水進(jìn)行淋洗，淋洗時(shí)間為1min/片，水流mmin淋洗300min，則用水量為3m3/d，排放系數(shù)約0.8，則廢水產(chǎn)生量約為2.4m3/d，損耗水量為0.6m3/d。b、切割、倒角清洗：碳化硅晶片切割、倒角清洗后需要用純水進(jìn)行淋洗，淋洗時(shí)間為1.2min/片，水流量為0.01m3/min，每天淋洗300min，則用水量為3.6m3/d，排放系數(shù)水產(chǎn)生量約為2.88m3/d，損耗水量為0.72m3/d。c、研磨清洗：碳化硅晶片研磨后需要用純水進(jìn)行淋洗，淋洗時(shí)間為1.2min/片，水流量為0.01m3/min，每天淋洗300min，則用水量為3.6m3/d，排放系數(shù)水產(chǎn)生量約為2.88m3/d，損耗水量為0.72m3/d。d、拋光清洗：碳化硅晶片拋光后需要用純水進(jìn)行淋洗，淋洗時(shí)間為1.2min/片，水流量為0.01m3/min，每天淋洗300min，則用水量為3.6m3/d，排放系數(shù)水產(chǎn)生量約為2.88m3/d，損耗水量為0.72m3/d。碳化硅單晶片材料項(xiàng)目晶片加工純水總用水量13.8m3/d，損耗水量2.76m3/d，廢水排放量11.04m3/d。經(jīng)廠區(qū)廢水處理設(shè)施，采用“中和、絮凝沉淀”工藝處理后，進(jìn)入綠碳廠區(qū)污水處理站處理，回用于循環(huán)冷卻系統(tǒng)補(bǔ)充用水。③自動(dòng)清洗水碳化硅晶片自動(dòng)清洗需要用純水進(jìn)行淋洗，淋洗時(shí)間為1min/片，水流量為0.02m3/min，每天淋洗300min，則用水量為6m3/d，排放系數(shù)水產(chǎn)生量約為4.8m3/d，損耗水量為1.2m3/d。經(jīng)廠區(qū)廢水處理設(shè)施，采用“中和、絮凝沉淀”工藝處理后，進(jìn)入綠碳廠區(qū)污水處理站處理，回用于循環(huán)冷卻系統(tǒng)補(bǔ)充用水。④純水制備用水本項(xiàng)目晶片加工過程中清洗以及清洗機(jī)中酸調(diào)配水、酸洗清洗水均采用純水，純水用量為19.8m3/d，純水制備率為70%，本項(xiàng)目新水量為28.29m3/d，則濃水排放量為8.49m3/d。經(jīng)廠區(qū)廢水處理設(shè)施，采用“中和、絮凝沉淀”工藝處理后，進(jìn)入綠碳廠區(qū)污水處理站處理，回用于循環(huán)冷卻系統(tǒng)補(bǔ)充用水。⑤堿液噴淋水項(xiàng)目酸洗工序配置1套堿噴淋塔處理酸霧(采用濃度10%NaOH為吸收劑)，噴淋塔循環(huán)水量為2t/h，則噴淋塔循環(huán)水量為48t/d，用水量按循環(huán)量的5%補(bǔ)充，排水量按補(bǔ)水量80%計(jì)，則本項(xiàng)目堿液噴淋塔用水量為2.4t/d，廢水產(chǎn)生量為1.92t/d。經(jīng)廠區(qū)廢水處理設(shè)施，采用“中和、絮凝沉淀”工藝處理后，進(jìn)入綠碳廠區(qū)污水處理站處理，回用于循環(huán)冷卻系統(tǒng)補(bǔ)充用水。⑥綠化用水綠化用水量12m3/d。全部蒸發(fā)損失。（2）生活用水生活用水按照80L/人·天計(jì)，全廠定員350人，用水量28m3/d。生活污水產(chǎn)生量按用水量的80%計(jì)算，則生活污水產(chǎn)生量為22.4m3/d。本項(xiàng)目水平衡表見表2.3-4，水平衡圖見圖2.3-4。表2.3-4本項(xiàng)目各工序水平衡一覽表單位m3/d序號(hào)工程用水量供水排水新水循環(huán)水回用水循環(huán)水回用水損耗排放1冷卻循環(huán)水系統(tǒng)257724.75250052.252500265102純水制備28.2928.2900024.333.9603堿液噴淋50.42.4480481.920.4804綠化121200001205生活用水282800005.622.4小計(jì)2695.6995.44254852.25254852.2573.0422.4合計(jì)2695.692695.692695.69綜上所述，項(xiàng)目總用水量2695.69m3/d（889577.7m3/a），新水用量為95.44m3/d（31495.2m3/a），循環(huán)水量2548m3/d（840840m3/a），水重復(fù)利用率為95%。圖2.3-4本項(xiàng)目水平衡圖2.4“三廢”排放分析2.4.1廢氣污染源及污染物碳化硅單晶片材料廢氣污染源及污染物1、核算依據(jù)碳化硅單晶片材料項(xiàng)目污染源強(qiáng)根據(jù)《污染源源強(qiáng)核算技術(shù)指南準(zhǔn)則》（HJ884-2018）、《環(huán)境統(tǒng)計(jì)手冊(cè)中》酸霧的產(chǎn)生公式進(jìn)行核算，本項(xiàng)目污染源源強(qiáng)核算方法主要產(chǎn)排污系數(shù)法和物料衡算法。2、有組織廢氣（1）原料混合合成廢氣G1-1、G1-2原料高純碳粉、高純硅粉在混料；合成爐裝料、出料過程中時(shí)會(huì)產(chǎn)生粉塵，根據(jù)物料平衡，混料粉塵產(chǎn)生量為1.48t/a，裝出料粉塵產(chǎn)生量0.73t/a。粉塵總產(chǎn)生量為2.21t/a。廢氣經(jīng)集氣罩收集后，經(jīng)布袋除塵器處理，集氣罩的集氣效率取90%，布袋除塵器除塵效率取99%。本項(xiàng)目收集粉塵量為1.99t/a。根據(jù)設(shè)計(jì)資料，布袋除塵風(fēng)機(jī)風(fēng)量為1000m3/h，顆粒物產(chǎn)生量0.28kg/h，產(chǎn)生濃度280mg/m3，排放量0.0028kg/h（0.02t/a），排放濃度為2.8mg/m3。該工序無組織排放量為0.22t/a。（2）單晶生長(zhǎng)廢氣G1-3晶體生長(zhǎng)晶爐運(yùn)行期間全密封，不會(huì)產(chǎn)生廢氣，在抽真空和出爐時(shí)產(chǎn)生少量廢氣，主要為壓縮空氣、氬氣，該氣體無污染；出料過程中會(huì)產(chǎn)生少量的粉塵，根據(jù)物料平衡，出料過程中粉塵產(chǎn)生量約為原料量的0.5%，采用集氣罩+布袋除塵器處理，集氣罩的集氣效率取90%，布袋除塵器除塵效率取99%。碳化硅粉共計(jì)145.69t/a，則粉塵產(chǎn)生量為0.73t/a，收集粉塵量為0.66t/a。根據(jù)設(shè)計(jì)資料，布袋除塵風(fēng)機(jī)風(fēng)量為500m3/h，顆粒物產(chǎn)生量0.083kg/h，產(chǎn)生濃度166mg/m3，排放量0.0008kg/h（0.0066t/a），排放濃度為1.66mg/m3。該工序無組織排放量為0.07t/a。（3）清洗廢氣G1-4碳化硅晶片化學(xué)拋光清洗后需在自動(dòng)清洗機(jī)中繼續(xù)清洗，清洗時(shí)先通過盛放硫酸+雙氧水混合液的混合液清洗；然后通過鹽酸+雙氧水+純水混合液繼續(xù)進(jìn)行清洗；再通過鹽氟酸+純水混合液繼續(xù)清洗；最后通過乙醇進(jìn)行清洗。由于硫酸、鹽酸、氫氟酸有一定的揮發(fā)性，故會(huì)產(chǎn)生少量的含酸廢氣（主要為硫酸霧、氯化氫、氟化物）和乙醇廢氣（以非甲烷總烴計(jì)），揮發(fā)的廢氣通過收集后，經(jīng)堿洗塔處理，最后再匯合通過1根15m高的排氣筒排放。項(xiàng)目清洗工序硫酸、鹽酸、氫氟酸、乙醇廢氣的產(chǎn)生量按照《環(huán)境統(tǒng)計(jì)手冊(cè)》中介紹的方法計(jì)算，其計(jì)算公式如下：式中：Gz——液體的蒸發(fā)量，kg/h；M——液體的分子量；V——蒸發(fā)液體表面上的空氣流速，m/s；無條件實(shí)測(cè)時(shí)可取0.2～0.5m/s或查表計(jì)算，本次評(píng)價(jià)統(tǒng)一取0.2m/s；P——相應(yīng)于液體溫度下的空氣中的蒸氣分壓力（mmHg）。根據(jù)手冊(cè)查詢可知，當(dāng)液體濃度小于10%時(shí)，可用水溶液的飽和蒸氣壓代替。F——液體蒸發(fā)面的面積，m2。項(xiàng)目酸洗槽的尺寸為500mm×500mm×500mm，蒸發(fā)面積為0.4m2。根據(jù)項(xiàng)目硫酸、鹽酸、氫氟酸、乙醇的濃度，項(xiàng)目的蒸發(fā)量如下表。污染物分子量室內(nèi)風(fēng)速m/s蒸發(fā)面積m2槽液中濃度%飽和蒸氣分壓mmHg揮發(fā)量kg/h硫酸霧980.20.2560-988.80.1098氯化氫36.50.25100.730.0034氟化物20.010.25104.00.0102乙醇廢氣46.070.2599.913.40.0786則硫酸、鹽酸、氫氟酸、乙醇揮發(fā)量分別為0.1098kg/h（0.791t/a）、0.0034kg/h（0.045t/a）、0.0102kg/h（0.073t/a）、0.0786kg/h（0.566t/a）。廢氣通過管道收集至廢氣處理系統(tǒng)，收集效率按95%計(jì)，含酸廢氣通風(fēng)量為1000m3/h，廢氣抽排至堿式洗滌塔，洗滌塔采用氫氧化鈉溶液噴淋處理，處理效率按90%計(jì)。