GB50073-2001潔凈廠房設計規(guī)范.pdf

中 國 消 防 人 網(wǎng) 站 中 國 消 防 人 網(wǎng) 站 致力于消防技術與電子商務的發(fā)展 擁有消防行業(yè)最全、最實用的專業(yè)技術資料數(shù)據(jù)庫、產(chǎn)品信息數(shù)據(jù)庫、企業(yè)信息數(shù)據(jù)庫 是集技術、商務為一體的行業(yè)門戶網(wǎng)站 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 資料編號： GB 50073-2001 UDC 中華人民共和國國家標準 P GB 500732001 潔 凈 廠 房 設 計 規(guī) 范潔 凈 廠 房 設 計 規(guī) 范 Code for design of clean room 20011113 發(fā)布發(fā)布 20020101 實施實施 中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局 聯(lián)合發(fā)布 中華人民共和國建設部 第 1 頁，共 41 頁 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 資料編號： GB 50073-2001 中華人民共和國國家標準 潔 凈 廠 房 設 計 規(guī) 范潔 凈 廠 房 設 計 規(guī) 范 Code for design of clean room GB 50073-2001 主編部門:中華人民共和國信息產(chǎn)業(yè)部 批準部門:中 華 人 民 共 和 國 建 設 部 施行日期:2 0 0 2 年1 月1 日 第 2 頁，共 41 頁 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 資料編號： GB 50073-2001 關于發(fā)布國家標準 潔凈廠房設計規(guī)范的通知 建標2001231 號 根據(jù)國家計委“關于印發(fā)一九九二年工程建設國家標準制訂、修訂計劃的 通知”(計綜合1992490 號)的要求，由信息產(chǎn)業(yè)部會同有關部門共同修訂的潔凈 廠房設計規(guī)范 ，經(jīng)有關部門會審，批準為國家標準，編號為 GB50073-2001，自 2002 年 1 月 1 日起施行。其中，3.0.1、4.2.2、4.2.3、4.3.1、4.3.2(1 款)、4.3.3(1、2、4、5 款)、4.3.4(1 款)、4.3.7、4.4.1、4.4.3、4.4.4、4.5.1、5.2.1、5.2.2、5.2.3、5.2.4、5.2.5、 5.2.6、5.2.7、5.2.8、5.2.9、5.2.10、5.2.11、5.3.1、5.3.2(1、2 款)、5.3.3(1、2 款)、 5.3.5(1 款)、5.3.7(1 款)、5.3.10、6.1.4、6.1.5、6.2.1、6.2.2、6.2.4、6.3.1(1、3、4 款)、 6.3.2、6.3.3、6.4.1(1、2、3、4 款)、6.5.1、6.5.2、6.5.3、6.5.4、6.5.5、6.5.6、6.5.7、 6.6.2、6.6.4、6.6.6、7.2.2、7.3.1、7.3.2、7.3.3(1、4 款)、7.4.1、7.4.2、7.4.3、7.4.4、 7.4.5(2 款)、8.1.1、8.1.3、8.1.5、8.1.9(2、3 款)、8.4.1、8.4.2、8.4.3、8.4.4、8.4.5、 9.2.2、9.2.3、9.2.6(1 款)、9.2.7、9.3.3、9.3.4、9.3.5、9.3.6、9.4.1、9.4.3、9.5.2、9.5.3、 9.5.4、9.5.5、9.5.6、9.5.7 為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。原國家標準潔凈廠房設 計規(guī)范(GBJ73-84)同時廢止。 本規(guī)范由中華人民共和國信息產(chǎn)業(yè)部負責管理，中國電子工程設計院負責具體 解釋工作，建設部標準定額研究所組織中國計劃出版社出版發(fā)行。 中華人民共和國建設部 二一年十一月十三日 第 3 頁，共 41 頁 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 資料編號： GB 50073-2001 前前 言言 本規(guī)范是根據(jù)建設部、 計委計綜合1992490 號和1992建標字第 10 號文的要求， 由我部負責主編。具體由中國電子工程設計院會同有關單位共同對潔凈廠房設計 規(guī)范GBJ 73-84 修訂而成。在修訂過程中，修訂組結合我國潔凈廠房設計建造和運 行的實際情況，進行了廣泛的調查研究和必要的測試工作，認真總結了潔凈廠房 設計規(guī)范GBJ 73-84 執(zhí)行 10 多年來的經(jīng)驗，等效采用國際標準 ISO14644-1潔凈 室及相關受控環(huán)境，第一部分-空氣潔凈度等級的潔凈度等級。廣泛征求了全國有 關單位的意見，最后由我部會同有關部門審查定稿。 本規(guī)范共 9 章和 4 個附錄。其主要內容有:總則、術語、空氣潔凈度等級、總體 設計、建筑、空氣凈化、給水排水、氣體管道、電氣等。 本規(guī)范在執(zhí)行過程中，希望各行業(yè)、各單位結合工程實踐，認真總結經(jīng)驗，如 發(fā)現(xiàn)需要修改和補充之處，請將意見和有關資料寄交北京市海淀區(qū)萬壽路 27 號中國 電 子 工 程 設 計 院 潔 凈 廠 房 設 計 規(guī) 范 管 理 組 ( 郵 編 :100840 傳 真-mail:www.ceedi )，以供今后修訂時參考。 