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文檔簡(jiǎn)介
1、|精.|品.|可.|編.|輯.|學(xué).|習(xí).|資.|料.*|*|*|*|歡.|迎.|下.|載.1. acceptancetestingWAT:waferacceptancetesting2. acceptor:受主,如B,摻入Si中需要接受電子3. ACCESS:一個(gè)EDA(EngineeringDataAnalysis)系統(tǒng)4. Acid:酸5. Activedevice:有源器件,如MOSFET(非線性,可以對(duì)信號(hào)放大)6. Alignmarkkey:對(duì)位標(biāo)記7. Alloy:合金8. Aluminum:鋁9. Ammonia:氨水10. Ammoniumfluoride:NH4F11. A
2、mmoniumhydroxide:NH4OH12. Amorphoussilicon:-Si,非晶硅(不是多晶硅)13. Analog:模擬的14. Angstrom:A(1E-10m)埃15. Anisotropic:各向異性(如POLYETCH)16. AQLAcceptanceQualityLevel:接受質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn),在肯定采樣下,可以95%置信度通過(guò)質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)(不同于牢靠性,牢靠性要求肯定時(shí)間后的失效率)17. ARCAntireflectivecoating:抗反射層(用于METAL等層的光刻)18. AntimonySb銻19. ArgonAr氬20. ArsenicAs砷21. Ar
3、senictrioxideAs2O3三氧化二砷22. ArsineAsH323. Asher:去膠機(jī)24. Aspectration:形貌比(ETCH中的深度、寬度比)25. Autodoping:自攙雜(外延時(shí)SUB的濃度高,導(dǎo)致有雜質(zhì)蒸發(fā)到環(huán)境中后,又回?fù)降酵庋訉樱?6. Backend:后段(CONTACT以后、PCM測(cè)試前)27. Baseline:標(biāo)準(zhǔn)流程28. Benchmark:基準(zhǔn)29. Bipolar:雙極30. Boat:擴(kuò)散用(石英)舟31. CD:(CriticalDimension)臨界(關(guān)鍵)尺寸;在工藝上通常指條寬,例如POLYCD為多晶條寬;32. Charac
4、terwindow:特點(diǎn)窗口;用文字或數(shù)字描述的包含工藝全部特性的一個(gè)方形區(qū)域;33. Chemical-mechanicalpolish(CMP):化學(xué)機(jī)械拋光法;一種去掉圓片表面某種物質(zhì)的方法;34. Chemicalvapordeposition(CVD):化學(xué)汽相淀積;一種通過(guò)化學(xué)反應(yīng)生成一層薄膜的工藝;35. Chip:碎片或芯片;36. CIM:computer-integratedmanufacturing的縮寫(xiě);用運(yùn)算機(jī)掌握和監(jiān)掌握造工藝的一種綜合方式;37. Circuitdesign:電路設(shè)計(jì);一種將各種元器件連接起來(lái)實(shí)現(xiàn)肯定功能的技術(shù);38. Cleanroom:一種在溫
5、度,濕度和干凈度方面都需要滿意某些特別要求的特定區(qū)域;第1頁(yè),共15頁(yè)|精.|品.|可.|編.|輯.|學(xué).|習(xí).|資.|料.*|*|*|*|歡.|迎.|下.|載.39. Compensationdoping:補(bǔ)償摻雜;向P型半導(dǎo)體摻入施主雜質(zhì)或向N型摻入受主雜質(zhì);40. CMOS:complementarymetaloxidesemiconductor的縮寫(xiě);一種將PMOS和NMOS在同一個(gè)硅襯底上混合制造的工藝;41. Computer-aideddesign(CAD):運(yùn)算機(jī)幫助設(shè)計(jì);42. Conductivitytype:傳導(dǎo)類(lèi)型,由多數(shù)載流子打算;在N型材料中多數(shù)載流子是電子,在P型