硫酸霧收集量為0.1043kg/h（0.751t/a），產(chǎn)生濃度為104.3mg/m3，排放量為0.0104kg/h（0.075t/a），排放濃度為10.43mg/m3。氯化氫收集量為0.0032kg/h（0.043t/a），產(chǎn)生濃度為3.2mg/m3，排放量為0.00032kg/h（0.004t/a），排放濃度為0.32mg/m3。氟化物收集量為0.0097kg/h（0.069t/a），產(chǎn)生濃度為9.7mg/m3，排放量為0.00097kg/h（0.007t/a），排放濃度為0.97mg/m3。乙醇廢氣（以非甲烷總烴計(jì)）收集量為0.0747kg/h（0.538t/a），產(chǎn)生濃度為74.7mg/m3，排放量為0.0075kg/h（0.054t/a），排放濃度為7.47mg/m3。該工序無組織硫酸霧排放量為0.04t/a、氯化氫排放量為0.002t/a、氟化物排放量為0.004t/a、非甲烷總烴排放量為0.028t/a。3、無組織廢氣①碳化硅合成車間碳化硅廢氣集氣罩效率90%計(jì)，無組織粉塵為10%，無組織粉塵產(chǎn)生量為0.22t/a，產(chǎn)生的粉塵90%經(jīng)密閉車間自然沉降收集，少部分無組織逸散，無組織排放量約0.022t/a。②單晶生長(zhǎng)車間單晶生長(zhǎng)廢氣集氣罩效率90%計(jì)，無組織粉塵為10%，無組織粉塵產(chǎn)生量為0.07t/a，產(chǎn)生的粉塵90%經(jīng)密閉車間自然沉降收集，少部分無組織逸散，無組織排放量約0.007t/a。③單晶片加工車間單晶片加工車間廢氣收集效率95%計(jì)，車間無組織硫酸霧排放量為0.04t/a、氯化氫排放量為0.002t/a、氟化物排放量為0.004t/a、非甲烷總烴排放量為0.028t/a。碳化硅單晶片材料項(xiàng)目生產(chǎn)線廢氣產(chǎn)排情況及排放量匯總情況見表2.4-1~2.4-3。表2.4-1碳化硅單晶片材料項(xiàng)目廢氣污染源源強(qiáng)核算結(jié)果及相關(guān)參數(shù)一覽表生產(chǎn)線工序污染源污染物污染物產(chǎn)生治理措施排放情況排放時(shí)間h核算方法廢氣產(chǎn)生量m3/h產(chǎn)生濃度mg/m3產(chǎn)生量kg/h工藝效率%廢氣排放量m3/h排放濃度mg/m3排放量kg/h碳化硅單晶片材料生產(chǎn)線原料混合合成廢氣合成爐顆粒物物料衡算10002800.28布袋除塵9910002.80.00287200單晶生長(zhǎng)廢氣晶體生長(zhǎng)爐顆粒物物料衡算5001660.083布袋除塵995001.660.00087920清洗廢氣清洗機(jī)硫酸霧系數(shù)法1000104.30.751堿式洗滌塔90100010.430.01047200氯化氫系數(shù)法3.20.00320.320.00032氟化物系數(shù)法9.70.00970.970.00097非甲烷總烴系數(shù)法74.70.07477.470.0075表2.4-2碳化硅單晶片材料項(xiàng)目大氣污染物有組織排放量核算一覽表序號(hào)排放口編號(hào)污染物核算排放濃度（mg/m3）核算排放速率（kg/h）核算年排放量（t/a）1DA001顆粒物2.80.00280.022DA002顆粒物1.660.00080.00663DA003硫酸霧10.430.01040.075氯化氫0.320.000320.004氟化物0.970.000970.007非甲烷總烴7.470.00750.054一般排放口合計(jì)廢氣量1836×104（m3/a）顆粒物0.0266硫酸霧0.075氯化氫0.004氟化物0.007非甲烷總烴0.054有組織排放總計(jì)有組織排放總計(jì)廢氣量1836×104（m3/a）顆粒物0.0266硫酸霧0.075氯化氫0.004氟化物0.007非甲烷總烴0.054表2.4-3碳化硅單晶片材料項(xiàng)目無組織排放量核算一覽表序號(hào)排放口編號(hào)產(chǎn)污環(huán)節(jié)污染物主要污染防治措施污染物排放標(biāo)準(zhǔn)年排放量（t/a）標(biāo)準(zhǔn)名稱濃度限值1廠界碳化硅合成車間顆粒物廠房密閉《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）1.0mg/m30.0222單晶生長(zhǎng)車間顆粒物廠房密閉1.0mg/m30.0073單晶片加工車間硫酸霧廠房密閉1.2mg/m30.04氯化氫0.2mg/m30.002氟化物0.02mg/m30.004非甲烷總烴4.0mg/m30.028無組織排放總計(jì)無組織排放總計(jì)顆粒物0.029硫酸霧0.04氯化氫0.002氟化物0.004非甲烷總烴0.028由表可知，碳化硅單晶片材料項(xiàng)目有組織廢氣排放量為1836萬m3/a。有組織廢氣污染物中顆粒物排放量為0.0266t/a，硫酸霧排放量為0.075t/a，氯化氫排放量為0.004t/a，氟化物排放量為0.007t/a，非甲烷總體排放量為0.054t/a。無組織廢氣污染物中顆粒物排放量為0.029t/a，硫酸霧排放量為0.04t/a，氯化氫排放量為0.002t/a，氟化物排放量為0.004t/a，非甲烷總體排放量為0.028t/a。碳/碳復(fù)合材料廢氣污染源及污染物1、核算依據(jù)碳/碳復(fù)合材料項(xiàng)目污染源強(qiáng)根據(jù)《污染源源強(qiáng)核算技術(shù)指南準(zhǔn)則》（HJ884-2018）、排污許可證申請(qǐng)與核發(fā)技術(shù)規(guī)范鍋爐》(HJ953-2018)中關(guān)于燃?xì)夤I(yè)鍋爐的廢氣產(chǎn)排污系數(shù)進(jìn)行核算，本項(xiàng)目污染源源強(qiáng)核算方法主要有類比法、產(chǎn)排污系數(shù)法和物料衡算法。2、有組織廢氣（1）原料預(yù)制廢氣G2-1碳纖維預(yù)制（織布、成網(wǎng)、復(fù)合針刺）過程中，會(huì)產(chǎn)生少量的粉塵，根據(jù)物料平衡，粉塵產(chǎn)生量約為原料量的1%。廢氣經(jīng)集氣罩收集后，經(jīng)布袋除塵器處理，集氣罩的集氣效率取90%，布袋除塵器除塵效率取99%。本項(xiàng)目碳纖維100t/a，則粉塵產(chǎn)生量為1t/a，收集粉塵量為0.9t/a。根據(jù)設(shè)計(jì)資料，布袋除塵風(fēng)機(jī)風(fēng)量為1000m3/h，顆粒物產(chǎn)生量0.125kg/h，產(chǎn)生濃度125mg/m3，排放量0.0013kg/h（0.009t/a），排放濃度為1.25mg/m3。該工序無組織排放量為0.1t/a。（2）熱處理工序G2-2化學(xué)氣相沉積過程，CVD（化學(xué)氣相沉積）爐為密閉性設(shè)備，因此在原輔材料投料及開蓋時(shí)產(chǎn)生少量廢氣，主要為顆粒物、氮?dú)?、氫氣、未燃燒的天然氣以及VOCs（以非甲烷總烴計(jì)）等，采用負(fù)壓收集+RTO處理，處理后主要污染物為顆粒物、SO2、NOx、以及VOCs（以非甲烷總體計(jì)），通過1根高15m、內(nèi)徑0.3m的排氣筒（DA005）排放。集氣效率取97%，非甲烷總體焚燒效率取90%。根據(jù)設(shè)計(jì)資料，布袋除塵風(fēng)機(jī)風(fēng)量為1000m3/h。根據(jù)工藝參數(shù)及物料平衡，未燃燒的天然氣占比20%，即25.4萬Nm3/a。天然氣燃燒顆粒物、SO2、NOx廢氣污染源強(qiáng)計(jì)算根據(jù)《排污許可證申請(qǐng)與核發(fā)技術(shù)規(guī)范鍋爐》(HJ953-2018)中關(guān)于燃?xì)夤I(yè)鍋爐的廢氣產(chǎn)排污系數(shù)。顆粒物產(chǎn)污系數(shù)2.86kg/萬m3，SO2產(chǎn)污系數(shù)0.02Skg/萬m3（S是含硫量，取200mg/m3），NOx產(chǎn)污系數(shù)9.36kg/萬m3。①顆粒物顆粒物由化學(xué)氣相沉積及剩余天然氣燃燒過程兩部分組成。投料及開蓋時(shí)顆粒物類比同類項(xiàng)目《湖南匯達(dá)新材料有限公司年產(chǎn)200噸碳碳復(fù)合材料及制品擴(kuò)建項(xiàng)目環(huán)評(píng)報(bào)告》中現(xiàn)有工程實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)，該項(xiàng)目原輔材料、生產(chǎn)工藝、產(chǎn)品規(guī)模、廢氣治理措施等均與本項(xiàng)目類似。報(bào)告中顆粒物產(chǎn)生量約占原材料的0.2%。則本項(xiàng)目化學(xué)氣相沉積過程原料量為99t/a，顆粒物產(chǎn)生量為0.2t/a，天然氣燃燒過程顆粒物產(chǎn)生量為0.07t/a，顆粒物總產(chǎn)生量為0.27t/a。收集量為0.26t/a。