本規(guī)范主編單位、參編單位和主要起草人: 主編單位主編單位:中國電子工程設計院 參編單位參編單位:信息產(chǎn)業(yè)部第十一設計研究院 中國石油化工集團上海醫(yī)藥工業(yè)設計院 中國建筑科學研究院 主要起草人主要起草人:劉存宏 陳霖新 張利群 王唯國 繆德驊 郝錫澤 趙 海 俞渭雄 周春海 晁 陽 賀繼行 陸 原 肖紅梅 樊勖昌 譚易和 黃德明 郭興周 冷捷敏 馮佩明 第 4 頁，共 41 頁 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 資料編號： GB 50073-2001 目目 次次 1 總 則 .7 2 術 語 .8 3 空氣潔凈度等級12 4 總 體 設 計.13 4.1 潔凈廠房位置選擇和總平面布置13 4.2 工藝平面布置和設計綜合協(xié)調 .13 4.3 人員凈化和物料凈化.14 4.4 噪 聲 控 制15 4.5 微 振 控 制16 5 建 筑 .18 5.1 一 般 規(guī) 定18 5.2 防火和疏散18 5.3 室 內 裝 修19 6 空 氣 凈 化.21 6.1 一 般 規(guī) 定21 6.2 潔凈室壓差控制 21 6.3 氣流流型和送風量 22 6.4 空氣凈化處理 23 6.5 采暖通風、防排煙 23 6.6 風管和附件24 7 給 水 排 水.26 7.1 一 般 規(guī) 定26 7.2 給 水 .26 7.3 排 水 .26 7.4 消防給水和滅火設備.27 8 氣 體 管 道.28 8.1 一 般 規(guī) 定28 第 5 頁，共 41 頁 8.2 管道材料和閥門 28 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 資料編號： GB 50073-2001 8.3 管 道 連 接29 8.4 安 全 技 術29 9 電 氣 .31 9.1 配 電 .31 9.2 照 明 .31 9.3 通 信 .32 9.4 自 動 控 制33 9.5 靜電防護及接地 33 附錄 A 潔凈廠房生產(chǎn)工作間的火災危險性分類舉例 35 附錄 B 凈化空調系統(tǒng)設計對維護管理的要求 36 附錄 C 潔凈室或潔凈區(qū)性能測試和認證 .37 C1 通 則37 C2 潔凈室或潔凈區(qū)性能測試要求37 C3 潔凈室測試方法.38 C4 監(jiān) 測39 C5 認 證39 C6 記 錄40 本規(guī)范用詞說明.41 第 6 頁，共 41 頁 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 1 總 總 則則 1.0.1 潔凈廠房設計必須做到技術先進、經(jīng)濟適用、安全可靠、確保質量，并應符 合節(jié)約能源、勞動衛(wèi)生和環(huán)境保護的要求。 1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴建和改建潔凈廠房的設計。 1.0.3 潔凈廠房設計應為施工安裝、維護管理、檢修測試和安全運行創(chuàng)造必要的條 件。 1.0.4 潔凈廠房設計除應按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應符合現(xiàn)行的有關強制性國家標準、 規(guī)范的規(guī)定。 第 7 頁，共 41 頁 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 資料編號： GB 50073-2001 2 術 術 語語 2.0.1 潔凈室 clean room 空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產(chǎn)生及滯留 粒子。室內其它有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。 2.0.2 潔凈區(qū) clean zone 空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘入、產(chǎn)生 及滯留粒子。空間內其它有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區(qū) 可以是開放式或封閉式。 2.0.3 移動式潔凈小室 clean booth 可整體移動位置的小型潔凈室。有剛性或薄膜圍檔兩類。 2.0.4 人身凈化用室 room for cleaning human body 人員在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。 2.0.5 物料凈化用室 room for cleaning material 物料在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。 2.0.6 粒徑 partical size 由給定的粒子尺寸測定儀響應當量于被測粒子等效的球體直徑。對離散粒子計 數(shù)、光散射儀器采用當量光學直徑。 2.0.7 懸浮粒子 airborne particles 用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在 0.15m 的固體和液體粒 子。 2.0.8 超微粒子 ultrafine particle 具有當量直徑小于 0.1m 的粒子。 2.0.9 微粒子 macroparticle 具有當量直徑大于 5m 的粒子。 2.0.10 粒徑分布 particle size distribution 粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數(shù)。 2.0.11 含塵濃度 particle concentration 單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。 第 8 頁，共 41 頁 2.0.12 潔凈度 cleanliness 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 資料編號： GB 50073-2001 以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度。 