6、材料中多數(shù)載流子是空穴;43. Contact:孔;在工藝中通常指孔1,即連接鋁和硅的孔;44. Controlchart:掌握?qǐng)D;一種用統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)描述的可以代表工藝某種性質(zhì)的曲線圖表;45. Correlation:相關(guān)性;46. Cp:工藝才能,詳見(jiàn)processcapability;47. Cpk:工藝才能指數(shù),詳見(jiàn)processcapabilityindex;48. Cycletime:圓片做完某段工藝或設(shè)定工藝段所需要的時(shí)間;通常用來(lái)衡量流通速度的快慢;49. Damage:損耗;對(duì)于單晶體來(lái)說(shuō),有時(shí)晶格缺陷在表面處理后形成無(wú)法修復(fù)的變形也可以叫做損耗;50. Defectdensit
7、y:缺陷密度;單位面積內(nèi)的缺陷數(shù);51. Depletionimplant:耗盡注入;一種在溝道中注入離子形成耗盡晶體管的注入工藝;(耗盡晶體管指在柵壓為零的情形下有電流流過(guò)的晶體管;)52. Depletionlayer:耗盡層;可動(dòng)載流子密度遠(yuǎn)低于施主和受主的固定電荷密度的區(qū)域;53. Depletionwidth:耗盡寬度;53中提到的耗盡層這個(gè)區(qū)域的寬度;54. Deposition:淀積;一種在圓片上淀積肯定厚度的且不和下面層次發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的薄膜的一種方法;55. Depthoffocus(DOF):焦深;56. designofexperimentsDOE:為了達(dá)到費(fèi)用最小化、降低
8、試驗(yàn)錯(cuò)誤、以及保證數(shù)據(jù)結(jié)果的統(tǒng)計(jì)合理性等目的,所設(shè)計(jì)的初始工程批試驗(yàn)方案;57. develop:顯影(通過(guò)化學(xué)處理除去曝光區(qū)域的光刻膠,形成所需圖形的過(guò)程)58. developer:)顯影設(shè)備;)顯影液59. diboraneB2H6:乙硼烷,一種無(wú)色、易揮發(fā)、有毒的可燃?xì)怏w,常用來(lái)作為半導(dǎo)體生產(chǎn)中的硼源60. dichloromethaneCH2CL2:二氯甲,一種無(wú)色,不行燃,不行爆的液體;61. dichlorosilaneDSC:二氯甲硅烷,一種可燃,有腐蝕性,無(wú)色,在潮濕環(huán)境下易水解的物質(zhì),常用于硅外延或多晶硅的成長(zhǎng),以及用在沉積二氧化硅、氮化硅時(shí)的化學(xué)氣氛中;62. die:硅
9、片中一個(gè)很小的單位,包括了設(shè)計(jì)完整的單個(gè)芯片以及芯片鄰近水平和垂直方向上的部分劃片槽區(qū)域;63. dielectric:)介質(zhì),一種絕緣材料;)用于陶瓷或塑料封裝的表面材料,可以供應(yīng)電絕緣功能;64. diffusedlayer:擴(kuò)散層,即雜質(zhì)離子通過(guò)固態(tài)擴(kuò)散進(jìn)入單晶硅中,在接近硅表面的區(qū)域形成與襯底材料反型的雜質(zhì)離子層;65. disilaneSi2H6:乙硅烷,一種無(wú)色、無(wú)腐蝕性、極易燃的氣體,燃燒時(shí)能產(chǎn)生高火焰,暴露在空氣中會(huì)自燃;在生產(chǎn)光電單元時(shí),乙硅烷常用于沉積多晶硅薄膜;66. drive-in:推阱,指運(yùn)用高溫過(guò)程使雜質(zhì)在硅片中分布擴(kuò)散;67. dryetch:干刻,指采納反應(yīng)氣
10、體或電離氣體除去硅片某一層次中未受愛(ài)護(hù)區(qū)域的混合了物理腐蝕及化學(xué)腐蝕的工藝過(guò)程;68. effectivelayerthickness:有效層厚,指在外延片制造中,載流子密度在規(guī)定范疇內(nèi)第2頁(yè),共15頁(yè)|精.|品.|可.|編.|輯.|學(xué).|習(xí).|資.|料.*|*|*|*|歡.|迎.|下.|載.的硅錠前端的深度;69. EM:electromigration,電子遷移,指由通過(guò)鋁條的電流導(dǎo)致電子沿鋁條連線進(jìn)行的自擴(kuò)散過(guò)程;70. epitaxiallayer:外延層;半導(dǎo)體技術(shù)中,在打算晶向的基質(zhì)襯底上生長(zhǎng)一層單晶半導(dǎo)體材料,這一單晶半導(dǎo)體層即為外延層;71. equipmentdowntime