顆粒物產(chǎn)生速率為0.036kg/h，產(chǎn)生濃度36mg/m3，排放量0.036kg/h（0.26t/a），排放濃度為36mg/m3。該工序無組織排放量為0.01t/a。②非甲烷總烴非甲烷總烴類比同類項(xiàng)目《湖南匯達(dá)新材料有限公司年產(chǎn)200噸碳碳復(fù)合材料及制品擴(kuò)建項(xiàng)目環(huán)評(píng)報(bào)告》中現(xiàn)有工程實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)，報(bào)告中非甲烷總烴產(chǎn)生量約占原材料的0.3%。則非甲烷總烴產(chǎn)生量為0.29t/a，收集量為0.28t/a。非甲烷總烴產(chǎn)生速率為0.039kg/h，產(chǎn)生濃度39mg/m3，排放量0.0039kg/h（0.028t/a），排放濃度為3.9mg/m3。該工序無組織排放量為0.01t/a。③SO2天然氣燃燒過程SO2產(chǎn)生量為0.1t/a，收集量為0.097t/a。SO2產(chǎn)生速率為0.013kg/h，產(chǎn)生濃度13mg/m3，排放量0.013kg/h（0.097t/a），排放濃度為13mg/m3。該工序無組織排放量為0.003t/a。④NOx天然氣燃燒過程N(yùn)Ox產(chǎn)生量為0.24t/a，收集量為0.23t/a。NOx產(chǎn)生速率為0.032kg/h，產(chǎn)生濃度32mg/m3，排放量0.032kg/h（0.23t/a），排放濃度為32mg/m3。該工序無組織排放量為0.01t/a。（3）機(jī)加工廢氣G2-3產(chǎn)品機(jī)加工過程中，會(huì)產(chǎn)生少量粉塵。粉塵采用集氣罩+布袋除塵器處理，集氣罩的集氣效率取90%，布袋除塵器除塵效率取99%，根據(jù)設(shè)計(jì)資料，本項(xiàng)目風(fēng)機(jī)風(fēng)量為2000m3/h。粉塵排放濃度類比《山東沃能炭材料有限公司石墨制品和碳碳復(fù)合材料制品加工擴(kuò)建項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告》數(shù)據(jù)，該驗(yàn)收?qǐng)?bào)告中，機(jī)加工工序原輔材料、生產(chǎn)工藝、產(chǎn)品規(guī)模、廢氣治理措施等均與本項(xiàng)目類似，類比可行。該驗(yàn)收?qǐng)?bào)告中顆粒物實(shí)測(cè)最大排放濃度為2.8mg/m3，則本項(xiàng)目機(jī)加工顆粒物排放濃度取2.8mg/m3，則排放速率為0.0056kg/h（0.04t/a）；產(chǎn)生濃度為280mg/m3，產(chǎn)生速率為0.56kg/h（4t/a）。該工序無組織排放量為0.44t/a。3、無組織廢氣①預(yù)制體車間廢氣集氣罩效率90%計(jì)，無組織粉塵為10%，無組織粉塵產(chǎn)生量為0.1t/a，產(chǎn)生的粉塵90%經(jīng)密閉車間自然沉降收集，少部分無組織逸散，無組織排放量約0.01t/a。②熱處理車間熱處理車間廢氣集氣罩效率97%計(jì)，車間無組織粉塵產(chǎn)生量為0.01t/a，產(chǎn)生的粉塵90%經(jīng)密閉車間自然沉降收集，少部分無組織逸散，無組織排放量約0.001t/a；非甲烷總烴無組織產(chǎn)生量為0.01t/a，SO2無組織產(chǎn)生量為0.003t/a，NOx無組織產(chǎn)生量為0.01t/a。③機(jī)加工車間廢氣集氣罩效率90%計(jì)，無組織粉塵為10%，無組織粉塵產(chǎn)生量為0.44t/a，產(chǎn)生的粉塵90%經(jīng)密閉車間自然沉降收集，少部分無組織逸散，無組織排放量約0.044t/a。。碳/碳復(fù)合材料項(xiàng)目生產(chǎn)線廢氣產(chǎn)排情況及排放量匯總情況見表2.4-4~2.4-6。表2.4-4碳/碳復(fù)合材料項(xiàng)目廢氣污染源源強(qiáng)核算結(jié)果及相關(guān)參數(shù)一覽表生產(chǎn)線工序污染源污染物污染物產(chǎn)生治理措施排放情況排放時(shí)間h核算方法廢氣產(chǎn)生量m3/h產(chǎn)生濃度mg/m3產(chǎn)生量kg/h工藝效率%廢氣排放量m3/h排放濃度mg/m3排放量kg/h碳/碳復(fù)合材料生產(chǎn)線原料預(yù)制廢氣織布機(jī)、復(fù)合針刺機(jī)顆粒物物料衡算10001250.125布袋除塵9910001.250.00137200熱處理工序廢氣化學(xué)氣相沉積爐顆粒物類比法1000360.036RTO01000360.0367200非甲烷總烴類比法390.039903.90.0039SO2系數(shù)法130.0130130.013NOx系數(shù)法320.0320320.032機(jī)加工廢氣車床等顆粒物類比法20002800.56布袋除塵9920002.80.00567200表2.4-5碳/碳復(fù)合材料項(xiàng)目大氣污染物有組織排放量核算一覽表序號(hào)排放口編號(hào)污染物核算排放濃度（mg/m3）核算排放速率（kg/h）核算年排放量（t/a）1DA004顆粒物1.250.00130.0092DA005顆粒物360.0360.26非甲烷總烴3.90.00390.028SO2130.0130.097NOx320.0320.233DA006顆粒物2.80.00560.04一般排放口合計(jì)廢氣量2880×104（m3/a）顆粒物0.309非甲烷總烴0.028SO20.097NOx0.23有組織排放總計(jì)有組織排放總計(jì)廢氣量2880×104（m3/a）顆粒物0.309非甲烷總烴0.028SO20.097NOx0.23表2.4-6碳/碳復(fù)合材料項(xiàng)目無組織排放量核算一覽表序號(hào)排放口編號(hào)產(chǎn)污環(huán)節(jié)污染物主要污染防治措施污染物排放標(biāo)準(zhǔn)年排放量（t/a）標(biāo)準(zhǔn)名稱濃度限值1廠界預(yù)制體車間顆粒物廠房密閉《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）1.0mg/m30.012熱處理車間顆粒物廠房密閉1.0mg/m30.0013非甲烷總烴4.0mg/m30.01SO20.4mg/m30.003NOx0.12mg/m30.01機(jī)加工車間顆粒物廠房密閉1.0mg/m30.044無組織排放總計(jì)無組織排放總計(jì)顆粒物0.055非甲烷總烴0.01SO20.003NOx0.01由表可知，碳/碳復(fù)合材料項(xiàng)目有組織廢氣排放量為2880萬m3/a。有組織廢氣污染物中顆粒物排放量為0.309t/a，非甲烷總體排放量為0.028t/a，SO2排放量為0.097t/a，NOx放量為0.23t/a。無組織廢氣污染物中顆粒物排放量為0.055t/a，非甲烷總體排放量為0.01t/a，SO2排放量為0.003t/a，NOx放量為0.01t/a。全廠廢氣污染源及污染物全廠生產(chǎn)線廢氣產(chǎn)排情況及排放量匯總情況見表2.4-7~2.4-9。表2.4-7全廠廢氣污染源源強(qiáng)核算結(jié)果及相關(guān)參數(shù)一覽表生產(chǎn)線工序污染源污染物污染物產(chǎn)生治理措施排放情況排放時(shí)間h核算方法廢氣產(chǎn)生量m3/h產(chǎn)生濃度mg/m3產(chǎn)生量kg/h工藝效率%廢氣排放量m3/h排放濃度mg/m3排放量kg/h碳化硅單晶片材料生產(chǎn)線原料混合合成廢氣合成爐顆粒物物料衡算10002800.28布袋除塵9910002.80.00287200單晶生長(zhǎng)廢氣晶體生長(zhǎng)爐顆粒物物料衡算5001660.083布袋除塵995001.660.00087920清洗廢氣清洗機(jī)硫酸霧系數(shù)法1000104.30.751堿式洗滌塔90100010.430.01047200氯化氫系數(shù)法3.20.00320.320.00032氟化物系數(shù)法9.70.00970.970.00097非甲烷總烴系數(shù)法74.70.07477.470.0075碳/碳復(fù)合材料生產(chǎn)線原料預(yù)制廢氣織布機(jī)、復(fù)合針刺機(jī)顆粒物物料衡算10001250.125布袋除塵9910001.250.00137200熱處理工序廢氣化學(xué)氣相沉積爐顆粒物類比法1000360.036RTO01000360.0367200非甲烷總烴類比法390.039903.90.0039SO2系數(shù)法130.0130130.013NOx系數(shù)法320.0320320.032機(jī)加工廢氣車床等顆粒物類比法20002800.56布袋除塵9920002.80.00567200表2.4-8全廠有組織廢氣排放量匯總一覽表序號(hào)排放口編號(hào)污染物核算排放濃度（mg/m3）核算排放速率（kg/h）核算年排放量（t/a）1DA001顆粒物2.80.00280.022DA002顆粒物1.660.00080.00663DA003硫酸