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QG/ZD-T03-12-2003 中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)公司潔凈廠房高純氣體管道施工工藝標(biāo)準(zhǔn)擬稿單位:總工程師辦公室編 制: 鄧 順 志 審 核: 王 開 源 批 準(zhǔn): 侯 憶 二OO三年一月二十五日目 錄1、總則-12、高純氣體的三個(gè)主要參數(shù)-13、管道材料選擇-24、施工程序-45、圖紙會(huì)審-56、工程測(cè)定-57、繪制管段圖-58、設(shè)置預(yù)制潔凈房-69、材料檢查確認(rèn)-610、保護(hù)氣體的供給和管理-911、管段預(yù)制-1112、現(xiàn)場(chǎng)配管施工-1313、壓力試驗(yàn)-1914、系統(tǒng)吹掃-2015、系統(tǒng)測(cè)試-21附錄1 露點(diǎn)、含濕量、絕對(duì)濕度換算表-24附錄2 潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)-26附錄3 EP/BA管自動(dòng)氬弧焊接鎢棒尺寸表-271. 總則1.1 本標(biāo)準(zhǔn)適用于潔凈廠房高純氣體管道配管施工。1.2 氣體管道的干管,應(yīng)敷設(shè)在上下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi),當(dāng)與水、電管線共架時(shí)應(yīng)設(shè)在其上部。1.3 當(dāng)采用碳素鋼支吊架、碳素鋼管卡時(shí)必須是鍍鋅件,且不銹鋼管道與其接觸處應(yīng)采用不產(chǎn)塵的非金屬材料隔離。1.4 高純氣體管道的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:a. 按氣體流量、壓力或生產(chǎn)工藝需要確定管徑,氣體管道最小管徑不小于61mm;b. 管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短;c. 不應(yīng)出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角;d. 管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必要的吹除口和測(cè)試取樣口。1.5 氣體管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施,并用裝飾板封堵。1.6 可燃?xì)怏w和氧氣管道的末端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)放散管。放散管引至室外應(yīng)高出屋脊1米,并應(yīng)有防雨、防雜物侵入的措施??扇?xì)怏w和氧氣管道還應(yīng)符合潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范8.4安全技術(shù)措施的有關(guān)要求。1.7 高純氣體終端過濾器應(yīng)設(shè)在靠近用氣點(diǎn)處。2. 高純氣體的三個(gè)主要參數(shù)所謂高純氣體管道的潔凈技術(shù)控制,主要是指氣體純度、干燥度、潔凈度的控制(即三度控制)。2.1 氣體純度 指氣體中雜質(zhì)氣氛的含量,通常用氣體純度的百分?jǐn)?shù)表示,如99.9999%(俗稱6個(gè)9),也可用雜質(zhì)氣氛含量的體積比ppm、ppb表示。潔凈廠房高純氣體管道系統(tǒng)建成的各個(gè)環(huán)節(jié)必須做到上流的合格氣體流經(jīng)廠房管道系統(tǒng)到達(dá)用氣點(diǎn)的氣體純度仍能滿足工藝對(duì)用氣純度的要求。2.2 干燥度 氣體中微量水分的含量,通常以露點(diǎn)表示,如露點(diǎn)-70,或以含濕量ppm表示,如含濕量2.584ppm。(兩者的轉(zhuǎn)換見附錄1)2.3 潔凈度 指氣體中含有污染物粒子的數(shù)量,粒徑為m的粒子的個(gè)數(shù),pc/m3。高純氣體管道通常使用在潔凈的生產(chǎn)環(huán)境當(dāng)中,對(duì)應(yīng)的潔凈環(huán)境等級(jí),在潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB50073-2001中,直接采用國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1(詳見附錄2)對(duì)高純氣體潔凈度的控制,當(dāng)設(shè)計(jì)未加特別注明時(shí),施工中對(duì)潔凈度的控制應(yīng)與使用空間的潔凈度等級(jí)保持一致,嚴(yán)防氣體中的污染物粒子超過規(guī)定值,而造成管路系統(tǒng)或潔凈生產(chǎn)空間的污染。