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2、ed date批準(zhǔn)人approved by批準(zhǔn)日期approved date目 錄一. 目 的 003二. 范 圍 003三. 職 責(zé) 003四. 名 詞 定 義 003五. 內(nèi) 容 003六. 相 關(guān) 文 件 010七. 附 錄 0101. 目的:規(guī)范操作,為rena正確換液操作規(guī)范提供依據(jù)。2. 范圍:適用于車(chē)間rena刻蝕換液工序。3. 職責(zé):3.1負(fù)責(zé)rena刻蝕的換液生產(chǎn)作業(yè)3.2負(fù)責(zé)發(fā)現(xiàn)作業(yè)過(guò)程中設(shè)備、工藝異常狀況時(shí)的反映4. 名詞定義:無(wú)5. 工作程序:5.1 rena刻蝕換液圖片示例與操作指導(dǎo)說(shuō)明5.1.1首先要確認(rèn)換液柜上和酸桶上的標(biāo)簽要一致?。ㄗ⒁猓呵f(wàn)不能把不同的酸換在不
3、同的換液柜中,在換酸之前一定要先確認(rèn),不然導(dǎo)致設(shè)備的損壞和對(duì)硅片造成不合格)首先要把汗布手套帶好然后帶好pvc手套穿戴好防護(hù)服帶好防毒面具衣服和防毒面具穿戴整齊帶好防酸堿手套(注意:帶第二只手套時(shí)不能把帶好手套的那只手碰到另一只手套,必須要?jiǎng)e人幫忙帶好)檢查所有防護(hù)措施,盡量不要使皮膚漏在外面擰開(kāi)后要慢慢取出抽液管,防止濺出的酸對(duì)身體傷害換酸之前再次確認(rèn)化學(xué)柜和化學(xué)桶的標(biāo)簽同一慢慢擰開(kāi)化學(xué)桶上的抽液管在取出抽液管時(shí)一定要使抽液的酸全部流入化學(xué)桶中把化學(xué)桶蓋蓋好,防止在移動(dòng)時(shí)濺出酸把取出來(lái)的抽液管小心的掛在旁邊的掛鉤上,一定要掛好5.1.2拿扳手打開(kāi)化學(xué)桶上的蓋子將新的化學(xué)桶移入化學(xué)柜中,注意輕
4、擺輕放,同時(shí)保證桶的標(biāo)簽朝外(方便查看)把抽液管逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)幾圈,防止擰緊的時(shí)候管子會(huì)纏在一起從掛鉤上慢慢取抽液管插入化學(xué)桶中把蓋子擰緊,防止漏氣,液體打不上去再次確認(rèn)蓋子是否擰緊把管子整理一下,防止全部纏在一起,液體打不上去,流通不暢再次確認(rèn)所換好的酸是否一致?lián)Q好以后把門(mén)關(guān)好把脫好的防護(hù)用品全部掛起來(lái)把換下來(lái)的空化學(xué)桶全部集中起來(lái)放置全部搞好了以后必須洗手5.1.3注意事項(xiàng):看到地方有液體,不帶手套不要去處理看到液體(注意:不管是水或酸都要把它看作為酸來(lái)處理)1.未經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)培訓(xùn)的人員禁止化學(xué)桶更換操作;2.正常生產(chǎn)情況下,必須待設(shè)備報(bào)警顯示外部供應(yīng)桶為空時(shí),再進(jìn)行化學(xué)桶的更換;3.在腐蝕性的化學(xué)制品工作中需要配備專(zhuān)門(mén)的防護(hù)用具,建議使用抗腐蝕性的擋板/衣服,鞋,手套和護(hù)目鏡;4.為應(yīng)付意外事故,確保配備緊急沖洗設(shè)備對(duì)受侵蝕身體部位進(jìn)行沖洗;5.決不能單獨(dú)更換化學(xué)用品;6.一
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