霧10.430.01040.075氯化氫0.320.000320.004氟化物0.970.000970.007非甲烷總烴7.470.00750.0544DA004顆粒物1.250.00130.0095DA005顆粒物360.0360.26非甲烷總烴3.90.00390.028SO2130.0130.097NOx320.0320.236DA006顆粒物2.80.00560.04一般排放口合計(jì)廢氣量4716×104（m3/a）顆粒物0.3356硫酸霧0.075氯化氫0.004氟化物0.007非甲烷總烴0.082SO20.097NOx0.23有組織排放總計(jì)有組織排放總計(jì)廢氣量4716×104（m3/a）顆粒物0.3356硫酸霧0.075氯化氫0.004氟化物0.007非甲烷總烴0.082SO20.097NOx0.23表2.4-9全廠無組織廢氣排放量匯總一覽表序號(hào)排放口編號(hào)產(chǎn)污環(huán)節(jié)污染物主要污染防治措施污染物排放標(biāo)準(zhǔn)年排放量（t/a）標(biāo)準(zhǔn)名稱濃度限值1廠界碳化硅合成車間顆粒物廠房密閉《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）1.0mg/m30.0222單晶生長(zhǎng)車間顆粒物廠房密閉1.0mg/m30.0073單晶片加工車間硫酸霧廠房密閉1.2mg/m30.04氯化氫0.2mg/m30.002氟化物0.02mg/m30.004非甲烷總烴4.0mg/m30.0284預(yù)制體車間顆粒物廠房密閉1.0mg/m30.015熱處理車間顆粒物廠房密閉1.0mg/m30.001非甲烷總烴廠房密閉4.0mg/m30.01SO2廠房密閉0.4mg/m30.003NOx廠房密閉0.12mg/m30.016機(jī)加工車間顆粒物廠房密閉1.0mg/m30.044無組織排放總計(jì)無組織排放總計(jì)顆粒物0.084硫酸霧0.04氯化氫0.002氟化物0.004非甲烷總烴0.038SO20.003NOx0.01由表可知，本項(xiàng)目全廠有組織廢氣排放量為4716萬m3/a。有組織廢氣污染物中顆粒物排放量0.3356t/a，硫酸霧排放量0.075t/a，氯化氫排放量0.004t/a，氟化物排放量0.007t/a，非甲烷總烴排放量0.082t/a，SO2排放量0.097t/a，NOx排放量0.23t/a。無組織廢氣污染物中顆粒物排放量0.084t/a，硫酸霧排放量0.04t/a，氯化氫排放量0.002t/a，氟化物排放量0.004t/a，非甲烷總烴排放量0.038t/a，SO2排放量0.003t/a，NOx排放量0.01t/a。2.4.2廢水污染源及污染物廢水產(chǎn)生源本項(xiàng)目廢水主要包括生產(chǎn)廢水、生活污水及初期雨水。其中生產(chǎn)廢水包括碳化硅單晶片材料及碳碳復(fù)合材料生產(chǎn)廢水。（1）碳化硅單晶片材料碳化硅單晶片材料廢水主要包括合成爐及晶體生長(zhǎng)爐循環(huán)冷卻水排水、晶片加工廢水（滾圓、切割倒角、研磨、拋光）、自動(dòng)清洗廢水、純水制備濃水、堿液噴淋廢水、生活污水、初期雨水等。（2）碳碳復(fù)合材料碳碳復(fù)合材料生產(chǎn)廢水主要包括氣相沉積爐及高溫爐循環(huán)冷卻水排水等。廢水污染物及治理措施（1）碳化硅單晶片材料生產(chǎn)廢水①循環(huán)冷卻水碳化硅單晶片材料生產(chǎn)過程中需對(duì)合成爐及晶體生長(zhǎng)爐進(jìn)行冷卻，采用間接循環(huán)冷卻系統(tǒng)，循環(huán)冷卻水量約17280m3/d，循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的排污量為86m3/d；循環(huán)冷卻排水，主要為SS（100-300mg/m3）、COD（50-150mg/m3）等，生產(chǎn)廢水經(jīng)提升泵提升到綠碳廠區(qū)污水處理站處理，采用“反應(yīng)、氣浮、過濾、活性炭吸附”工藝，處理后回用于循環(huán)系統(tǒng)。②晶片加工廢水晶片加工廢水包括滾圓、切割倒角、研磨、拋光廢水，經(jīng)廠區(qū)廢水處理設(shè)施，采用“中和、絮凝沉淀”工藝處理后，進(jìn)入綠碳廠區(qū)污水處理站處理，回用于循環(huán)冷卻系統(tǒng)補(bǔ)充用水。廢水源強(qiáng)參照《》數(shù)據(jù)。該報(bào)告中，生產(chǎn)原料、工藝、設(shè)備、規(guī)模均與本項(xiàng)目類似，類比可行。a、滾圓淋洗：碳化硅晶片定向滾圓后需要用純水進(jìn)行淋洗，淋洗時(shí)間為1min/片，水流mmin淋洗300min，則用水量為3m3/d，排放系數(shù)約0.8，則廢水產(chǎn)生量約為2.4m3/d。廢水主要污染物為COD400mg/m3、SS600mg/m3、石油類30mg/m3等。b、切割、倒角清洗：碳化硅晶片切割、倒角清洗后需要用純水進(jìn)行淋洗，淋洗時(shí)間為1.2min/片，水流量為0.01m3/min，每天淋洗300min，則用水量為3.6m3/d，排放系數(shù)水產(chǎn)生量約為2.88m3/d。廢水主要污染物為COD400mg/m3、SS600mg/m3、石油類30mg/m3等。c、研磨清洗：碳化硅晶片研磨后需要用純水進(jìn)行淋洗，淋洗時(shí)間為1.2min/片，水流量為0.01m3/min，每天淋洗300min，則用水量為3.6m3/d，排放系數(shù)水產(chǎn)生量約為2.88m3/d。廢水主要污染物為COD400mg/m3、SS600mg/m3、石油類30mg/m3等。d、拋光清洗：碳化硅晶片拋光后需要用純水進(jìn)行淋洗，淋洗時(shí)間為1.2min/片，水流量為0.01m3/min，每天淋洗300min，則用水量為3.6m3/d，排放系數(shù)水產(chǎn)生量約為2.88m3/d。廢水主要污染物為COD400mg/m3、SS600mg/m3、石油類30mg/m3等。③自動(dòng)清洗廢水碳化硅晶片自動(dòng)清洗需要用純水進(jìn)行淋洗，淋洗時(shí)間為1min/片，水流量為0.01m3/min，每天淋洗300min，則用水量為3m3/d，排放系數(shù)水產(chǎn)生量約為2.4m3/d。廢水主要污染物為pH4~6、COD250mg/m3、SS460mg/m3、石油類30mg/m3、氯化物20mg/m3、硫酸根50mg/m3、氟化物2mg/m3等。廢水經(jīng)廠區(qū)廢水處理設(shè)施，采用“中和、絮凝沉淀”工藝處理后，經(jīng)廠區(qū)廢水處理設(shè)施，采用“中和、絮凝沉淀”工藝處理后，進(jìn)入綠碳廠區(qū)污水處理站處理，回用于循環(huán)冷卻系統(tǒng)補(bǔ)充用水。④純水制備濃水本項(xiàng)目晶片加工過程中清洗以及清洗機(jī)中酸調(diào)配水、酸洗清洗水均采用純水，純水用量為19.8m3/d，純水制備率為70%，本項(xiàng)目新水量為28.29m3/d，則濃水排放量為8.49m3/d。濃水中主要污染物為COD100mg/m3、SS50mg/m3。廢水經(jīng)廠區(qū)廢水處理設(shè)施，采用“中和、絮凝沉淀”工藝處理后，經(jīng)廠區(qū)廢水處理設(shè)施，采用“中和、絮凝沉淀”工藝處理后，進(jìn)入綠碳廠區(qū)污水處理站處理，回用于循環(huán)冷卻系統(tǒng)補(bǔ)充用水。⑤堿液噴淋廢水企業(yè)提供的資料，酸堿吸收裝置(1套)，項(xiàng)目酸洗工序配置1套堿噴淋塔處理酸霧(采用濃度10%NaOH為吸收劑)，噴淋塔循環(huán)水量為2t/h，則噴淋塔循環(huán)水量為48t/d，用水量按循環(huán)量的5%補(bǔ)充，排水量按補(bǔ)水量80%計(jì)，則本項(xiàng)目堿液噴淋塔用水量為2.4t/d，廢水產(chǎn)生量為1.92t/d。。廢水經(jīng)廠區(qū)廢水處理設(shè)施，采用“中和、絮凝沉淀”工藝處理后，經(jīng)提升泵提升到綠碳廠區(qū)污水處理站處理，采用“反應(yīng)、氣浮、過濾、活性炭吸附”處理工藝處理后回用。（2）碳碳復(fù)合材料生產(chǎn)廢水碳碳復(fù)合材料生產(chǎn)過程中需對(duì)氣相沉積爐及高溫爐進(jìn)行冷卻，采用間接循環(huán)冷卻系統(tǒng)，循環(huán)冷卻水量約8640m3/d，循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的排污量為43.2m3/d；循環(huán)冷卻排水，主要為SS（100-300mg/m3）、COD（300-500mg/m3）等，生產(chǎn)廢水經(jīng)提升泵提升到綠碳廠區(qū)污水處理站處理，采用“反應(yīng)、氣浮、過濾、活性炭吸附”工藝，處理后回用。（3）生活污水生活用水按照80L/人·天計(jì)，全廠定員350人，用水量28m3/d。生活污水產(chǎn)生量按用水量的80%計(jì)算，則生活污水產(chǎn)生量為22.4m3/d。