2.0.13 氣流流型 air pattern 對室內空氣的流動形態(tài)和分布進行合理設計。 2.0.14 單向流 unidirectional airflow 沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風速一致的氣流。 2.0.15 垂直單向流 vertical unidirectional airflow 與水平面垂直的單向流。 2.0.16 水平單向流 horizontal unidirectional airflow 與水平面平行的單向流。 2.0.17 非單向流 non-unidirectional airflow 凡不符合單向流定義的氣流。 2.0.18 混合流 mixed airflow 單向流和非單向流組合的氣流。 2.0.19 潔凈工作區(qū) clean working area 指潔凈室內離地面高度 0.81.5m(除工藝特殊要求外)的區(qū)域。 2.0.20 空氣吹淋室 air shower 利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員表面附著粒子的小室。 2.0.21 氣閘室 air lock 設置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設置的緩沖間。 2.0.22 傳遞窗 pass box 在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的開口。兩側裝有不能同時開啟的窗 扇。 2.0.23 潔凈工作臺 clean bench 能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺。 2.0.24 潔凈工作服 clean working garment 為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。 2.0.25 空態(tài) as-built 設施已經(jīng)建成，所有動力接通并運行，但無生產(chǎn)設備、材料及人員。 2.0.26 靜態(tài) at-rest 第 9 頁，共 41 頁 設施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應商同意的狀態(tài)運行，但無 生產(chǎn)人員。 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 資料編號： GB 50073-2001 2.0.27 動態(tài) operational 設施以規(guī)定的狀態(tài)運行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀況下進行工作。 2.0.28 檢漏試驗 leakage test 檢查空氣過濾器及其與安裝框架連接部位等的密封性試驗。 2.0.29 高效空氣過濾器 HEPA(high efficiency particulate airfilter) 在額定風量下，對粒徑大于等于 0.3m 粒子的捕集效率在 99.9%以上及氣流阻 力在 250Pa 以下的空氣過濾器。 2.0.30 超高效空氣過濾器 ULPA(ultra low penetration airfilter) 在額定風量下，對粒徑 0.10.2m 粒子的捕集效率在 99.999%以上及氣流阻力 在 280Pa 以下的空氣過濾器。 2.0.31 純水 purity water 對電解質雜質含量(常以電阻率表征)和非電解質雜質(如微粒、有機物、細菌和 溶解氣體等)含量均有要求的水。 2.0.32 防靜電環(huán)境 ESD controlled environment 能防止靜電危害的特定環(huán)境，在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電，靜電產(chǎn)生后易于消 散或消除，靜電噪聲難以傳播。 2.0.33 表面電阻 surface resistance 在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。 2.0.34 體積電阻 volume resistance 在材料的相對兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過兩電極間的穩(wěn)態(tài)電 流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。 2.0.35 表面電阻率 surface resistivity 在材料表面層的直流電場強度與穩(wěn)態(tài)電流線密度之商。其量綱為/。 2.0.36 體積電阻率 volume resistivity 在材料內層的直流電場強度與穩(wěn)態(tài)電流密度之商。其量綱為cm。 2.0.37 專用消防口 fire-firing access 消防人員為滅火而進入建筑物的專用入口，平時封閉，使用時由消防人員從室 外打開。 2.0.38 自凈時間 cleanliness vecoverly characteristic 第 10 頁，共 41 頁 潔凈室被污染后，凈化空調系統(tǒng)開始運行至恢復到穩(wěn)定的規(guī)定室內潔凈度等級 的時間。 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 2.0.39 生物潔凈室 biological cleanroom 潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規(guī)定值內的限定空間。 2.0.40 浮游菌 airborne viable particles 潔凈室懸浮在空氣中的菌落。 