潔凈廠房高純氣體管道的設(shè)計(jì)、施工管理,不同于一般工業(yè)氣體管道,任何一個(gè)環(huán)節(jié)稍有失控,就可能影響輸送氣體的質(zhì)量,從而導(dǎo)至無法生產(chǎn)出合格的產(chǎn)品。3. 管道材料選擇將高純潔凈氣體輸送到各用氣點(diǎn)而不被污染,在很大程度上受管路諸多因素的影響,其中管材的選擇顯得十分重要。3.1 用于輸送高純氣體的管道應(yīng)具備以下性能a. 管材的透氣性要小;b. 管材內(nèi)表面吸附解吸氣體的作用要小;c. 內(nèi)壁光滑、耐磨損;d. 有良好的抗腐蝕性能;e. 性能穩(wěn)定,含碳量低。3.2 管道材料選擇管道材料由設(shè)計(jì)選定,自行設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)遵守潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范的有關(guān)規(guī)定。a. 能滿足上述3.1要求的管材,對(duì)于氣體純度在99.999%以上或在空氣潔凈度等級(jí)中16級(jí)潔凈室內(nèi)時(shí),以316L內(nèi)壁經(jīng)電拋光的不銹鋼管(EP)為最佳選擇,由于施工現(xiàn)場(chǎng)條件限制,管材應(yīng)在制造廠脫脂、清洗、干燥,并有雙重膜包裝,對(duì)于氣體純度為99.99%的潔凈管道和干燥空氣管道可選用內(nèi)壁經(jīng)機(jī)械拋光的304不銹鋼管(BA)。注:316L的國內(nèi)對(duì)應(yīng)牌號(hào)為00Cr17Ni12Mo2Ti304的國內(nèi)對(duì)應(yīng)牌號(hào)為0Cr18Ni9b. 閥門及其它附件的選擇閥門及其它附件的材質(zhì)應(yīng)與管材選用原則一致,在采用不銹鋼管材的管路系統(tǒng)中,不得采用銅材質(zhì)的閥門,為確保閥門及管道系統(tǒng)的嚴(yán)密性和介質(zhì)不受污染,應(yīng)采用兩端為焊接連接的無填料波紋管閥或隔膜閥。對(duì)于系統(tǒng)終端采用螺紋連接時(shí),應(yīng)采用VCR卡套連接;非焊接連接的墊片,對(duì)于氫、氧管道應(yīng)采用金屬墊片,其它高純介質(zhì)管道可采用聚四氟乙烯墊片,三通、彎頭應(yīng)采用與管材同材質(zhì)的成品,為適應(yīng)公司現(xiàn)有自動(dòng)焊頭的施焊條件,訂貨應(yīng)注明對(duì)頸長L的要求(見下表)管子外徑(mm)L(mm)圖示619.0525.463.576.2114.33648554. 施工程序圖 紙 會(huì) 審工 程 測(cè) 定支吊架制作支吊架安裝支吊點(diǎn)劃線整理竣工資料系 統(tǒng) 測(cè) 試系 統(tǒng) 吹 掃壓 力 試 驗(yàn)現(xiàn) 場(chǎng) 配 管管 段 預(yù) 制材料檢查確認(rèn)設(shè)置預(yù)制潔凈房繪制管段圖交 工5. 圖紙會(huì)審圖紙會(huì)審應(yīng)著重解決以下問題,為繪制管段圖做好準(zhǔn)備。a. 圖紙是否出自注冊(cè)設(shè)計(jì)單位;b. 設(shè)計(jì)選材能否滿足介質(zhì)純度、干燥度、潔凈度要求;c. 用氣工藝設(shè)備位置是否最終確定;d. 管道走向應(yīng)排除與其他管線打架現(xiàn)象,并最終確定走向;e. 各支管三通位置的確定;f. 管道支吊型式及支吊架材質(zhì)的選定;g. 檢測(cè)口、吹掃口和放散管(氫氣)位置的選定;h. 氫、氧管道防靜電接地的型式。6. 工程測(cè)定將土建專業(yè)提供的基準(zhǔn)標(biāo)高和基準(zhǔn)軸線,用測(cè)量?jī)x器移值到安裝場(chǎng)所墻柱的適當(dāng)位置,并作出標(biāo)識(shí),以此確定管道所處位置。如與建筑結(jié)構(gòu)發(fā)生矛盾時(shí),再與有關(guān)方面協(xié)商調(diào)整,但最終應(yīng)反應(yīng)到竣工圖上。7. 繪制管段圖7.1 凡施工圖已提供透視圖的,可利用透視圖作為管段圖,無透視圖時(shí)應(yīng)在施工前繪制管段圖。7.2 不可將幾個(gè)管道系統(tǒng)繪制在一張圖上,一個(gè)小系統(tǒng),可繪制在一張圖紙上,大系統(tǒng)可分段繪制在幾張圖上,但應(yīng)標(biāo)出連接符號(hào)。