電容式傳感器的的位移特性實(shí)驗(yàn)_第1頁
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電容式傳感器的的位移特性實(shí)驗(yàn)電容式傳感器的的位移特性實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)主要內(nèi)容 1傳感器簡介 2實(shí)驗(yàn)的原理 3實(shí)驗(yàn)的儀器 4實(shí)驗(yàn)的步驟 5對實(shí)驗(yàn)總結(jié) 電容式傳感器簡介 v電容式傳感器就是把被 測的機(jī)械量，如位移， 壓力等轉(zhuǎn)化為電容的變 化量。電容式傳感器可 分為極距變化型，面積 變化型，介質(zhì)變化型三 類。我們這次用的就是 面積變化型。 研究電容傳感器的優(yōu)缺點(diǎn) 優(yōu)點(diǎn) v結(jié)構(gòu)簡單 v價(jià)格便宜 v靈敏度高 v零磁滯 v真空兼容 v過載能力強(qiáng) v動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性較好 v對惡劣環(huán)境的適應(yīng)性強(qiáng) 缺點(diǎn) v輸出存在非線性 v寄生電容和分布電容對靈敏 度和測量精度影響較大 v連接電路較復(fù)雜 實(shí)驗(yàn)原理 利用平板電容c= s/d和其他結(jié)構(gòu)的的關(guān)系式 通過相應(yīng)的結(jié)構(gòu)和測量電路可以選擇、s 、d中 三個(gè)參數(shù)，保持兩個(gè)不變，而改變其中一個(gè)。 本次試驗(yàn)所用的變面積型電容器中，平板結(jié)構(gòu) 對極距特別敏感，測量精度受到影響，而圓柱形 結(jié)構(gòu)受極板徑向變化的影響很小，且理論上有有 很好的線性關(guān)系。成為實(shí)際中最常用的結(jié)構(gòu)。其 中線位移單組式的電容量c在忽略邊緣效應(yīng)時(shí)為 式中 l外圓桶與內(nèi)柱覆蓋部分的長度 r1、r2 外圓桶內(nèi)半徑和內(nèi)柱外半徑 當(dāng)兩圓筒相對移動(dòng) l時(shí)，電容變化量 c為 于是，可得其靜態(tài)靈敏度為 可見靈敏度與r2/r1有關(guān)，r2與r1越接近，靈 敏度越高，雖然內(nèi)外極桶原始覆蓋長度l與 靈敏

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