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1、壓力測(cè)量,壓力的 基本概念 液柱式壓力計(jì) U型管壓力計(jì)、單管壓力計(jì)、斜管式微壓計(jì) 彈性式壓力計(jì) 彈簧管式、膜片(盒)式、波紋管式 電氣式壓力測(cè)量 電容式壓力壓差變送器、霍爾壓力變送器、壓電式壓力傳感器、固體壓阻式壓力壓差傳感器 壓力檢測(cè)儀表的選擇,壓力 垂直作用于物體表面上的力 壓強(qiáng) 垂直作用于單位面積物體表面上的力 在建筑環(huán)境與設(shè)備的測(cè)試中,并不嚴(yán)格區(qū)分壓力和壓強(qiáng)。通常所說(shuō)的壓力實(shí)際上是指壓強(qiáng)。 壓差 測(cè)量?jī)蓚€(gè)壓力之差稱壓差 表壓力 壓力儀表指示的壓力值 缺省情況下,所說(shuō)的壓力值即指表壓力 表壓力可正可負(fù),為負(fù)時(shí)其絕對(duì)值稱為真空度。,概述,一、基本概念,帕(Pa) N/m2,國(guó)際單位 兆帕(

2、MPa) 106Pa 工程大氣壓, kgf/cm2 ,98070 Pa 約等于一個(gè)大氣壓(1.013e+5 Pa) ,“自來(lái)水壓頭是5公斤”,用的就是這個(gè)單位。 mmH2O, 9.81 Pa mmHg ,133 Pa,壓力單位,二壓力測(cè)量?jī)x表的分類,1液柱式壓力計(jì) 2彈性式壓力計(jì) 3電氣式壓力計(jì) 4活塞式壓力計(jì),液柱式壓力計(jì),分類 U型管壓力計(jì) 單管壓力計(jì) 斜管式微壓計(jì) 特點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,準(zhǔn)確度比較高,常用于測(cè)量低壓、負(fù)壓、差壓。 缺點(diǎn):體積大,讀數(shù)不方便,玻璃管易損壞。,一U型管壓力計(jì),假設(shè)被測(cè)的介質(zhì)為氣體,可忽略被測(cè)介質(zhì)的高度形成的靜壓值。根據(jù)流體靜力學(xué)原理可得:,U型管內(nèi)徑一般為

3、5-20mm,為了減少毛細(xì)現(xiàn)象,管子內(nèi)徑一般不少于10mm,,二單管式壓力計(jì),因?yàn)锳1、A2為常數(shù),這樣可通過一次讀數(shù)進(jìn)行壓差測(cè)量。當(dāng)A2/A1很小時(shí),h1可忽略,公式簡(jiǎn)化為:,Pd,Px,直管,h1,h2,三、斜管式微壓計(jì),P1,主要用于測(cè)量微小的壓力、負(fù)壓和壓差。為了減少讀數(shù)的相對(duì)誤差,拉長(zhǎng)液柱,將測(cè)量管傾斜放置。,彈性式壓力計(jì)一、概述,原理:彈性壓力表是利用各種不同形狀彈性感壓元件在被測(cè)壓力的作用下,產(chǎn)生彈性變形制成的測(cè)壓儀表 特點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、牢固可靠、測(cè)壓范圍廣、使用方便、造價(jià)低廉、有足夠的精度,可遠(yuǎn)傳 常用彈性壓力表: 膜片(盒)式 波紋管式 彈簧管式,二彈性元件及其特性,1膜片式:

4、使用時(shí)周邊夾緊,測(cè)低壓、微壓。將兩塊膜片沿周邊對(duì)焊起來(lái),形成一膜盒,膜盒式微壓計(jì)通常用于測(cè)量爐膛和煙道尾部負(fù)壓。精度等級(jí)為2.5,最高可達(dá)1.5級(jí)。,2波紋管:開口端固定,封閉端的位移作為輸出,由于波紋管的位移相對(duì)較大,故靈敏度高,常用于測(cè)量較低的壓力(1.0-106Pa) 精度等級(jí)1.5級(jí)。,3彈簧管: 單圈彈簧管 多圈彈簧管,二彈性元件及其特性,彈簧管壓力計(jì),彈簧管壓力計(jì),電氣式壓力檢測(cè),一電容式壓力傳感器: 將彈性元件的位移轉(zhuǎn)變成電信號(hào)。,運(yùn)算放大器式電路,最大特點(diǎn):能克服變極距型電容傳感器的非線性,Cx是傳感器電容 C是固定電容 u0是輸出電壓信號(hào),運(yùn)算放大器式電路原理圖,由運(yùn)算放大器