7.3 無論是利用透視圖還是自繪管段圖均應(yīng)標(biāo)注各管段直徑、長度、標(biāo)高和閥門、三通、法蘭等的位置 ,還應(yīng)分別標(biāo)出預(yù)制組件的焊口(即死口)和現(xiàn)場(chǎng)焊接的焊口(即活口)位置,并在圖中順序標(biāo)出焊口號(hào)。7.4 圖中標(biāo)注的各項(xiàng)尺寸應(yīng)是現(xiàn)場(chǎng)實(shí)測(cè)的尺寸。7.5 對(duì)一個(gè)系統(tǒng)分段予制的原則是:a. 盡可能減少現(xiàn)場(chǎng)(安裝場(chǎng)所)焊接的焊口數(shù),大量的焊接工作盡可能在預(yù)制間完成;b. 現(xiàn)場(chǎng)焊接的焊口應(yīng)設(shè)在便于操作的位置;c. 予制組件的大小應(yīng)盡可能大一些,但不可無限制的大,既要考慮預(yù)制房面積的限制,也要考慮搬運(yùn)安裝所經(jīng)通道和門洞的限制。8. 設(shè)置預(yù)制潔凈房8.1 潔凈廠房?jī)?nèi)高純氣體管道的預(yù)制場(chǎng)所,其潔凈要求應(yīng)與管道安裝場(chǎng)所的潔凈度要求一致,否則將很難控制所預(yù)制的管道不受污染,因此預(yù)制房的搭建是不容忽視的。管道可能安裝在不同潔凈等級(jí)的房間,應(yīng)按安裝場(chǎng)所的最高潔凈等級(jí)的要求來搭建預(yù)制房。8.2 預(yù)制房應(yīng)盡可能在廠房暫不使用的房間內(nèi)搭設(shè),當(dāng)不具備這種條件時(shí),可就近先搭設(shè)符合擋風(fēng)擋雨要求的臨時(shí)建筑,再在其內(nèi)搭設(shè)臨時(shí)潔凈預(yù)制房。預(yù)制房的長、寬、高應(yīng)能滿足預(yù)制工作的要求。一般宜采用長寬高=7.2米3.6米2.2米的規(guī)格,用防靜電厚塑料膜(以0.3mm厚為宜)圍護(hù),采用FFU或高效過濾器及低壓風(fēng)機(jī)用風(fēng)管連通(要有調(diào)節(jié)閥,以獲得必要的室內(nèi)正壓),完成上送風(fēng)、下側(cè)四周排風(fēng)的空調(diào)系統(tǒng)。室內(nèi)要有充足的照明。9. 材料檢查確認(rèn)本檢查為在現(xiàn)場(chǎng)接收管材、零部件時(shí),驗(yàn)證是否滿足訂貨書要求而進(jìn)行的外觀檢查和確認(rèn)。9.1 供檢查的環(huán)境到貨的材料應(yīng)是有雙層薄膜包裝的潔凈材料。材料從接收開始,不得受到污染。a. 外包裝完好情況的檢查,在非潔凈區(qū)進(jìn)行,但在折除外包裝后應(yīng)立即搬入潔凈廠房或預(yù)制加工潔凈房?jī)?nèi);b. 內(nèi)包裝的開封必須在潔凈室或預(yù)制加工潔凈房?jī)?nèi)進(jìn)行,以確保材料不受污染。檢查完成后,對(duì)暫不用的材料應(yīng)立即重新用薄膜袋包裝密封并置于潔凈區(qū)妥善保管。9.2 檢查對(duì)象a. 管材b. 管子附件(三通、彎頭、變徑管等)c. 閥類(閥門、減壓閥等)d. 計(jì)器類(壓力計(jì)、壓力傳感器、壓力線圈等)e. 設(shè)備類制成品(筒、箱、閥盒等)9.3 檢查項(xiàng)目NO檢查項(xiàng)目管材管件閥類計(jì)器類設(shè)備類、制成品1外觀檢查2數(shù)量檢查3規(guī)格尺寸4材質(zhì)檢查:全數(shù)檢查:抽查5%:不檢查9.4 外觀檢查和質(zhì)量要求9.4.1 管路系統(tǒng)的管材、閥門和所有附件,必須嚴(yán)格按設(shè)計(jì)要求選購,不得隨意更改或代換。9.4.2 管材到貨后應(yīng)置于室內(nèi)精心保管,杜絕露天堆放、日曬雨淋。9.4.3 到貨的管材,兩端應(yīng)有塑料密封帽密封嚴(yán)密,無破損和脫落;有雙層塑料薄膜密封包裝,不得有破損。9.4.4 閥門、管件應(yīng)有塑料袋密封包裝,無破損。9.4.5 管子、閥門、管件等,使用前按10.1、10.2、10.3的要求切實(shí)進(jìn)行下列外觀檢查:a. 管子直徑、壁厚符合訂貨要求,且壁厚均勻;b. 管子應(yīng)平直、圓滑、無局部凹陷、無壓入物、無刮傷、碰傷和擠壓等缺陷;c. 無裂紋、縮孔、折疊、重皮和凸筋等缺陷;d. 無銹蝕、銹斑等痕跡;e. 內(nèi)表面的粗糙度是否符合設(shè)計(jì)要求,螺紋是否有損、保護(hù)是否良好;f. 內(nèi)表面是否有塵埃、油脂,確認(rèn)管子是否已經(jīng)凈化處理;g. 