2.0.41 沉降菌 colony forming unit 潔凈室降落在培養(yǎng)皿上的菌落。 第 11 頁，共 41 頁 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠 3 空氣潔凈度等級 空氣潔凈度等級 3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)內空氣中懸浮粒子潔凈度等級應按表潔凈室及潔凈區(qū)內空氣中懸浮粒子潔凈度等級應按表 3.0.1 確定。確定。 表表 3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3) 空氣潔凈空氣潔凈 度等級度等級 (N) 0.1m 0.2m 0.3m 0.5m 1m 5m 1 10 2 2 100 24 10 4 3 1000 237 102 35 8 4 10000 2370 1020 352 83 5 100000 23700 10200 3520 832 29 6 1000000 237000 102000 35200 8320 293 7 352000 83200 2930 8 3520000 832000 29300 9 35200000 8320000 293000 注：每個采樣點應至少采樣注：每個采樣點應至少采樣 3 次。次。 本標準不適用于表征懸浮粒子的物理性、化學性、放射性及生命性。本標準不適用于表征懸浮粒子的物理性、化學性、放射性及生命性。 根據(jù)工藝要求確定根據(jù)工藝要求確定 12 種粒徑。種粒徑。 各種要求粒徑各種要求粒徑 D 的粒子最大允許濃度的粒子最大允許濃度 Cn由公式由公式(3.0.1)確定，要求的粒徑在確定，要求的粒徑在 0.15 m 范圍，包括范圍，包括 0.1m 及及 5m。 08. 2 ) 1 . 0 (10 D C N n = (3.0.1) 式中 式中 Cn大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度(pc/m3)。Cn是以四舍五入至相 近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過三位數(shù)。 是以四舍五入至相 近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過三位數(shù)。 N潔凈度等級，數(shù)字不超出潔凈度等級，數(shù)字不超出 9，潔凈度等級整數(shù)之間的中間數(shù)可以按，潔凈度等級整數(shù)之間的中間數(shù)可以按 0.1 為最 小允許遞增量。 為最 小允許遞增量。 D要求的粒徑要求的粒徑(m)。 0.1常數(shù)，其量綱為常數(shù)，其量綱為m。 3.0.2 空氣潔凈度等級所處狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài))應與業(yè)主協(xié)商確定。 3.0.3 空氣潔凈度的測試方法按附錄 C 要求進行。 第 12 頁，共 41 頁 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 4 總 總 體體 設設 計計 4.1 潔凈廠房位置選擇和總平面布置 潔凈廠房位置選擇和總平面布置 4.1.1 潔凈廠房位置的選擇，應根據(jù)下列要求并經(jīng)技術經(jīng)濟方案比較后確定: 1 應在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域。 2 應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、 貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域。如不能遠離嚴重空氣污染 源時，則應位于最大頻率風向上風側，或全年最小頻率風向下風側。 3 應布置在廠區(qū)內環(huán)境清潔、人流、物流不穿越或少穿越的地段。 4.1.2 對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定周圍現(xiàn)有振源的 振動影響，并應與精密設備、精密儀器儀表容許振動值分析比較后確定。 4.1.3 潔凈廠房與交通干道之間的距離宜大于 50m。 4.1.4 潔凈廠房周圍宜設置環(huán)形消防車道(可利用交通道路)，如有困難，可沿廠房 的兩個長邊設置消防車道。 4.1.5 潔凈廠房周圍的道路面層，應選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。 4.1.6 潔凈廠房周圍應進行綠化?？射佒膊萜?，不應種植對生產(chǎn)有害的植物，并不 得妨礙消防作業(yè)。 4.2 工藝平面布置和設計綜合協(xié)調 工藝平面布置和設計綜合協(xié)調 4.2.1 工藝平面布置應符合下列要求: 1 工藝平面布置應合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內只布置必要的工藝設備，以 及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。 2 在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下，空氣潔凈度等級高的潔凈室或潔凈區(qū) 宜靠近空氣調節(jié)機房，空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置。 3 潔凈室內要求空氣潔凈度等級高的工序應布置在上風側，易產(chǎn)生污染的工藝 設備應布置在靠近回風口位置。 4 應考慮大型設備安裝和維修的運輸路線，并預留設備安裝口和檢修口。 5 不同空氣潔凈度等級房間之間聯(lián)系頻繁時，宜設有防止污染的措施，如緩沖 間、氣閘室、傳遞窗等。 