5、工作原理可知,結(jié)論:從原理上保證了變極距型電容式傳感器的線性。,電容式差壓/壓力變送器,二壓電式壓力傳感器,壓電效應(yīng):壓電材料在受壓時(shí)會(huì)在其表面產(chǎn)生電荷,產(chǎn)生的電荷量與所受的壓力成正比。 壓電材料: 單晶體,例如石英、酒石酸鉀鈉等 多晶體,例如壓電陶瓷,在沒有極化之前,因各單晶體的壓電效應(yīng)都互相抵消表現(xiàn)為電中性,為此必須對(duì)壓電陶瓷先進(jìn)行極化處理,經(jīng)極化處理的壓電陶瓷具有非常高的壓電系數(shù),為石英的幾百倍。,二壓電式壓力傳感器,特點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊,小巧輕便,工作可靠,具有線性度高量程范圍大等優(yōu)點(diǎn)。 缺點(diǎn):但是由于產(chǎn)生的電荷量少,因此后續(xù)需加高阻抗的直流放大器。由于晶體邊緣上存在漏電現(xiàn)象,因此不能

6、用于穩(wěn)態(tài)測(cè)量。,壓電式壓力傳感器結(jié)構(gòu),二壓電式壓力傳感器,三固體壓阻式壓力壓差傳感器,原理: 電阻的尺寸發(fā)生變化,例如電阻的長(zhǎng)度、橫截面 積發(fā)生變化將引起電阻的變化。 電阻的電阻率發(fā)生變化也將引起電阻阻值的變化。 分類:應(yīng)變片:受壓或受拉時(shí),電阻的尺寸L、S 發(fā)生變化,引起電阻的變化。 半導(dǎo)體擴(kuò)散硅:在壓力的作用下,電阻率發(fā) 生變化。 通常半導(dǎo)體擴(kuò)散硅電阻變化的靈敏度要遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于應(yīng)變片,大約為100倍。,公式:,應(yīng)變效應(yīng)的理論基礎(chǔ) 金屬導(dǎo)體的電阻定律(線材),其全微分:,給出了總電阻的相對(duì)變化量與其它三個(gè)量的相對(duì)變化的關(guān)系。在力的作用下,L、A、均可發(fā)生變化。,1.應(yīng)變式電阻傳感器,材料的泊松比

7、 與 dL/L、dA/A 在力的作用下的相互關(guān)系,得:,A =r 2,y,x,y,y,x,r,dr,L,dL,e,m,m,e,e,e,e,=,-,=,=,=,則有,,,、徑向應(yīng)變?yōu)?設(shè)軸向應(yīng)變?yōu)?K為靈敏系數(shù),c 是一個(gè)與材料性質(zhì)和加工方法有關(guān)的常數(shù)。,x,e,-,半導(dǎo)體材料的總電阻的相對(duì)變化與應(yīng)變的關(guān)系為:,最后得到半導(dǎo)體應(yīng)變電阻效應(yīng)的靈敏系數(shù) :,*,討論:一般材料= 0.20.4、E =(0.12.1)1011N/m2、=(4080)10-11m2/N,所以:,由此可見半導(dǎo)體材料的應(yīng)變電阻效應(yīng)要更大些。,分類 (按敏感柵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和構(gòu)成材料進(jìn)行分類),絲式 箔式 半導(dǎo)體式,電阻應(yīng)變片的結(jié)