內(nèi)面電拋光薄壁不銹鋼管的進(jìn)貨要有出廠合格證書和相關(guān)材質(zhì)證明。當(dāng)進(jìn)貨的管材受到質(zhì)疑時(shí),應(yīng)抽取各種規(guī)格的管材,在管子的任何部位,隨機(jī)切下60mm長的管段,并沿軸向剖開,在顯微鏡下對(duì)照樣板驗(yàn)證內(nèi)表面的相對(duì)粗糙度Rmax是否符合設(shè)計(jì)要求,是否與出廠文件中所標(biāo)注的內(nèi)容與精度相符,凈化處理是否符合要求;h. 查看管子外包裝和管端密封帽是否有效;i. 法蘭的密封面應(yīng)平整、光滑,不得有毛刺及徑向溝槽,凹凸法蘭應(yīng)嵌合準(zhǔn)確,凸面的高度不得小于凹槽的深度;j. 非金屬墊片應(yīng)質(zhì)地柔軟、無老化及分層現(xiàn)象,表面不得有折損及皺紋等缺陷;金屬墊片表面不得有裂紋、凹槽、毛刺、徑向劃痕及銹斑等缺陷。9.5 不合格品的處置經(jīng)檢查若不能符合質(zhì)量要求時(shí),應(yīng)予退貨或經(jīng)商定留作降級(jí)使用。9.6 驗(yàn)收后的保管經(jīng)檢查驗(yàn)收后,在規(guī)定的倉庫或現(xiàn)場(chǎng)妥善保管,材料庫應(yīng)是專用庫房,不得和其它物資混放,管子、管件、閥門要分類保管。10. 保護(hù)氣體的供給和管理10.1 氣體供給裝置保護(hù)氣體為高純氬氣,其純度指標(biāo)不得低于管道系統(tǒng)要求的純度,氬氣的供給采用低溫液化氣容器或高壓瓶裝氬氣。系統(tǒng)裝置見下圖(其中虛線框內(nèi)的裝置,在采用液氬時(shí)才配置):濕分計(jì)蒸發(fā)器10.2 供給管理10.2.1 在供給聯(lián)箱上安裝濕分計(jì),以確認(rèn)、記錄氣體的供給純度10.2.2 保護(hù)氣體供給開始后,保持連續(xù)通氣,以確保配管內(nèi)的純度。10.2.3 流量控制a. 焊前吹除可參照下圖選擇流量和吹除時(shí)間b. 焊接時(shí)的氣體流量參照下圖選用:mm101.688.976.263.557.051.045.038.132.025.418.010.06.0 5 10 15 L/minc. 施工過程中,間斷作業(yè)時(shí)(如夜間),仍應(yīng)保持一定的通氣量,可按焊接通氣量的1/4通氣。10.3 氣體供給管理記錄定期檢查氣體供給情況:a. 供給聯(lián)箱:含濕量、供給壓力,并記下記錄時(shí)間;b. 氣瓶:剩余量、壓力、使用情況,并記下記錄時(shí)間。11. 管段預(yù)制11.1 預(yù)制環(huán)境及其管理11.1.1 為保持預(yù)制件的潔凈度,管段預(yù)制應(yīng)在預(yù)制潔凈室內(nèi)進(jìn)行11.1.2 為保持預(yù)制環(huán)境的潔凈度,以下各條規(guī)定應(yīng)每日進(jìn)行一次檢查,并保持記錄。a. 按擬定的必須的室內(nèi)潔凈等級(jí),保持FFU運(yùn)轉(zhuǎn)正常,工作有效;b. 作業(yè)人員應(yīng)著潔凈服、潔凈鞋、潔凈帽、潔凈手套進(jìn)行作業(yè);c. 潔凈服、潔凈鞋、潔凈帽要經(jīng)常保持清潔;d. 潔凈室內(nèi)由專人進(jìn)行作業(yè),作業(yè)人員一般不超過6人;e. 潔凈室內(nèi)設(shè)專用吸塵器,作業(yè)中如產(chǎn)生塵埃,應(yīng)徹底清掃,作業(yè)完后必須全面清掃一次;f. 潔凈室內(nèi)必須設(shè)置滅火裝置,至少應(yīng)設(shè)置手輪式二氧化碳滅火器二個(gè);g. 潔凈室內(nèi)不得堆放與預(yù)制加工無關(guān)的物資;h. 下班時(shí)必須進(jìn)行檢查,并切斷電源。 11.2 管子切斷11.2.1 切斷機(jī)具a. 小管徑(612.7mm)不銹鋼管用管子割刀;b. 大管徑(大于12.7mm)不銹鋼管用GF鋸。11.2.2 切斷要求a. 使用專用固定夾具實(shí)施切斷作業(yè);b. 進(jìn)行管子切斷作業(yè)。要有不低于系統(tǒng)輸送介質(zhì)純度的氮?dú)饣驓鍤饨?jīng)過濾器通過管內(nèi),確保管內(nèi)潔凈度;c. 使用管子前,不得過早提前開啟端部封帽;d. 切割好的管子要放置在貨架或管子專用擱架上。11.3 管子剖口加工:見下圖11.3.1 剖口機(jī)具:管子剖口加工使用專用端面平口機(jī)11.3.2 剖口形狀:型11.3.3 剖口要求:a. 剖口加工時(shí),要通過過濾器向管內(nèi)輸送精N2,保持管內(nèi)潔凈度;b. 管端應(yīng)與軸線垂直,加工面光滑、無毛刺;c. 管內(nèi)口有毛刺時(shí),應(yīng)用倒角器除去,并保持潔凈;d. 