第 13 頁，共 41 頁 6 應設置單獨的物料入口，物料傳遞路線應最短，物料進入潔凈區(qū)之前必須進 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 資料編號： GB 50073-2001 行清潔處理。 4.2.2 潔凈廠房的平面和空間設計， 應滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求。 潔凈區(qū)、 人員凈化、物料凈化和其它輔助用房應分區(qū)布置。同時應考慮生產(chǎn)操作、工藝設備安 裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調系統(tǒng)各種技術設施的綜合協(xié)調。 潔凈廠房的平面和空間設計， 應滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求。 潔凈區(qū)、 人員凈化、物料凈化和其它輔助用房應分區(qū)布置。同時應考慮生產(chǎn)操作、工藝設備安 裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調系統(tǒng)各種技術設施的綜合協(xié)調。 4.2.3 潔凈廠房內應少設隔間，但在下列情況下應予分隔 潔凈廠房內應少設隔間，但在下列情況下應予分隔: 1 按生產(chǎn)的火災危險性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間，或 有防火分隔要求者。 按生產(chǎn)的火災危險性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間，或 有防火分隔要求者。 2 生產(chǎn)聯(lián)系少，并經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段之間。 生產(chǎn)聯(lián)系少，并經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段之間。 4.2.4 在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求的條件下，潔凈廠房內各種固定技術 設施(如送風口、照明器、回風口、各種管線等)的布置，應優(yōu)先考慮凈化空調系統(tǒng)的 要求。 4.3 人員凈化和物料凈化 人員凈化和物料凈化 4.3.1 潔凈廠房內應設置人員凈化、物料凈化用室和設施，并應根據(jù)需要設置生活用 室和其它用室。 潔凈廠房內應設置人員凈化、物料凈化用室和設施，并應根據(jù)需要設置生活用 室和其它用室。 4.3.2 人員凈化用室和生活用室的設置應為 人員凈化用室和生活用室的設置應為: 1 人員凈化用室，應包括雨具存放、換鞋、管理、存外衣、更潔凈工作服等房 間。 人員凈化用室，應包括雨具存放、換鞋、管理、存外衣、更潔凈工作服等房 間。 2 廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作 服洗滌間和干燥間等其它用室，可根據(jù)需要設置。 4.3.3 人員凈化用室和生活用室的設計，應符合下列要求 人員凈化用室和生活用室的設計，應符合下列要求: 1 人員凈化用室的入口處，應設凈鞋措施。 人員凈化用室的入口處，應設凈鞋措施。 2 存外衣和更潔凈工作服應分別設置。 存外衣和更潔凈工作服應分別設置。 3 外衣存衣柜應按設計人數(shù)每人設一柜，潔凈工作服宜集中掛入帶有空氣吹淋 的潔凈柜內。 4 盥洗室應設洗手和烘干設施。 盥洗室應設洗手和烘干設施。 5 空氣吹淋室應設在潔凈區(qū)人員入口處，并應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人 空氣吹淋室按最大班人數(shù)每 空氣吹淋室應設在潔凈區(qū)人員入口處，并應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人 空氣吹淋室按最大班人數(shù)每 30 人設一臺。潔凈區(qū)工作人員超過人設一臺。潔凈區(qū)工作人員超過 5 人時，空氣吹淋室 一側應設旁通門。 人時，空氣吹淋室 一側應設旁通門。 6 當為 5 級以上垂直單向流潔凈室時，宜設氣閘室。 7 潔凈區(qū)內不宜設廁所。人員凈化用室內的廁所應設前室。 第 14 頁，共 41 頁 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 資料編號： GB 50073-2001 50073-2001 4.3.4 人流路線應符合下列要求 人流路線應符合下列要求: 4.3.4 人流路線應符合下列要求 人流路線應符合下列要求: 1 人流路線應避免往復交叉。 人流路線應避免往復交叉。 1 人流路線應避免往復交叉。 人流路線應避免往復交叉。 2 人員凈化用室和生活用室的布置，宜按圖 4.3.4 的人員凈化程序進行布置。 2 人員凈化用室和生活用室的布置，宜按圖 4.3.4 的人員凈化程序進行布置。 4.3.5 根據(jù)不同的空氣潔凈度等級和工作人員數(shù)量，潔凈廠房內人員凈化用室和生 活用室的建筑面積應合理確定。一般宜按潔凈區(qū)設計人數(shù)平均每人 24m2計算。潔 凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜按低于相鄰潔凈區(qū)空氣潔凈度等級 12 級設 置。 4.3.6 潔凈工作服洗滌室的空氣潔凈度等級不宜低于 8 級。 4.3.7 潔凈室內設備和物料出入口，應根據(jù)設備和物料的性質、形狀等特征設置物料 凈化用室及其設施。物料凈化用室的布置，應防止凈化后物料在傳遞過程中被污染。 潔凈室內設備和物料出入口，應根據(jù)設備和物料的性質、形狀等特征設置物料 凈化用室及其設施。物料凈化用室的布置，應防止凈化后物料在傳遞過程中被污染。 