廢水中所含的污染物主要是COD（500mg/m3）、BOD5（300mg/m3）、SS（100mg/m3）和氨氮（30mg/m3），生活污水經(jīng)廠區(qū)的化糞池預(yù)處理后進(jìn)入嘉北生活污水處理廠進(jìn)行處理。（4）初期雨水雨水計(jì)算采用暴雨強(qiáng)度公式：式中：Qs——初期雨水量，m3；q——設(shè)計(jì)暴雨強(qiáng)度，[L/（s·hm2）]；Ψ——徑流系數(shù)，取0.7；F——匯水面積，hm2；取11.95；P——重現(xiàn)期，取2年；t——降雨歷時(shí)，取30min；經(jīng)計(jì)算，降雨30min初期雨水量為252.32m3，主要污染物有COD、SS、氨氮等，收集的初期雨水經(jīng)截流后進(jìn)入綠碳廠區(qū)初期雨水收集池，作為循環(huán)冷卻水回用。綠碳廠區(qū)設(shè)置18467m3的初期雨水收集池。廢水污染物排放情況綠碳廠區(qū)生產(chǎn)污水處理站工藝流程見圖2.4-1，生產(chǎn)污水產(chǎn)排情況見表2.4-10。圖2.4-1 生產(chǎn)廢水處理設(shè)施工藝流程圖表2.4-10生產(chǎn)綜合污水產(chǎn)排情況一覽表廢水類型廢水量（m3/d）污染物進(jìn)水濃度（mg/L）治理措施治理效率(%)出水濃度（mg/L）廢水去向生產(chǎn)綜合污水52.25pH6~9反應(yīng)、氣浮、過濾、活性炭吸附/6~9經(jīng)綠碳廠區(qū)污水處理站處理后回用COD1506060SS3009710石油類156752.4.3噪聲污染源本項(xiàng)目主要噪聲源為磨床、切割機(jī)、研磨機(jī)、倒邊機(jī)、拋光機(jī)、清洗機(jī)、氣相沉積爐、高溫爐。針刺機(jī)、纖維切斷機(jī)、數(shù)控立車、數(shù)顯銑床、碳纖維織布機(jī)、開松機(jī)、預(yù)刺機(jī)、風(fēng)機(jī)、各類泵等機(jī)械設(shè)備等，主要噪聲設(shè)備噪聲源強(qiáng)90-100dB（A），對(duì)各類噪聲設(shè)備進(jìn)行基礎(chǔ)減振、消音和安裝在室內(nèi)利用廠房屏蔽作用等，以減輕對(duì)周圍環(huán)境的影響，降噪效果達(dá)到20dB（A）。項(xiàng)目噪聲源強(qiáng)及治理措施具體見表2.4-11及2.4-12。表2.4-11工業(yè)企業(yè)噪聲源強(qiáng)調(diào)查清單（室外聲源）單位：dB（A）序號(hào)生產(chǎn)工序噪聲源名稱聲壓級(jí)/距聲源距離)/dB(A)/(m)聲源控制措施空間相對(duì)位置/m距室內(nèi)邊界距離/m室內(nèi)邊界聲級(jí)dB(A)發(fā)聲持續(xù)時(shí)間/h建筑物插入損失/dB(A)建筑物外噪聲XYZ聲壓級(jí)/dB(A)建筑物外距離1粉料合成除塵系統(tǒng)風(fēng)機(jī)95/1建筑隔音、基礎(chǔ)減震、消聲器15623601957200158012晶體生長(zhǎng)除塵系統(tǒng)風(fēng)機(jī)95/117611201957920158013晶片加工車間磨床90/1-130-230190720010801切割機(jī)90/1-86-250190720010801研磨機(jī)90/1-75-490190720010801倒邊機(jī)90/1-68150190720010801拋光機(jī)90/1-56-230190720010801清洗機(jī)90/1-262501907200108014預(yù)制體車間除塵系統(tǒng)風(fēng)機(jī)90/1-269-1340190720015751針刺機(jī)95/1-36850195720015801纖維切斷機(jī)95/1-345150195720015801碳纖維織布機(jī)95/1-325260195720015801開松機(jī)95/1-38690195720015801預(yù)刺機(jī)95/1-3064901957200158015熱處理車間抽真空風(fēng)機(jī)95/12438901957200158016機(jī)加工車間除塵系統(tǒng)風(fēng)機(jī)95/12831150195720015801數(shù)控立車95/1232650195720015801數(shù)顯銑床95/12366601957200158017空壓站空壓機(jī)100/14638011007200158518水泵站水泵100/1866301100720015851 表2.4-12工業(yè)企業(yè)噪聲源強(qiáng)調(diào)查清單（室外聲源）序號(hào)生產(chǎn)工序噪聲源名稱空間相對(duì)位置/m聲源源強(qiáng)聲源控制措施發(fā)聲持續(xù)時(shí)間/hXYZ（聲壓級(jí)/距聲源距離)/dB(A)/(m)1焚燒爐風(fēng)機(jī)-1864560100/1基礎(chǔ)減震、消聲器72002堿液噴淋塔系統(tǒng)風(fēng)機(jī)681050100/172002.4.4固體廢物污染源本項(xiàng)目固體廢物包括生產(chǎn)工藝過程中固廢、檢修固廢、生活垃圾等。（1）碳化硅單晶片材料生產(chǎn)過程固體廢物碳化硅單晶片材料生產(chǎn)過程中固廢包括布袋收塵灰，邊角料和不合格品、廢石墨坩堝、廢渡銅鋼絲、純水制備產(chǎn)生的廢過(膜)濾器及廢活性炭和廢離子交換樹脂、晶片加工廢液、自動(dòng)清洗廢液、廢化學(xué)原料桶等。①布袋收塵灰項(xiàng)目生產(chǎn)過程中布袋除塵過程中產(chǎn)生的除塵灰，根據(jù)項(xiàng)目設(shè)計(jì)及物料平衡計(jì)算為0.0266t/a，回用于生產(chǎn)。②邊角料和不合格品長(zhǎng)晶和晶片加工生產(chǎn)過程中會(huì)產(chǎn)生邊角料，檢驗(yàn)過程會(huì)發(fā)現(xiàn)不合格產(chǎn)品，碳化硅粉末長(zhǎng)晶得到成品晶錠的合格率為70%，單晶片次品率為4%。則晶錠的不合格品為44.90t，合格的晶錠加工成8.5萬片碳化硅襯底片，則碳化硅襯底片的不合格品為3.52t，加工產(chǎn)生的廢邊角料為0.74t/a。則生產(chǎn)產(chǎn)生的邊角料和不合格品共計(jì)49.16。由于碳化硅晶片生產(chǎn)要求純度較高，不合格品和邊角料不宜再用于生產(chǎn)，外售資源化利用。③廢石墨坩堝/石墨氈項(xiàng)目在長(zhǎng)晶過程中使用坩堝、石墨氈，這些材料使用有一定的壽命，需要定期更換，廢坩堝產(chǎn)生量為4t/a，廢碳?xì)之a(chǎn)生量為3t/a，外售資源化利用。④廢渡銅鋼絲項(xiàng)目在線切割過程中使用鋼絲，使用有一定的壽命，需要定期更換，廢鋼絲產(chǎn)生量為0.3t/a，外售資源化利用。⑤純水制備產(chǎn)生的廢過(膜)濾器及廢活性炭和廢離子交換樹脂純水制備過程中會(huì)產(chǎn)生廢過(膜)濾器、廢活性炭和廢離子交換樹脂，產(chǎn)生量為0.8t/a，定期返回廠家回收。⑥晶片加工廢液碳化硅晶片加工中切割、研磨、拋光過程分別需要使用切削液、研磨液和拋光液。以上液體使用時(shí)需要稀釋，約按照1:3比例進(jìn)行稀釋，加工循環(huán)利用，長(zhǎng)期使用后定期更換（年/次），會(huì)產(chǎn)生廢液。廢切削液產(chǎn)生量為36t/a、廢研磨液產(chǎn)生量為12t/a、廢拋光液產(chǎn)生量為18t/a，以上廢液廢物類別屬于《國(guó)家危險(xiǎn)廢物名錄(2021版)》中HW09油/水、烴/水混合物中的或乳化液，其中切削液廢物代碼為900-006-09 (使用切削油和切削液進(jìn)行機(jī)械加工過程中產(chǎn)生的油/水、烴/水混合物或乳化液)；廢研磨液和拋光液廢物代碼為900-007-09其他工藝過程中產(chǎn)生的油/水、烴/水混合物或乳化液。危險(xiǎn)廢液經(jīng)密桶收集分類存放于廠區(qū)危廢暫存間，定期交由有資質(zhì)單位處理。⑦自動(dòng)清洗廢液襯底片經(jīng)過拋光后，進(jìn)入自動(dòng)清洗機(jī)進(jìn)行清洗，清洗劑需定期進(jìn)行更換（年/次），產(chǎn)生的廢液分別有廢硫酸，產(chǎn)生量分別為廢硫酸5.099/a、廢鹽酸1.755t/a、廢氫氟酸1.727t/a、廢乙醇6.734t/a。其中廢酸屬于《國(guó)家危險(xiǎn)廢物名錄(2021版)》中HW34廢酸，代碼為900-300-34，廢乙醇屬于HW06廢有機(jī)溶劑與含有機(jī)溶劑廢物，廢物代碼為900-402-06，危險(xiǎn)廢液經(jīng)密桶收集分類存放于廠區(qū)危廢暫存間，定期交由有資質(zhì)單位處理。⑧廢化學(xué)原料桶項(xiàng)目廢溶劑桶屬于危險(xiǎn)廢物，主要包括廢硫酸桶、廢氫氟酸桶、廢鹽酸桶、廢乙醇桶、廢切削液桶、廢研磨液桶、廢拋光液桶、廢機(jī)油桶。廢桶產(chǎn)生量約100個(gè)，平均每個(gè)重量約1kg，產(chǎn)生量約0.1t/a。