剖口完成后,迅速用無水酒精(污染嚴(yán)重時(shí)可用丙酮)清洗加工部位,并用潔凈密封帽保護(hù);e、加工好的管子要放置在不銹鋼貨架上或擱架上。11.4 彎頭加工11.4.1 小管徑配管(612.7mm)使用專門的彎管器彎制,但對(duì)現(xiàn)場(chǎng)上升、下降管道彎曲困難的地方仍應(yīng)采用成品彎頭??趶酱笥?2.7mm的配管,采用成品彎頭。11.4.2 加工要求a. 小管徑彎頭的彎曲半徑R應(yīng)等于或大于管外徑的5倍;b. 彎頭加工,要在管端用密封帽保護(hù)的狀態(tài)下進(jìn)行。11.5 焊接11.5.1 焊接采用整套全自動(dòng)鎢極氬弧焊接設(shè)備,無焊絲自熔焊接,其工藝詳見企標(biāo)電拋光薄壁不銹鋼管焊接工藝標(biāo)準(zhǔn)11.5.2 焊接工作應(yīng)由經(jīng)過培訓(xùn)合格的人員擔(dān)任11.5.3 焊接參數(shù)的設(shè)定,應(yīng)執(zhí)行“作業(yè)指導(dǎo)書”,經(jīng)試焊,其焊口經(jīng)焊接指導(dǎo)者和檢驗(yàn)員確認(rèn)符合質(zhì)量要求時(shí),才能從事該規(guī)格管子的正式焊接,中途不得任意改變參數(shù)。11.5.4 每天上班施焊作業(yè)前都要進(jìn)行試焊,直至合格才能從事當(dāng)天的焊接工作,并保留合格的試件。11.5.5 每焊完一個(gè)焊口,應(yīng)用細(xì)不銹鋼絲刷(0.25mm不銹鋼絲,刷絲整體高度15mm)趁熱時(shí)清除表面痕跡。11.5.6 焊接用的鎢棒規(guī)格應(yīng)與焊頭、管子外徑相匹配,鎢棒起弧端與管外壁間距離應(yīng)在0.75mm1.75mm范圍內(nèi)(見附錄3)。11.5.7 焊前應(yīng)用氬氣徹底吹除,調(diào)整到焊接通氬量后,在施焊過程中要始終保持氬氣流通。11.5.8 管段焊接完成后,立即加蓋密封管帽。12. 現(xiàn)場(chǎng)配管施工支吊架安裝無誤后,將預(yù)制好的管段及當(dāng)日需用的直管搬入安裝現(xiàn)場(chǎng),上架、調(diào)整、組對(duì)、通氬、點(diǎn)焊、自動(dòng)焊接。12.1 配管施工順序確認(rèn)作業(yè)環(huán)境確認(rèn)作業(yè)場(chǎng)所的環(huán)境狀態(tài)配管安裝調(diào)整預(yù)制的管段和直管上架、調(diào)整、組對(duì)通保護(hù)Ar按各焊口的焊接順序,自上流端通入保護(hù)Ar點(diǎn) 焊對(duì)大于12.7的管道對(duì)接實(shí)施點(diǎn)焊焊接條件確認(rèn)制成焊口樣品,以確認(rèn)焊接參數(shù)自動(dòng)焊接自上流端開始實(shí)施自動(dòng)焊接檢驗(yàn)確認(rèn)進(jìn)行焊口外觀檢查12.2 確認(rèn)作業(yè)環(huán)境12.2.1 場(chǎng)所下列氣候場(chǎng)所,原則上不能進(jìn)行配管施工作業(yè)。氣溫:-10以下濕度:90%以上風(fēng)速:對(duì)風(fēng)速超過1m/s的環(huán)境要有防風(fēng)對(duì)策12.2.2 保持作業(yè)環(huán)境的對(duì)策a. 設(shè)置局部潔凈單元 在現(xiàn)場(chǎng)配管施工環(huán)境很差的場(chǎng)合,為保證焊接部位的潔凈度而設(shè)置局部潔凈單元(如焊接套筒)b. 防風(fēng)對(duì)策 為擋風(fēng)和維持周圍環(huán)境而設(shè)置擋風(fēng)板。強(qiáng)風(fēng)場(chǎng)所,由現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)督人判斷,中止施工。c. 檢查腳手架 現(xiàn)場(chǎng)配管施工用的腳手架,不安全時(shí),要進(jìn)行加固。12.3 配管安裝調(diào)整支吊架安裝完成后,將預(yù)制好的管段和當(dāng)日用的直管搬入現(xiàn)場(chǎng),順序上管架安裝、調(diào)整好標(biāo)高,注意在焊接前不要取下兩端的密封帽。12.4 通保護(hù)氬氣12.4.1 取下調(diào)整好的管子的上流端部的管帽,同時(shí)安上帶小孔的管帽(或在原管帽上劃一小孔),通入保護(hù)氬氣。12.4.2 取掉下流端管帽12.4.3 管與管的對(duì)接12.4.4 管與管用膠帶纏好固定以上配管順序可在現(xiàn)場(chǎng)根據(jù)情況進(jìn)行調(diào)整使用的管帽、密封膠帶等應(yīng)是潔凈品。