11、:設(shè)備狀態(tài)反常以及不能完成預(yù)定功能的時(shí)間;72. etch:腐蝕,運(yùn)用物理或化學(xué)方法有挑選的去除不需的區(qū)域;73. exposure:曝光,使感光材料感光或受其他輻射材料照耀的過(guò)程;74. fab:常指半導(dǎo)體生產(chǎn)的制造工廠;75. featuresize:特點(diǎn)尺寸,指單個(gè)圖形的最小物理尺寸;76. field-effecttransistor(FET):場(chǎng)效應(yīng)管;包含源、漏、柵、襯四端,由源經(jīng)柵到漏的多子流驅(qū)動(dòng)而工作,多子流由柵下的橫向電場(chǎng)掌握;77. film:薄膜,圓片上的一層或多層迭加的物質(zhì);78. flat:平邊79. flatbandcapacitanse:平帶電容80. flatb
12、andvoltage:平帶電壓81. flowcoefficicent:流淌系數(shù)82. flowvelocity:流速計(jì)83. flowvolume:流量計(jì)84. flux:?jiǎn)挝粫r(shí)間內(nèi)流過(guò)給定面積的顆粒數(shù)85. forbiddenenergygap:禁帶86. four-pointprobe:四點(diǎn)探針臺(tái)87. functionalarea:功能區(qū)88. gateoxide:柵氧89. glasstransitiontemperature:玻璃態(tài)轉(zhuǎn)換溫度90. gowning:凈化服91. grayarea:灰區(qū)92. grazingincidenceinterferometer:切線入射干涉儀
13、93. hardbake:后烘94. heteroepitaxy:?jiǎn)尉чL(zhǎng)在不同材料的襯底上的外延方法95. high-currentimplanter:束電流大于3ma的注入方式,用于批量生產(chǎn)96. hign-efficiencyparticulateairHEPAfilter:高效率空氣顆粒過(guò)濾器,去掉99.97%的大于0.3um的顆粒97. host:主機(jī)98. hotcarriers:熱載流子99. hydrophilic:親水性100. hydrophobic:疏水性101. impurity:雜質(zhì)102. inductivecoupledplasmaICP:感應(yīng)等離子體103. in
14、ertgas:惰性氣體104. initialoxide:一氧105. insulator:絕緣106. isolatedline:隔離線107. implant:注入第3頁(yè),共15頁(yè)|精.|品.|可.|編.|輯.|學(xué).|習(xí).|資.|料.*|*|*|*|歡.|迎.|下.|載.108. impurityn:摻雜109. junction:結(jié)110. junctionspikingn:鋁穿刺111. kerf:劃片槽112. landingpadn:PAD113. lithographyn制版114. maintainability,equipment:設(shè)備產(chǎn)能115. maintenancen:
15、保養(yǎng)116. majoritycarriern:多數(shù)載流子117. masks,deviceseriesofn:一成套光刻版118. materialn:原料119. matrixn1:矩陣120. meann:平均值121. measuredleakraten:測(cè)得漏率122. mediann:中間值123. memoryn:記憶體124. metaln:金屬125. nanometernmn:納米126. nanosecondnsn:納秒127. nitrideetchn:氮化物刻蝕128. nitrogenN2n:氮?dú)?,一種雙原子氣體129. n-typeadj:n型130. ohmsp
16、ersquaren:歐姆每平方:方塊電阻131. orientationn:晶向,一組晶列所指的方向132. overlapn:交迭區(qū)133. oxidationn:氧化,高溫下氧氣或水蒸氣與硅進(jìn)行的化學(xué)反應(yīng)134. phosphorusPn:磷,一種有毒的非金屬元素135. photomaskn:光刻版,用于光刻的版136. photomask,negativen:反刻137. images:去掉圖形區(qū)域的版138. photomask,positiven:正刻139. pilotn:先行批,用以驗(yàn)證該工藝是否符合規(guī)格的片子140. plasman:等離子體,用于去膠、刻蝕或淀積的電離氣體1