廢物類別為HW49其他廢物，危廢代碼為900-041-49；廢桶嚴(yán)禁在廠內(nèi)沖洗，集中收集暫存于廠區(qū)危廢暫存間，定期交由有資質(zhì)單位處理。（2）碳/碳復(fù)合材料生產(chǎn)工藝過程中固體廢物碳/碳復(fù)合材料生產(chǎn)工藝過程中固廢包括布袋收塵灰，邊角料、廢包裝袋、CVD爐工序產(chǎn)生的焦油等。①項(xiàng)目生產(chǎn)過程中布袋除塵過程中產(chǎn)生的除塵灰，根據(jù)項(xiàng)目設(shè)計(jì)及物料平衡計(jì)算為0.049t/a，回用于生產(chǎn)。②邊角料本項(xiàng)目預(yù)制體及機(jī)械加工會(huì)產(chǎn)生邊角料，據(jù)建設(shè)單位提供的資料，產(chǎn)生量分別為5t/a，2t/a，回用于生產(chǎn)。③廢包裝袋原材料入廠和生產(chǎn)的成品在包裝入庫時(shí)會(huì)產(chǎn)生包裝廢料。據(jù)建設(shè)單位提供的資料，產(chǎn)生量為0.1t/a，定期返回廠家回收。④焦油各惰性及碳源氣體在CVD（化學(xué)氣相沉積）爐使用設(shè)備抽完真空，并且升溫到工藝要求的溫度時(shí)開始通入，主要讓通入的氣體在高溫真空環(huán)境下裂解，生成C和H2，從而沉積到坯體（各類碳纖維）中，其中將有少量碳粉和極少量未分解的氫或含氫的大分子物質(zhì)，經(jīng)過濾罐冷卻后形成固態(tài)焦油。根據(jù)建設(shè)單位提供的資料，焦油產(chǎn)生量約為0.05t/a。根據(jù)《國(guó)家危險(xiǎn)廢物名錄2021版》，焦油（危險(xiǎn)廢物編號(hào)：HW11-309-001-11），屬于危險(xiǎn)廢物。集中收集暫存于廠區(qū)危廢暫存間，定期交由有資質(zhì)單位處理。（3）檢修固廢在檢修時(shí)產(chǎn)生一些廢油，產(chǎn)生量約為1t/a，屬于危險(xiǎn)固廢（HW08），暫存于廠區(qū)的危廢暫存庫，最終送有資質(zhì)的危廢處理單位處置。除塵過程替換的廢布袋，產(chǎn)生量為0.2t/a，屬于一般固廢，暫存于廠區(qū)的一般固廢暫存庫，定期返回廠家處置。（4）生活垃圾擬建項(xiàng)目計(jì)劃人員定額為350人，年工作300天，生活垃圾按1.0kg/人.天計(jì)算，生活垃圾產(chǎn)生量為105t/a。生活垃圾在廠區(qū)集中收集后，交由環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一處理。本項(xiàng)目一般固廢性質(zhì)分類及處置方式見表2.4-13。危險(xiǎn)廢物情況見表2.4-14，危險(xiǎn)廢物貯存場(chǎng)所情況見表2.4-15表2.4-13一般固廢性質(zhì)分類及處置方式序號(hào)名稱產(chǎn)生量（t/a）廢物代碼主要成分屬性臨時(shí)貯存方式最終去向1碳化硅布袋除塵灰0.0266398-005-66碳化硅一般固廢原料庫回用于生產(chǎn)2碳碳復(fù)合布袋除塵灰0.049309-001-66碳一般固廢原料庫回用于生產(chǎn)3碳化硅邊角料和不合格品49.16398-005-99碳化硅一般固廢廢料暫存庫外售資源化利用4碳碳復(fù)合邊角料7309-001-99碳一般固廢廢料暫存庫回用于生產(chǎn)5廢石墨坩堝/石墨氈7309-001-99碳一般固廢廢料暫存庫外售資源化利用6廢渡銅鋼絲0.3900-999-99銅一般固廢廢料暫存庫外售資源化利用7廢過(膜)濾器及廢活性炭和廢離子交換樹脂0.8900-999-99/一般固廢原料庫廠家回收8廢包裝袋0.1900-999-99塑料一般固廢廢料暫存庫廠家回收9廢布袋0.2900-999-99布袋一般固廢廢料暫存庫交由廠家回收10生活垃圾105///集中收集環(huán)衛(wèi)部門定期清理合計(jì)169.6356t/a表2.4-14危險(xiǎn)廢物匯總一覽表序號(hào)危險(xiǎn)廢物名稱危險(xiǎn)廢物類別危險(xiǎn)廢物代碼產(chǎn)生量（t/a）產(chǎn)生工序及裝置形態(tài)主要成分有害成分產(chǎn)廢周期危險(xiǎn)特性污染防治措施1廢切削液HW09900-006-0936切割、倒角機(jī)液體切削液三乙醇胺1季度T暫存于廠區(qū)的危廢暫存庫，定期送有資質(zhì)單位處理處置2廢研磨液HW09900-007-0912研磨機(jī)液體研磨液石微粉1季度T3廢拋光液HW09900-007-0918拋光機(jī)液體拋光液1季度T4廢硫酸HW34900-300-345.099清洗機(jī)液體廢酸硫酸1季度C/T5廢鹽酸HW34900-300-341.755清洗機(jī)液體廢酸鹽酸1季度C/T6廢氫氟酸HW34900-300-341.727清洗機(jī)液體廢酸氫氟酸1季度C/T7廢乙醇HW06900-402-066.734清洗機(jī)液體乙醇乙醇1季度T/I/R8廢原料桶HW49900-041-090.1包裝固體桶溶劑1季度T/Im9焦油HW11309-001-110.05沉積爐固體焦油加油1季度T10廢礦物油HW08900-219-081設(shè)備液態(tài)廢油廢油1季度T,I合計(jì)82.465t/a表2.4-15危險(xiǎn)廢物貯存場(chǎng)所（設(shè)施）基本情況一覽表單位：t/a序號(hào)貯存場(chǎng)所（設(shè)施）危險(xiǎn)廢物名稱危險(xiǎn)廢物類別危險(xiǎn)廢物代碼占地面積貯存方式貯存能力貯存周期1危廢暫存間廢切削液HW09900-006-09100m2桶裝120t半年2廢研磨液HW09900-007-09桶裝3廢拋光液HW09900-007-09桶裝4廢硫酸HW34900-300-34桶裝5廢鹽酸HW34900-300-34桶裝6廢氫氟酸HW34900-300-34桶裝7廢乙醇HW06900-402-06桶裝8廢原料桶HW49900-041-09封蓋9焦油HW11309-001-11桶裝10廢礦物油HW08900-219-08桶裝2.4.5非正常工況及事故工況排放分析本項(xiàng)目非正常工況包括開停車、設(shè)備檢修等情況下的污染物排放。根據(jù)本項(xiàng)目工程特點(diǎn)和污染物排放情況，對(duì)環(huán)境影響最大的非正常工況為環(huán)保設(shè)施達(dá)不到設(shè)計(jì)水平，各類廢氣治理設(shè)施運(yùn)行不正常，處理效果下降，導(dǎo)致廢氣中污染物超標(biāo)排放。為確保環(huán)保設(shè)施設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定正常運(yùn)行，運(yùn)行期間加強(qiáng)管理，定期檢修，避免出現(xiàn)環(huán)保設(shè)施設(shè)備不穩(wěn)定運(yùn)行，從而降低對(duì)環(huán)境的影響。根據(jù)本項(xiàng)目各環(huán)節(jié)的污染物排放情況，碳/碳復(fù)合材料機(jī)加工廢氣量最大，顆粒物污染物排放量最大，碳化硅單晶片材料清洗機(jī)廢氣及碳/碳復(fù)合材料熱處理廢氣污染物排放量較多。本環(huán)評(píng)選取碳化硅單晶片材料清洗機(jī)廢氣及碳/碳復(fù)合材料機(jī)加工、熱處理廢氣治理設(shè)施運(yùn)行失常作為典型的非正常工況，在非正常工況條件下布袋除塵堵塞，除塵效率下降至50%，堿液吸收塔裝置故障，效率下降至40%，堿液吸收塔裝置故障，效率下降至40%，非正常排放時(shí)的排放參數(shù)見表2.4-16。表2.4-16非正常排放時(shí)大氣污染物排放情況污染源名稱廢氣量m3/h組分排放kg/h溫度℃排氣筒(m)處理效率%清洗廢氣1000硫酸霧0.451251540氯化氫0.002氟化物0.006非甲烷總烴0.045機(jī)加工廢氣2000顆粒物0.28251550熱處理工序廢氣1000顆粒物0.03625150非甲烷總烴0.02340SO20.0130NOx0.0320事故排放時(shí)，各種大氣污染物排放量較設(shè)計(jì)指標(biāo)明顯增加。但是，事故排放是短時(shí)間內(nèi)出現(xiàn)的情況，當(dāng)出現(xiàn)事故狀態(tài)時(shí)，企業(yè)應(yīng)立即采取措施，如：停止加料，對(duì)設(shè)施、設(shè)備進(jìn)行修理，以恢復(fù)正常的排放水平。2.5清潔生產(chǎn)清潔生產(chǎn)是指不斷改進(jìn)設(shè)計(jì)、使用清潔的能源和原料、采用先進(jìn)的工藝技術(shù)與設(shè)備、改善管理、綜合利用等措施，從源頭削減污染，提高資源利用效率,減少或者避免生產(chǎn)、服務(wù)和產(chǎn)品使用過程中污染物的產(chǎn)生和排放，以減輕或者消除對(duì)人類健康和環(huán)境的危害。清潔生產(chǎn)以節(jié)能、降耗、減污為目標(biāo)，以管理、技術(shù)為手段從源頭著手使污染物得以削減，實(shí)施工業(yè)生產(chǎn)全程污染控制，使污染物產(chǎn)生量、排放量最小的一種綜合性環(huán)境預(yù)防措施。