4.4 噪 噪 聲聲 控控 制制 4.4.1 潔凈室內的噪聲級 潔凈室內的噪聲級(空態(tài)空態(tài))，非單向流潔凈室不應大于，非單向流潔凈室不應大于 60dB(A)，單向流、混合 流潔凈室不應大于 ，單向流、混合 流潔凈室不應大于 65dB(A)。 4.4.2 潔凈室的噪聲頻譜限制，應采用倍頻程聲壓級；各頻帶聲壓級值不宜大于表 4.4.2 中的規(guī)定。 表表 4.4.2 噪聲頻譜的限制值噪聲頻譜的限制值(空態(tài)空態(tài)) 中心頻率(Hz) 倍頻程聲 壓級 dB(A) 潔凈室分類 63 125 250 500 1000 2000 4000 8000 非單向流 79 70 63 58 55 52 50 40 單向流、混合流 83 74 68 63 60 57 55 54 第 15 頁，共 41 頁 4.4.3 潔凈廠房的平、剖面設計應考慮噪聲控制要求。潔凈室的圍護結構應具有良好 的隔聲性能，并使各部分隔聲量相接近。 潔凈廠房的平、剖面設計應考慮噪聲控制要求。潔凈室的圍護結構應具有良好 的隔聲性能，并使各部分隔聲量相接近。 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 資料編號： GB 50073-2001 4.4.4 潔凈室內的各種設備均應選用低噪聲產(chǎn)品。 對于輻射噪聲值超過潔凈室允許值 的設備，應設置專用隔聲設施 潔凈室內的各種設備均應選用低噪聲產(chǎn)品。 對于輻射噪聲值超過潔凈室允許值 的設備，應設置專用隔聲設施(如隔聲間、隔聲罩等如隔聲間、隔聲罩等)。 4.4.5 凈化空調系統(tǒng)噪聲超過允許值時，應采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。潔 凈室內的排風系統(tǒng)除事故排風外應進行減噪設計。 4.4.6 凈化空調系統(tǒng)，根據(jù)室內容許噪聲級要求，風管內風速宜按下列規(guī)定選用。 1 總風管為 610m/s。 2 無送、回風口的支風管為 46m/s。 3 有送、回風口的支風管為 25m/s。 4.5 微 微 振振 控控 制制 4.5.1 對有微振控制要求的潔凈廠房設計時應考慮 對有微振控制要求的潔凈廠房設計時應考慮: 1 在結構選型、隔振縫設置、壁板與地面及頂棚連接處，應按微振控制要求設 計。 在結構選型、隔振縫設置、壁板與地面及頂棚連接處，應按微振控制要求設 計。 2 潔凈室與周圍輔助性站房內有強烈振動的設備及其連接管道，應采取主動隔 振措施。 潔凈室與周圍輔助性站房內有強烈振動的設備及其連接管道，應采取主動隔 振措施。 3 應確定潔凈廠房內外各類振源對潔凈廠房精密設備、精密儀器儀表位置處的 綜合振動影響，以決定是否采取被動隔振措施。 應確定潔凈廠房內外各類振源對潔凈廠房精密設備、精密儀器儀表位置處的 綜合振動影響，以決定是否采取被動隔振措施。 4.5.2 精密設備、精密儀器儀表的容許振動值，應由生產(chǎn)工藝和設備制造部門提供。 當生產(chǎn)工藝和設備制造部門難以提供容許振動值時，可參照隔振設計規(guī)范GBJ 22 執(zhí)行。 4.5.3 精密設備、精密儀器儀表的被動隔振設計應具備下列條件: 1 周圍振源對其綜合影響的振動數(shù)據(jù)。 2 設備、儀器儀表的型號、規(guī)格及輪廓尺寸圖。 3 設備、儀器儀表的質量、質心位置及質量慣性矩。 4 設備、儀器儀表的底座外輪廓圖、附屬裝置、管道位置及坑、溝、孔洞尺寸、 地腳螺栓及預埋件位置等。 5 設備、儀器儀表的調平要求。 6 設備、儀器儀表的容許振動值。 7 所選用或設計的隔振器或隔振裝置的技術參數(shù)、外形尺寸及安裝條件。 4.5.4 精密設備、精密儀器儀表的被動隔振設計應考慮: 1 隔振臺座的剛度。 第 16 頁，共 41 頁 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 資料編號： GB 50073-2001 2 設備、儀器儀表運行時，由于質量及質心位置的變化引起隔振臺座傾斜的校 正措施。 3 隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應小于 0.15。 4 隔振措施不應影響潔凈室內的氣流流型。 4.5.5 精密設備、精密儀器儀表的被動隔振措施宜采用能自動校正傾斜的空氣彈簧 隔振裝置。對供應空氣彈簧用的氣源應進行凈化處理。 第 17 頁，共 41 頁 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 資料編號： GB 50073-2001 5 建 建 筑筑 5.1 一 一 般般 規(guī)規(guī) 定定 5.1.1 潔凈廠房的建筑平面和空間布局應具有適當?shù)撵`活性。主體結構宜采用大空 間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內墻承重體系。 5.1.2 潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵等要 求。 5.1.3 潔凈廠房主體結構的耐久性應與室內裝備和裝修水平相協(xié)調， 并應具有防火、 控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。 5.1.4 送、回風管和其它管線暗敷時，應設置技術夾層、技術夾道或地溝等。穿越 樓層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井，其形式、尺寸和構造應滿足風道、管 線的安裝、檢修和防火要求。 5.1.5 對兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房，其平面布局和構造處理，應避免 人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產(chǎn)帶來不利的影響。 5.2 防火和疏散 防火和疏散 5.2.1 潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。 潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。 5.2.2 潔凈廠房內生產(chǎn)工作間的火災危險性，應按照現(xiàn)行國家標準建筑設計防火規(guī) 范 潔凈廠房內生產(chǎn)工作間的火災危險性，應按照現(xiàn)行國家標準建筑設計防火規(guī) 范(GBJ 16)分類。潔凈廠房生產(chǎn)工作間的火災危險性分類舉例見附錄分類。潔凈廠房生產(chǎn)工作間的火災危險性分類舉例見附錄 A。 5.2.3 甲、乙類生產(chǎn)的潔凈廠房宜為單層，其防火分區(qū)最大允許建筑面積，單層廠房 宜為 甲、乙類生產(chǎn)的潔凈廠房宜為單層，其防火分區(qū)最大允許建筑面積，單層廠房 宜為 3000m2，多層廠房宜為，多層廠房宜為 2000m2。丙、丁、戊類生產(chǎn)的潔凈廠房其防火分區(qū)最大 允許建筑面積應符合現(xiàn)行國家標準建筑設計防火規(guī)范 。丙、丁、戊類生產(chǎn)的潔凈廠房其防火分區(qū)最大 允許建筑面積應符合現(xiàn)行國家標準建筑設計防火規(guī)范(GBJ 16)的規(guī)定。的規(guī)定。 5.2.4 潔凈室的頂棚和壁板 潔凈室的頂棚和壁板(包括夾芯材料包括夾芯材料)應為不燃燒體，且不得采用有機復合材 料。頂棚的耐火極限不應低于 應為不燃燒體，且不得采用有機復合材 料。頂棚的耐火極限不應低于 0.4h，疏散走道頂棚的耐火極限不應低于，疏散走道頂棚的耐火極限不應低于 1.0h。 5.2.5 在一個防火分區(qū)內的綜合性廠房， 其潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應設置不燃 燒體隔斷措施。隔墻及其相應頂棚的耐火極限不應低于 在一個防火分區(qū)內的綜合性廠房， 其潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應設置不燃 燒體隔斷措施。隔墻及其相應頂棚的耐火極限不應低于 1h，隔墻上的門窗耐火極限不 應低于 ，隔墻上的門窗耐火極限不 應低于 0.6h。穿隔墻或頂棚的管線周圍空隙應采用防火或耐火材料緊密填堵。穿隔墻或頂棚的管線周圍空隙應采用防火或耐火材料緊密填堵。 第 18 頁，共 41 頁 5.2.6 技術豎井井壁應為不燃燒體，其耐火極限不應低于 技術豎井井壁應為不燃燒體，其耐火極限不應低于 1h。井壁上檢查門的耐火 極限不應低于 。井壁上檢查門的耐火 極限不應低于 0.6h；豎井內在各層或間隔一層樓板處，應采用相當于樓板耐火極限的 不燃燒體作水平防火分隔；穿過水平防火分隔的管線周圍空隙，應采用防火或耐火材 ；豎井內在各層或間隔一層樓板處，應采用相當于樓板耐火極限的 不燃燒體作水平防火分隔；穿過水平防火分隔的管線周圍空隙，應采用防火或耐火材 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 資料編號： GB 50073-2001 料緊密填堵。料緊密填堵。 5.2.7 潔凈廠房每一生產(chǎn)層、每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出口數(shù)目不應少于 潔凈廠房每一生產(chǎn)層、每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出口數(shù)目不應少于 2 個，但符合下列要求的可設個，但符合下列要求的可設 1 個個: 1 對甲、乙類生產(chǎn)廠房每層的潔凈區(qū)總建筑面積不超過 對甲、乙類生產(chǎn)廠房每層的潔凈區(qū)總建筑面積不超過 50m2，且同一時間內的 生產(chǎn)人數(shù)不超過 ，且同一時間內的 生產(chǎn)人數(shù)不超過 5 人。人。 2 對丙、丁、戊類生產(chǎn)廠房，應按現(xiàn)行國家標準建筑設計防火規(guī)范 對丙、丁、戊類生產(chǎn)廠房，應按現(xiàn)行國家標準建筑設計防火規(guī)范(GBJ16) 的規(guī)定設置。的規(guī)定設置。 5.2.8 安全出口應當分散布置，從生產(chǎn)地點至安全出口不應經(jīng)過曲折的人員凈化路 線，并應設有明顯的疏散標志，安全疏散距離應符合現(xiàn)行國家標準建筑設計防火規(guī) 范 安全出口應當分散布置，從生產(chǎn)地點至安全出口不應經(jīng)過曲折的人員凈化路 線，并應設有明顯的疏散標志，安全疏散距離應符合現(xiàn)行國家標準建筑設計防火規(guī) 范(GBJ 16)的規(guī)定。的規(guī)定。 5.2.9 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應向疏散方向開啟，并加 閉門器。安全疏散門不應采用吊門、轉門、側拉門、卷簾門以及電控自動門。 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應向疏散方向開啟，并加 閉門器。安全疏散門不應采用吊門、轉門、側拉門、卷簾門以及電控自動門。 5.2.10 潔凈廠房與潔凈區(qū)同層外墻應設可供消防人員通往廠房潔凈區(qū)的門窗，其洞 口間距大于 潔凈廠房與潔凈區(qū)同層外墻應設可供消防人員通往廠房潔凈區(qū)的門窗，其洞 口間距大于 80m 時，應在該段外墻的適當部位設置專用消防口。時，應在該段外墻的適當部位設置專用消防口。 專用消防口的寬度應不小于專用消防口的寬度應不小于 750mm，高度應不小于，高度應不小于 1800mm，并應有明顯標志。 樓層的專用消防口應設置陽臺，并從二層開始向上層架設鋼梯。 ，并應有明顯標志。 樓層的專用消防口應設置陽臺，并從二層開始向上層架設鋼梯。 5.2.11 潔凈廠房外墻上的吊門、 電控自動門以及寬度小于 潔凈廠房外墻上的吊門、 電控自動門以及寬度小于750mm、 高度小于、 高度小于1800mm 或裝有柵欄的窗，均不應作為火災發(fā)生時提供消防人員進入廠房的入口?