12.5 點(diǎn)焊12.5.1 從上流端開始順序撕下膠帶,用手動(dòng)氬弧焊機(jī)實(shí)施點(diǎn)焊。12.5.2 點(diǎn)焊要領(lǐng)a. 管子、管件在點(diǎn)焊前確認(rèn)其內(nèi)外表面未受污染(無異物、油脂等);b. 點(diǎn)焊采用手動(dòng)氬弧焊;c. 點(diǎn)焊使用固定夾具,管管應(yīng)同心,管口不得錯(cuò)位;d. 點(diǎn)焊時(shí)為防止管內(nèi)氧化,和正式焊接(自動(dòng)氬弧焊)一樣,通入保護(hù)氬氣;e. 每點(diǎn)焊完一個(gè)焊口后,待表面溫度降低,重新貼一密封帶,正式焊接時(shí)再撕下膠帶,直接用自動(dòng)焊頭固定實(shí)施焊接;12.6 自動(dòng)焊接條件的確認(rèn)12.6.1 焊接試件的作成為獲得自動(dòng)氬弧焊接的良好效果,在正式焊接前作成合格的試件,獲得最佳焊接參數(shù)。12.6.2 試件作成要領(lǐng)a. 每逢下列情況應(yīng)焊出合格試件,才能正式焊接。 作業(yè)日的上午、下午開始作業(yè)前(一日二次) 配管口徑、壁厚、材質(zhì)、管件改變時(shí) 作業(yè)中產(chǎn)生缺陷時(shí) 焊機(jī)本身的條件、狀態(tài)改變時(shí)b. 作業(yè)者必須經(jīng)本專業(yè)BA、EP管配管自動(dòng)氬弧焊接的培訓(xùn),持證上崗。c. 質(zhì)量檢驗(yàn)人應(yīng)是經(jīng)培訓(xùn)合格的本專業(yè)技術(shù)、檢驗(yàn)人員或外國專家。12.6.3 記錄根據(jù)焊機(jī)的特性,編制出各種管徑、壁厚的基本焊接參數(shù)表,以該參數(shù)為基礎(chǔ),設(shè)定試件的焊接參數(shù),在焊接試件的過程中,可根據(jù)焊口存在的缺陷,調(diào)整焊接參數(shù),直至焊接出合格的焊口,此時(shí)得出的參數(shù),作為正式施焊的參數(shù)。a. 配管焊接施工管理記錄將配管焊接參數(shù)記入施工管理記錄(含基本焊接參數(shù)、試件)。b. 試件檢驗(yàn)表作成每件試件的檢驗(yàn)記錄和試件一并保存。12.7 自動(dòng)氬弧焊接12.7.1 焊接條件確認(rèn)后,自系統(tǒng)上流端逐個(gè)焊口進(jìn)行焊接。12.7.2焊接結(jié)束后仍要有保護(hù)氣體流過。每個(gè)焊口焊完后,應(yīng)趁熱用不銹鋼絲刷除盡表面的氧化膜。12.8 焊口檢查焊口實(shí)施外觀全檢,合格標(biāo)準(zhǔn)是:a. 無未焊透;b. 直線性好;c. 整個(gè)園周焊口成形均勻一致;d. 焊口內(nèi)側(cè)平直、光潔,外側(cè)環(huán)狀波紋均勻美觀(允許有細(xì)微的凹狀或凸?fàn)睿?;e. 無可見的瑕疵、疵點(diǎn)、裂紋、氣孔、夾渣等現(xiàn)象;f. 無斑漬、氧化。13. 壓力試驗(yàn)13.1 潔凈廠房?jī)?nèi)的高純氣體管道不允許采用水壓試驗(yàn),必須采用氣壓試驗(yàn)。氣壓試驗(yàn)壓力應(yīng)為設(shè)計(jì)壓力的1.15倍(真空管道的試驗(yàn)壓力應(yīng)為0.2MPa)。但當(dāng)管道的設(shè)計(jì)壓力大于0.6MPa時(shí),必須有設(shè)計(jì)文件規(guī)定或擬定試驗(yàn)方案經(jīng)建設(shè)單位同意,方可進(jìn)行氣壓試驗(yàn)。13.2 試驗(yàn)介質(zhì)除危險(xiǎn)、易燃?xì)怏w管道(如氧氣、氫氣)采用高純氮?dú)馔?,其它介質(zhì)管道(如氮?dú)狻鍤?、干燥空氣等)可用系統(tǒng)供給氣體或高純氮?dú)膺M(jìn)行試驗(yàn)。13.3 壓力試驗(yàn)時(shí),應(yīng)逐步緩慢增壓,當(dāng)壓力升至0.2MPa時(shí),暫停升壓,進(jìn)行一次全面檢查,如無壓降和泄漏現(xiàn)象,再將壓力升至試驗(yàn)壓力的50%,如未發(fā)現(xiàn)異樣情況或泄漏,繼續(xù)按試驗(yàn)壓力的10%逐級(jí)升壓,每級(jí)穩(wěn)壓3min,直至試驗(yàn)壓力。穩(wěn)壓10min,將壓力降至設(shè)計(jì)壓力,停壓時(shí)間應(yīng)根據(jù)查漏工作需要而定,以設(shè)計(jì)規(guī)定的發(fā)泡劑檢驗(yàn),無規(guī)定時(shí),用中性皂液檢驗(yàn),無泄漏為合格。13.4 氣密性試驗(yàn)氣密性試驗(yàn)介質(zhì),與壓力試驗(yàn)相同。