本節(jié)主要從國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策、設(shè)備與工藝、能耗物耗、“三廢”排放等方面，對(duì)項(xiàng)目的清潔生產(chǎn)進(jìn)行評(píng)價(jià)。2.5.1清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)確定碳化硅單晶片材料我國(guó)尚未制定碳化硅材料能耗限額標(biāo)準(zhǔn)，也沒有制定行業(yè)能耗指標(biāo)，甘肅省也沒有制定相應(yīng)的地方標(biāo)準(zhǔn)，經(jīng)分析國(guó)內(nèi)同類型企業(yè)能耗主要如下：根據(jù)本項(xiàng)目節(jié)能報(bào)告數(shù)據(jù)與國(guó)內(nèi)同類型企業(yè)能耗對(duì)比如下。①北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司位于北京市大興區(qū)，是一家專業(yè)從事第三代半導(dǎo)體碳化硅（SiC）晶片研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)。公司為全球SiC晶片的主要生產(chǎn)商之一。碳化硅單晶襯底領(lǐng)域綜合實(shí)力，國(guó)際第三，國(guó)內(nèi)第一。采用“設(shè)備研制—原料合成—晶體生長(zhǎng)—晶體切割—晶片加工—清洗檢測(cè)”全流程關(guān)鍵技術(shù)和工藝，。②廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司位于廣州市南沙區(qū)珠江街南江二路7號(hào)，新建碳化硅單晶材料與晶片生產(chǎn)項(xiàng)目，該項(xiàng)目將擴(kuò)大晶體生長(zhǎng)和加工規(guī)模，并增加外延片加工生產(chǎn)線，達(dá)產(chǎn)后年產(chǎn)各類襯底片和外延片共20萬片，年產(chǎn)值將達(dá)13.5億元，項(xiàng)目已通過廣州市發(fā)展和改革委員會(huì)的節(jié)能審查。③上海天岳半導(dǎo)體材料有限公司上海天岳半導(dǎo)體材料有限公司位于中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)鴻音路1211號(hào)，是山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司的全資子公司，其計(jì)劃新建碳化硅半導(dǎo)體材料項(xiàng)目，達(dá)產(chǎn)后形成年產(chǎn)導(dǎo)電型碳化硅晶錠2.6萬塊，對(duì)應(yīng)襯底產(chǎn)品30萬片的生產(chǎn)能力。綜上所述，本項(xiàng)目碳化硅單晶片與國(guó)內(nèi)典型同類型企業(yè)能耗主要如下：表2.5-1碳化硅單晶片單位產(chǎn)品能耗指標(biāo)對(duì)比分析表指標(biāo)名稱項(xiàng)目指標(biāo)同類項(xiàng)目1(天科合達(dá))同類項(xiàng)目2(廣州南砂)同類項(xiàng)目3(上海天岳)產(chǎn)品綜合能耗指標(biāo)（kgce/片）30.7359.1338.7130.00單位產(chǎn)品電耗指標(biāo)（kWh/片）234.65465.75314.95243.99注:1、表中同類項(xiàng)目指標(biāo)天科合達(dá)為根據(jù)企業(yè)公開生產(chǎn)數(shù)據(jù)同口徑估算；2、廣州南砂為廣州市發(fā)改委能評(píng)批復(fù)數(shù)據(jù)；3、上海天岳為根據(jù)上海市發(fā)改委能評(píng)批復(fù)數(shù)據(jù)估算。通過表2.5-1的對(duì)比分析可知，本項(xiàng)目單位產(chǎn)品電耗和綜合能耗指標(biāo)優(yōu)于同類項(xiàng)目指標(biāo)，采用了先進(jìn)生產(chǎn)工藝及先進(jìn)設(shè)備，在生產(chǎn)過程中也采取了有效的節(jié)能措施。綜合分析，本項(xiàng)目的單位產(chǎn)品電耗和綜合能耗指標(biāo)處于國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。碳碳復(fù)合材料我國(guó)尚未制定和碳/碳復(fù)合材料的能耗限額標(biāo)準(zhǔn)，也沒有制定行業(yè)能耗指標(biāo)，甘肅省也沒有相應(yīng)的地方標(biāo)準(zhǔn)，經(jīng)分析國(guó)內(nèi)同類型企業(yè)能耗主要如下：目前國(guó)內(nèi)主要碳碳復(fù)合材料企業(yè)包括金博股份、西安超碼（上市母公司為中天火箭）、陜西美蘭德、隆基綠能科技、蕪湖天鳥、天宜上佳等，其中金博股份為行業(yè)龍頭。本項(xiàng)目碳/碳復(fù)合材料與國(guó)內(nèi)典型同類型企業(yè)能耗主要如下：表2.5-2碳/碳復(fù)合材料單位產(chǎn)品能耗指標(biāo)對(duì)比分析表指標(biāo)名稱項(xiàng)目指標(biāo)同類項(xiàng)目1(湖南金博)同類項(xiàng)目1(西安超碼)產(chǎn)品綜合能耗指標(biāo)（tce/t）24.1125.534.3單位產(chǎn)品電耗指標(biāo)（萬kWh/t）12.9314.122.4注:1、表中同類項(xiàng)目指標(biāo)湖南金博根據(jù)其2021年財(cái)報(bào)數(shù)據(jù)推算；2、西安超碼為環(huán)境影響表數(shù)據(jù)估算。通過表2.5-2的對(duì)比分析可知，本項(xiàng)目碳/碳復(fù)合材料單位產(chǎn)品綜合能耗指標(biāo)優(yōu)于同類項(xiàng)目指標(biāo)，采用了先進(jìn)生產(chǎn)工藝及先進(jìn)設(shè)備，充分產(chǎn)業(yè)園區(qū)的公輔設(shè)施。綜合分析，本項(xiàng)目的單位產(chǎn)能耗指標(biāo)處于國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。2.5.2溫室氣體排放核算（1）《國(guó)家“十三五”控制溫室氣體排放工作方案》（國(guó)發(fā)[2016]61號(hào)）；（2）《關(guān)于切實(shí)做好全國(guó)碳排放權(quán)交易市場(chǎng)啟動(dòng)重點(diǎn)工作的通知》（發(fā)改辦氣候（201657號(hào)）；（3）《碳排放權(quán)交易管理辦法（試行）》（部令第19號(hào)）；（4）《工業(yè)其他行業(yè)工企業(yè)溫室氣體排放核算方法與報(bào)告指南（試行）》；核算邊界以獨(dú)立法人企業(yè)或視同法人的獨(dú)立核算單位為企業(yè)邊界，核算在運(yùn)營(yíng)上受其控制的所有生產(chǎn)設(shè)施產(chǎn)生的溫室氣體排放。設(shè)施范圍包括基本生產(chǎn)系統(tǒng)、輔助生態(tài)系統(tǒng)以及直接為生產(chǎn)服務(wù)的附屬生產(chǎn)系統(tǒng)，其中輔助生產(chǎn)系統(tǒng)包括廠區(qū)內(nèi)的動(dòng)力、供電、供水、采暖、制冷、機(jī)修、化驗(yàn)、儀表、倉庫、運(yùn)輸?shù)取８綄偕a(chǎn)系統(tǒng)包括生產(chǎn)指揮管理系統(tǒng)以及廠區(qū)內(nèi)為生產(chǎn)服務(wù)的部門和單位。本次評(píng)價(jià)的核算邊界為甘肅索通綠能碳材料有限公司碳化硅單晶片及碳/碳復(fù)合材料項(xiàng)目的邊界，包括運(yùn)營(yíng)上受其控制的所有生產(chǎn)設(shè)施產(chǎn)生的溫室氣體排放。碳排放源識(shí)別本項(xiàng)目主要排放源為：①燃料燃燒排放。主要指企業(yè)用于動(dòng)力或熱力供應(yīng)的燃燒過程產(chǎn)生的CO2排放。本項(xiàng)目生產(chǎn)中固定源化石燃料為碳碳復(fù)合材料熱處理所用的天然氣，移動(dòng)源化石燃料使用主要為廠內(nèi)運(yùn)輸貨車及叉車等。②凈購(gòu)入電力和熱力隱含的CO2排放，該部分排放實(shí)際上發(fā)生在生產(chǎn)這些電力或熱力的企業(yè)，但由報(bào)告主體的消費(fèi)活動(dòng)引起，依照約定也計(jì)入報(bào)告主體名下。表2.5-3排放單位碳排放源識(shí)別表碳排放分類排放源/設(shè)施排放設(shè)施位置相應(yīng)物料或能源種類備注化石燃料燃燒氣相沉積爐沉積爐煙氣天然氣凈購(gòu)入使用電力產(chǎn)生的排放廠內(nèi)所有用電設(shè)施全廠電力無凈購(gòu)入使用熱力產(chǎn)生的排放不涉及不涉及不涉及不涉及二氧化碳排放量計(jì)算報(bào)告主體的溫室氣體（GHG）排放總量應(yīng)等于燃料燃燒CO2排放量，加上火炬燃燒CO2排放量，加上工業(yè)生產(chǎn)過程CO2排放量，減去企業(yè)CO2回收利用量，再加上企業(yè)凈購(gòu)入電力和熱力隱含的CO2排放量。