；蜓b有柵欄的窗，均不應作為火災發(fā)生時提供消防人員進入廠房的入口。 5.3 室 室 內內 裝裝 修修 5.3.1 潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變 化時變形小的材料。 潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變 化時變形小的材料。 5.3.2 潔凈室內墻壁和頂棚的裝修應符合下列要求 潔凈室內墻壁和頂棚的裝修應符合下列要求: 1 潔凈室內墻壁和頂棚的表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于除塵， 并應減少凹凸面。 潔凈室內墻壁和頂棚的表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于除塵， 并應減少凹凸面。 2 踢腳不應突出墻面。 踢腳不應突出墻面。 3 潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面，當必須采用時宜干燥作業(yè)，抹灰應采用高 級抹灰標準。墻面抹灰后應刷涂料面層，并應選用難燃、不開裂、耐清洗、表面光 滑、不易吸水變質發(fā)霉的涂料。 5.3.3 潔凈室地面設計應符合下列要求 潔凈室地面設計應符合下列要求: 1 潔凈室地面應滿足生產(chǎn)工藝要求。 潔凈室地面應滿足生產(chǎn)工藝要求。 第 19 頁，共 41 頁 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 資料編號： GB 50073-2001 2 潔凈室地面應平整，耐磨、易清洗，不易積聚靜電，避免眩光，不開裂等。 潔凈室地面應平整，耐磨、易清洗，不易積聚靜電，避免眩光，不開裂等。 3 地面墊層宜配筋，潮濕地區(qū)墊層應做防潮構造。 5.3.4 潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚表面應平整、光滑，位于地下的技術夾層應 采取防水或防潮、防霉措施。 5.3.5 潔凈室 潔凈室(區(qū)區(qū))外窗設計應符合下列要求外窗設計應符合下列要求: 1 當潔凈室 當潔凈室(區(qū)區(qū))和人員凈化用室設置外窗時，應采用雙層玻璃固定窗，并應有良 好的氣密性。 和人員凈化用室設置外窗時，應采用雙層玻璃固定窗，并應有良 好的氣密性。 2 靠潔凈室室內一側窗不宜設窗臺。 5.3.6 潔凈室內的密閉門應朝空氣潔凈度較高的房間開啟，并加設閉門器，無窗潔 凈室的密閉門上宜設觀察窗。 5.3.7 潔凈室門窗、墻壁、頂棚等的設計應符合下列要求 潔凈室門窗、墻壁、頂棚等的設計應符合下列要求: 1 潔凈室門窗、墻壁、頂棚、地 潔凈室門窗、墻壁、頂棚、地(樓樓)面的構造和施工縫隙，均應采取可靠的密閉 措施。 面的構造和施工縫隙，均應采取可靠的密閉 措施。 2 當采用輕質構造頂棚做技術夾層時，夾層內宜設檢修通道。 3 潔凈室窗宜與內墻面齊平，不宜設窗臺。 5.3.8 潔凈室內的色彩宜淡雅柔和。室內各表面材料的光反射系數(shù):頂棚和墻面宜為 0.60.8，地面宜為 0.150.35。 5.3.9 對 8 級以上的潔凈室，其墻板和頂棚宜采用輕質壁板構造。 5.3.10 設計選用的裝修材料的燃燒性能必須符合現(xiàn)行國家標準建筑內部裝修設計 防火規(guī)范 設計選用的裝修材料的燃燒性能必須符合現(xiàn)行國家標準建筑內部裝修設計 防火規(guī)范(GB 50222)的規(guī)定。的規(guī)定。 第 20 頁，共 41 頁 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊 即可下載 潔凈廠房設計規(guī)范 資料編號： GB 50073-2001 6 空 空 氣氣 凈凈 化化 6.1 一 一 般般 規(guī)規(guī) 定定 6.1.1 潔凈廠房內各潔凈室的空氣潔凈度等級應滿足生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈要 求。 6.1.2 根據(jù)空氣潔凈度等級的不同要求，選用不同的氣流流型。 6.1.3 下列情況之一者，其凈化空調系統(tǒng)宜分開設置: 1 運行班次或使用時間不同。 2 生產(chǎn)工藝中某工序散發(fā)的物質或氣體對其它工序的產(chǎn)品質量有影響。 3 對溫、濕度控制要求差別大。 4 凈化空調系統(tǒng)與一般空調系統(tǒng)。 6.1.4 潔凈室的溫、濕度范圍應符合表 潔凈室的溫、濕度范圍應符合表 6.1.4 的規(guī)定。的規(guī)定。 表表 6.1.4 潔凈室的溫、濕度范圍潔凈室的溫、濕度范圍 溫度溫度() 濕度濕度(%) 房間性質房間性質 冬季冬季 夏季夏季 冬季冬季 夏季夏季 生產(chǎn)工藝有溫濕度要求的潔凈室生產(chǎn)工藝有溫濕度要求的潔凈室 按生產(chǎn)工藝要求確定按生產(chǎn)工藝要求確定 生產(chǎn)工藝無溫濕度要求的潔凈室生產(chǎn)工藝無溫濕度要求的潔凈室 2022 2426 3050 5070 人員凈化及生活用室人員凈化及生活用室 1620 2630 6.1.5 潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值 潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值: 1 補償室內排風量和保持室內正壓值所需新鮮空氣量之和。 補償室內排風量和保持室內正壓值所需新鮮空氣量之和。 2 保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于 保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于 40m3。 6.1.6 潔凈區(qū)的清掃:一般情況下宜采