試驗(yàn)工作可在壓力試驗(yàn)結(jié)束后連續(xù)進(jìn)行,試驗(yàn)壓力為設(shè)計(jì)壓力,試驗(yàn)時(shí)間為24小時(shí),實(shí)行24小時(shí)連續(xù)監(jiān)視,試驗(yàn)開始就要記錄起始?jí)毫χ岛推鹗辑h(huán)境溫度及有關(guān)情況,然后每隔1小時(shí)檢查記錄一次。檢查重點(diǎn)是焊口、閥門填料函、法蘭、絲扣連接處等,用發(fā)泡劑檢查,最終考慮環(huán)境溫度變化等因素。無壓力降、無泄漏為合格。13.5 泄漏性試驗(yàn)a. 高純氣體管道中屬于危險(xiǎn)、易燃?xì)怏w的管道必須在上述試驗(yàn)結(jié)束后,進(jìn)行泄漏性試驗(yàn),但上述試驗(yàn)結(jié)束后未經(jīng)拆卸的該類管道系統(tǒng)可不進(jìn)行泄漏性試驗(yàn);b. 試驗(yàn)介質(zhì)宜用氮?dú)猓籧. 試驗(yàn)壓力應(yīng)為設(shè)計(jì)壓力;d. 泄漏試驗(yàn)可結(jié)合調(diào)試工作一并進(jìn)行;e. 泄漏性試驗(yàn)時(shí),應(yīng)逐漸緩慢加壓,當(dāng)壓力升至試驗(yàn)壓力的50%時(shí)暫停加壓,進(jìn)行初始檢查(重點(diǎn)是焊口、閥門填料函、法蘭、絲扣連接處等),如無泄漏,繼續(xù)按試驗(yàn)壓力的10%逐級(jí)升壓,每級(jí)穩(wěn)壓3min,直至試驗(yàn)壓力,停壓10min以上,在此時(shí)間用發(fā)泡劑檢漏,檢查的重點(diǎn)部位與初始檢查相同,如無泄漏,則泄漏性試驗(yàn)合格。14. 系統(tǒng)吹掃壓力試驗(yàn)結(jié)束后,投運(yùn)之前,應(yīng)用上述試壓用的同種高純氣體對(duì)輸配管路系統(tǒng)進(jìn)行徹底吹掃,達(dá)到不但吹除系統(tǒng)內(nèi)的遺留粒子,而且起到對(duì)管路系統(tǒng)的干燥作用,去除管壁和管材所吸留的部分含濕氣體。常用的吹掃方式為連續(xù)吹掃式和間斷吹掃式,依系統(tǒng)的不同情況,采用一種方式或兩種方式并用吹掃流速應(yīng)在20m/s以上,吹掃氣體的用量參見下圖。管路系統(tǒng)吹掃氣體用量圖14.1 連續(xù)吹掃方式 這種方式適用于簡(jiǎn)單系統(tǒng),基于系統(tǒng)中的雜質(zhì)處于相對(duì)均勻的分布狀態(tài),系統(tǒng)吹除氣中的雜質(zhì)濃度,被認(rèn)為是系統(tǒng)中雜質(zhì)的濃度。然而,潔凈的吹掃用系統(tǒng)供給氣體在系統(tǒng)中,所到之處,由于紊流產(chǎn)生擾動(dòng),從而使系統(tǒng)中的雜質(zhì)重新分布,又由于系統(tǒng)中存在著滯區(qū),滯區(qū)中的滯氣不易甚至不能被吹掃氣流所擾動(dòng),只有完全依靠濃度差為動(dòng)力,以極緩慢的速度向潔凈的供給氣體擴(kuò)散,逐步降低雜質(zhì)的濃度,經(jīng)過較長時(shí)間的吹掃,從而將雜質(zhì)逐步裹帶出系統(tǒng)。這種方式對(duì)于不銹鋼材質(zhì)的高純氣體管道效果尤為明顯。14.2 間斷吹掃方式 這種方式適用于大系統(tǒng),由于閥門多、連接件多,管路系統(tǒng)分枝復(fù)雜,所以整個(gè)系統(tǒng)的滯區(qū)也多,對(duì)這類系統(tǒng)僅采用連續(xù)吹掃方式,既費(fèi)氣又費(fèi)時(shí),效果也不太好,而采用間斷吹掃方式,即“加壓泄壓”的方式,效果要明顯得多,即將系統(tǒng)供給氣體自系統(tǒng)起始端導(dǎo)入,使整個(gè)吹掃系統(tǒng)達(dá)到允許承受的較高壓力,以較高速度沖刷系統(tǒng)各處,造成較強(qiáng)烈的擾動(dòng),滯區(qū)的滯氣得以重新分布,然后快速泄壓,使系統(tǒng)壓力接近大氣壓。再重新“加壓泄壓”,返復(fù)進(jìn)行68次,即可取得顯著的效果。14.3 以上吹掃的真實(shí)效果只能由“系統(tǒng)測(cè)試”得出,因此,該吹掃工序可視為“系統(tǒng)測(cè)試”前期工作,亦可在“系統(tǒng)測(cè)試”時(shí)進(jìn)行。15. 系統(tǒng)測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試項(xiàng)目主要有塵埃顆粒檢測(cè)、水分(露點(diǎn))檢測(cè)、氧分檢測(cè)、油分檢測(cè)等,需要做哪些項(xiàng)目的檢測(cè)、要求達(dá)到的指標(biāo),應(yīng)以設(shè)計(jì)文件為依據(jù),或由建設(shè)單位根據(jù)工藝要求在施工合同中提出。常做的檢測(cè)項(xiàng)目的檢測(cè)要求如下。