EGHG=ECO2_燃燒+ECO2_火炬+ECO2_過程?RCO2_回收+ECO2_凈電+ECO2_凈熱……（1）式中，EGHG為企業(yè)溫室氣體排放總量，單位為噸CO2當(dāng)量；ECO2_燃燒為企業(yè)由于化石燃料燃燒活動(dòng)產(chǎn)生的CO2排放，單位為噸CO2；ECO2_火炬為企業(yè)火炬燃燒導(dǎo)致的CO2直接排放，單位為噸CO2；ECO2_過程為企業(yè)的工業(yè)生產(chǎn)過程CO2排放，單位為噸CO2；ECO2_回收為企業(yè)的CO2回收利用量，單位為噸CO2；ECO2_凈熱為企業(yè)的凈購(gòu)入電力隱含的CO2排放，單位為噸CO2；①燃料燃燒排放：燃料燃燒CO2排放量主要基于企業(yè)邊界內(nèi)各個(gè)燃燒設(shè)施分品種的化石燃料燃燒量，乘以相應(yīng)的燃料含碳量和碳氧化率，再逐層累加匯總得到，公式如下：式中：CO2-燃燒-為燃料燃燒產(chǎn)生的CO2排放量，單位為噸CO2；AD-為燃?xì)馊紵?，以萬Nm3為單位CC-為燃料含碳量，以噸碳/萬Nm3為單位。OF為燃?xì)獾奶佳趸剩瑹o量綱，取值范圍為0~1。根據(jù)設(shè)計(jì)，天然氣消耗量為127萬Nm3/a，低位發(fā)熱量為35280kJ/Nm3（），單位熱值含碳量為15.3×10-3噸碳/GJ，碳化率為99%計(jì)算得ECO2_燃燒=300×29.40×10-3×0.93×44/12=30.0762（噸CO2）②凈購(gòu)入電力和凈購(gòu)入熱力排放：1.計(jì)算公式本項(xiàng)目不向外購(gòu)入熱力，企業(yè)凈購(gòu)入的電力、熱力消費(fèi)引起的CO2排放以及凈購(gòu)入的熱力消費(fèi)引起的CO2排放分別按下式計(jì)算：式中：ECO2-凈電為企業(yè)凈購(gòu)入的電力消費(fèi)引起的CO2排放，單位為噸CO2；ECO2-凈燃為企業(yè)凈購(gòu)入的熱力消費(fèi)引起的CO2排放，單位為噸CO2；AD電力為企業(yè)凈購(gòu)入的電力消費(fèi)，單位為MWh；AD熱力為企業(yè)凈購(gòu)入的熱力消費(fèi)，單位為GJ（百萬千焦）；EF電力為電力供應(yīng)的CO2排放因子，單位為噸CO2/MWh；EF電力為熱力供應(yīng)的CO2排放因子，單位為噸CO2/GJ。本項(xiàng)目生產(chǎn)用電力消耗，即18200萬kwh，根據(jù)《2019年中國(guó)區(qū)域電網(wǎng)基準(zhǔn)線排放因子》西北區(qū)域電網(wǎng)EFom=0.8922tCO2/MWh）經(jīng)計(jì)算：E電力=162380.41tCO2③碳排放量匯總根據(jù)計(jì)算，本項(xiàng)目二氧化碳排放總量為162410.4813t，詳見表2.5-4。表2.5-4 排放單位排放量匯總化石燃料燃燒排放量（tCO2）工業(yè)生產(chǎn)過程排放量（tCO2）凈購(gòu)入電力及熱力產(chǎn)生的排放量（tCO2）總排放量（t）30.07620162380.41162410.48132.5.3碳減排潛力分析本項(xiàng)目在工藝設(shè)計(jì)、設(shè)備選型、電氣系統(tǒng)、節(jié)能管理等各方面均采用了一系列節(jié)能措施，項(xiàng)目業(yè)主重視生產(chǎn)中各個(gè)環(huán)節(jié)的節(jié)能降耗，取得了較為明顯的節(jié)能效果。①工藝及設(shè)備節(jié)能通過采用各種先進(jìn)技術(shù)，大量降低物料消耗、減少生產(chǎn)中各種污染物的產(chǎn)生和排放。工藝流程緊湊、合理、順暢，最大限度的縮短中間環(huán)節(jié)物流運(yùn)距，節(jié)約投資和運(yùn)行成本。優(yōu)化設(shè)備布置，縮短物料輸送距離，使物料流向符合流程，盡量借用位差，減少重力提升。系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，最大限度地提高開機(jī)利用率，減少設(shè)備空轉(zhuǎn)時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。投入設(shè)備自動(dòng)化保護(hù)裝置，減少人工成本，同時(shí)保證設(shè)備的正常運(yùn)行、減少事故率。本項(xiàng)目主要工藝生產(chǎn)設(shè)備選型在保證技術(shù)先進(jìn)、性能可靠的前提下，大多數(shù)采用節(jié)能型設(shè)備。主要用能設(shè)備選擇具備技術(shù)先進(jìn)性、高效性和可靠性、在國(guó)內(nèi)外廣泛使用的產(chǎn)品，采用先進(jìn)的自動(dòng)控制系統(tǒng)，使各生產(chǎn)系統(tǒng)在優(yōu)化條件下操作，提高用能水平。從節(jié)能、環(huán)保角度出發(fā)，設(shè)計(jì)優(yōu)先選用效率高、能耗低、噪聲低的設(shè)備。②電氣節(jié)能選用節(jié)能型變壓器，將變壓器設(shè)置在負(fù)荷中心，可以減少低壓側(cè)線路長(zhǎng)度，降低線路損耗。在車間變電所低壓側(cè)母線上裝設(shè)并聯(lián)電容器，有效降低變壓器和線路的損耗。加強(qiáng)運(yùn)行管理，實(shí)現(xiàn)變壓器經(jīng)濟(jì)運(yùn)行：在企業(yè)負(fù)荷變化情況下，要及時(shí)投入或切除部分變壓器，防止變壓器輕載和空載運(yùn)行。按照《建筑照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》（GB50034-2013）及使用要求，合適地設(shè)計(jì)及考慮各個(gè)場(chǎng)所的照度值及照明功率密度值。廠區(qū)道路照明電源在保證合理電壓降情況下實(shí)行多點(diǎn)供電，并統(tǒng)一控制開閉，光源為高壓鈉燈。盡量采用天然采光，減少人工照明。③給排水節(jié)能充分利用市政水壓，在其壓力范圍內(nèi)的配水點(diǎn)采用市政供水。站房位置盡量安排在用水集中點(diǎn)、合理進(jìn)行管網(wǎng)布局，減少壓損。各部門要根據(jù)生產(chǎn)及生活的實(shí)際情況，合理配置水表等計(jì)量裝置，減少水資源浪費(fèi)。選用合格的水泵、閥門、管道、管件以及衛(wèi)生潔具，做到管路系統(tǒng)不發(fā)生滲漏和爆裂。采用管內(nèi)壁光滑、阻力小的給水管材，給水水嘴采用密封新能好、能限制出流流率并經(jīng)國(guó)家有關(guān)質(zhì)量檢測(cè)部門檢測(cè)合格的節(jié)水水嘴。生活供水系統(tǒng)采用變頻調(diào)速供水設(shè)備，可根據(jù)不同時(shí)段用水量變化調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速降低電耗。④熱力節(jié)能為了減少管道及設(shè)備的散熱損失，選用保溫材料品種和確定保溫結(jié)構(gòu)。采用自力式流量調(diào)節(jié)閥，對(duì)蒸汽流量進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)和控制，實(shí)現(xiàn)管網(wǎng)調(diào)度、運(yùn)行、調(diào)節(jié)的自動(dòng)監(jiān)控。⑤通風(fēng)節(jié)能措施在建筑耗能中，空調(diào)耗能量占有較大的比例。根據(jù)不同情況采取相應(yīng)的節(jié)能措施。車間控制室與工藝配合將控制室遠(yuǎn)離散熱設(shè)備配置，加強(qiáng)控制室的隔熱保溫，以減少冷負(fù)荷。分散式空調(diào)機(jī)均采用COP大于3.3的高效產(chǎn)品，且能力調(diào)節(jié)自動(dòng)化程度高。集中空調(diào)系統(tǒng)的冷源裝置是耗能最大的設(shè)備，本設(shè)計(jì)采用的是全封閉螺桿式水冷冷水機(jī)組，其性能優(yōu)良，能量調(diào)節(jié)的自動(dòng)化程度高，與末端盤管溫控裝置配合更有效地實(shí)現(xiàn)節(jié)能目的。冷（熱）水的供、回水管，采用高效保溫材料進(jìn)行保溫，減少冷（熱）損失。通風(fēng)系統(tǒng)在設(shè)計(jì)中，具備自然通風(fēng)條件場(chǎng)合均采用自然通風(fēng)，以節(jié)約電能。一般的機(jī)械通風(fēng)系統(tǒng)均采用自然進(jìn)風(fēng)，機(jī)械排風(fēng)形式或自然排風(fēng)，從而節(jié)約風(fēng)機(jī)用電能。機(jī)械通風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)機(jī)選用低能耗高效率的軸流式風(fēng)機(jī)，使得通