8、構(gòu)及工作方式 基本結(jié)構(gòu),1-5,工作方式 (工作原理),應(yīng)變片在使用時(shí),用粘合劑粘在試件表面,用來(lái)測(cè)量試件表面的應(yīng)變的。粘貼時(shí)需使柵絲的軸線沿應(yīng)變方向。,注:當(dāng)試件的應(yīng)變方向不單一時(shí),要使用多片。,1直流電橋法,當(dāng)負(fù)載電阻R L時(shí),輸出電壓U0,1-6,當(dāng)負(fù)載電阻R L為有限值時(shí)的輸出電壓U0,實(shí)際使用中負(fù)載電阻R L雖然無(wú)法滿足,但下式很容易滿足:,此時(shí)輸出電壓U0仍可表示為:,電橋的平衡條件: 這是我們熟知的:U0=0 R1R4-R2R3=0,電壓靈敏度,根據(jù)電橋的平衡條件,在平衡條件下有:,應(yīng)變片受應(yīng)變作用,電橋從平衡狀態(tài)開始, R 1 R 1+R 1, U0 為:,實(shí)際應(yīng)用中,可用電阻

9、應(yīng)變片來(lái)代替R1,設(shè)橋臂比n :,(1)單臂電橋,(2)半橋差動(dòng)電路,由于n = 1 所以,輸出U 0為純線性,且靈敏度提高了一倍。,1-7,(2)全橋電路,輸出U 0為也純線性,且靈敏度又提高了一倍。,1-8,4.應(yīng)變式電阻傳感器的應(yīng)用,應(yīng)變式壓力傳感器 薄板式(膜片式)壓力傳感器 當(dāng)流體的壓強(qiáng)作用在薄板上,薄板就會(huì)產(chǎn)生形變(應(yīng)變),貼在另一側(cè)的應(yīng)變片隨之形變(應(yīng)變),通過橋式等測(cè)量電路,可以測(cè)出與應(yīng)變相對(duì)應(yīng)的輸出電壓,從而得到壓力的大小。, 貼片位置,在t =r的兩個(gè)半徑處分別粘貼個(gè)于檢測(cè)徑向應(yīng)變和切向應(yīng)變的應(yīng)變片,構(gòu)成全差動(dòng)電橋。, 筒式應(yīng)變壓力傳感器,性能特點(diǎn):可用于高壓測(cè)量。 結(jié)構(gòu)特

10、點(diǎn):圓柱盲孔,環(huán)向應(yīng)變。,環(huán)向應(yīng)變p,壁厚較薄時(shí),以上兩款壓力傳感器均是利用彈性元件將壓力轉(zhuǎn)變成應(yīng)變,再用應(yīng)變電阻(應(yīng)變片)將這種應(yīng)變轉(zhuǎn)變成電阻的變化,從而測(cè)得作用壓力的大小。金屬應(yīng)變片的性能較為穩(wěn)定,工藝也較為成熟,但比較復(fù)雜,貼片的工藝水平對(duì)性能的影響較大,輸出較小。,固態(tài)壓力傳感器 (1)結(jié)構(gòu) 利用半導(dǎo)體擴(kuò)散技術(shù),在n型硅基底(硅杯的圓形膜片)上擴(kuò)散出4個(gè)p型電阻,利用其壓阻效應(yīng),構(gòu)成敏感電橋,當(dāng)壓力作用在薄片上,通過橋式等測(cè)量電路,可以測(cè)出與應(yīng)變相對(duì)應(yīng)的輸出電壓,從而得到壓力的大小。,(2) 受壓圓膜的應(yīng)力分布,徑向 切向, 單晶體的軸向應(yīng)力 單晶體的壓阻系數(shù)(不是圓周率),壓力檢測(cè)儀表的選擇與校驗(yàn),一壓力檢測(cè)儀表的選擇 測(cè)壓范圍,測(cè)試精度要求,被測(cè)介質(zhì)的物理化學(xué)性質(zhì)。,1.儀表量程選用 為保證安全性,壓力較穩(wěn)定時(shí),最大工作壓力不超過儀表量程的3/4,壓力波動(dòng)較大時(shí),最大工作壓力不超過儀表量程的2/3。 為保證準(zhǔn)確度,最小工作壓力不低于滿量程的1/3。,2儀表精度的選擇,根據(jù)在測(cè)量時(shí)允許的最大測(cè)量誤差選擇儀表,可根據(jù)儀表的精度等級(jí)算出用該儀表測(cè)量可能引起的最大示值絕對(duì)誤差。 另外在選擇儀表時(shí)不需一味追求高精度,只要滿足測(cè)量精度要求即可。,彈簧管壓力表量程

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