15.1 露點(diǎn)檢測(cè)15.1.1 可采用目視露點(diǎn)儀或其它類型的精確度不低于3的電子數(shù)字露點(diǎn)儀。15.1.2 若采用目視露點(diǎn)儀,必須嚴(yán)格遵守電子級(jí)氣體中痕量水分子測(cè)定法目視露點(diǎn)法SJ2799-87;采用其它類型的露點(diǎn)儀,必須嚴(yán)格遵守相關(guān)的操作手冊(cè)。15.1.3 應(yīng)檢測(cè)在大氣壓下,氣體中的水蒸汽達(dá)到飽時(shí)的溫度,若儀器測(cè)量值為非大氣壓下的壓力露點(diǎn),則應(yīng)換算成大氣壓下的露點(diǎn)溫度。15.1.4 采樣管應(yīng)用小口徑電拋光不銹鋼管或厚壁聚四氟乙烯管,用焊接或VCR接頭連接,確保嚴(yán)密不漏。15.1.5 調(diào)節(jié)流量應(yīng)使用死空間小的不銹鋼閥門。15.1.6 檢測(cè)前,系統(tǒng)應(yīng)經(jīng)過充分吹掃。15.1.7 采用目視露點(diǎn)儀時(shí),至少應(yīng)取三次測(cè)定值的算術(shù)平均值作為分析結(jié)果;采用其它類型露點(diǎn)儀時(shí),應(yīng)待顯示數(shù)穩(wěn)定3min后,讀取測(cè)定值。露點(diǎn)、含濕量、絕對(duì)溫度換算表見附錄115.2 顆粒檢測(cè)15.2.1 采用采樣量大于0.1CFM的高壓激光粒子計(jì)數(shù)器或配有專用高壓擴(kuò)散器的激光粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè),粒子計(jì)數(shù)器的最小粒徑及粒子通道須滿足檢測(cè)要求。15.2.2 采樣管采用小口徑電拋光不銹鋼管(避免使用易吸附氣體、塵埃的非金屬管),用焊接或VCR接頭連接,確保嚴(yán)密不漏。15.2.3 采樣管越短越好,檢測(cè)0.11m粒徑時(shí),采樣管長不應(yīng)超過15m;檢測(cè)2 5m粒徑時(shí),采樣管長不應(yīng)超過3m。15.2.4 采樣管、高壓擴(kuò)散器,使用前應(yīng)經(jīng)充分吹掃。15.2.5 對(duì)于使用前需要預(yù)熱的粒子計(jì)數(shù)器,應(yīng)經(jīng)一定時(shí)間的預(yù)熱。15.2.6 每個(gè)用氣點(diǎn)采樣一次,最小采樣量由下試計(jì)算:最小采樣量=20/級(jí)別濃度上限例:某系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求0.3m,顆粒度3個(gè)/L則最小采樣量=20/3=6.67L應(yīng)選用有0.3m粒徑通道的粒子計(jì)數(shù)器作最小6.67L的采樣測(cè)試。附錄1露點(diǎn)、含濕量、絕對(duì)濕度換算表露點(diǎn)含濕量ppm絕對(duì)濕度g/m3露點(diǎn)含濕量ppm絕對(duì)濕度g/m3060334.517-2010190.7629-155544.159-21925.90.6933-251113.827-22840.20.6261-346993.519-23761.80.5704-443183.233-24690.20.5169-539652.969-25624.90.4679-636402.725-26565.30.4233-733392.500-27510.90.3825-830602.292-28461.30.3454-928032.099-29416.30.3117-1025661.921-30375.30.2810-1123461.757-31338.10.2532-1221451.606-32304.20.2278-1319601.467-33273.60.2049-1417891.339-34245.80.1841-1516321.222-35220.60.1652-1614871.113-36197.80.4481-1713541.014-37177.30.1328-1812330.9233-38158.70.1189-1911210.8397-39142.00.1063露點(diǎn)含濕量ppm絕對(duì)濕度g/m3露點(diǎn)含濕量ppm絕對(duì)濕度g/m3-40126.80.09491-628.130.006087-41113.10.08471-637.080.005299-42100.90.07555-646.150.004608-4389.930.06734-655.350.004002-4480.03

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