17、41. plasma-enhancedchemicalvapordepositionPECVDn:等離子體化學(xué)氣相淀積,低溫條件下的等離子淀積工藝142. plasma-enhancedTEOSoxidedepositionn:TEOS淀積,淀積TEOS的一種工藝143. pnjunctionn:pn結(jié)144. pockedbeadn:麻點(diǎn),在20X下觀看到的吸附在低壓表面的水珠145. polarizationn:偏振,描述電磁波下電場(chǎng)矢量方向的術(shù)語(yǔ)146. polyciden:多晶硅/金屬硅化物,解決高阻的復(fù)合柵結(jié)構(gòu)147. polycrystallinesiliconpolyn:多晶硅,
18、高濃度摻雜(>5E19)的硅,能導(dǎo)電;148. polymorphismn:多態(tài)現(xiàn)象,多晶形成一種化合物以至少兩種不同的形狀結(jié)晶的現(xiàn)象149. probern:探針;在集成電路的電流測(cè)試中使用的一種設(shè)備,用以連接圓片和檢測(cè)設(shè)備;150. processcontroln:過(guò)程掌握;半導(dǎo)體制造過(guò)程中,對(duì)設(shè)備或產(chǎn)品規(guī)范的掌握才能;第4頁(yè),共15頁(yè)|精.|品.|可.|編.|輯.|學(xué).|習(xí).|資.|料.*|*|*|*|歡.|迎.|下.|載.151. proximityX-rayn:近X射線:一種光刻技術(shù),用X射線照耀置于光刻膠上方的掩膜版,從而使對(duì)應(yīng)的光刻膠暴光;152. purewatern:純
19、水;半導(dǎo)體生產(chǎn)中所用之水;153. quantumdevicen:量子設(shè)備;一種電子設(shè)備結(jié)構(gòu),其特性源于電子的波動(dòng)性;154. quartzcarriern:石英舟;155. randomaccessmemoryRAMn:隨機(jī)儲(chǔ)備器;156. randomlogicdevicen:隨機(jī)規(guī)律器件;157. rapidthermalprocessingRTPn:快速熱處理RTP;158. reactiveionetchRIEn:反應(yīng)離子刻蝕RIE;159. reactorn:反應(yīng)腔;反應(yīng)進(jìn)行的密封隔離腔;160. recipen:菜單;生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)圓片所做的每一步處理規(guī)范;161. resistn
20、:光刻膠;162. scanningelectronmicroscopeSEMn:電子顯微鏡SEM;163. scheduleddowntimen:設(shè)備預(yù)定停工時(shí)間;164. Schottkybarrierdiodesn:肖特基二極管;165. scribelinen:劃片槽;166. sacrificialetchbackn:犧牲腐蝕;167. semiconductorn:半導(dǎo)體;電導(dǎo)性介于導(dǎo)體和絕緣體之間的元素;168. sheetresistanceRsorpersquaren:薄層電阻;一般用以衡量半導(dǎo)體表面雜質(zhì)摻雜水平;169. sideload:邊緣載荷,被彎曲后產(chǎn)生的應(yīng)力;17
21、0. silicononsapphireSOSepitaxialwafer:外延是藍(lán)寶石襯底硅的原片171. smallscaleintegrationSSI:小規(guī)模綜合,在單一模塊上由2到10個(gè)圖案的布局;172. sourcecode:原代碼,機(jī)器代碼編譯者使用的,輸入到程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言里或編碼器的代碼;173. spectralline:光譜線,光譜鑷制機(jī)或分光計(jì)在焦平面上捕獲到的狹長(zhǎng)狀的圖形;174. spinwebbing:旋轉(zhuǎn)帶,在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中在下表面形成的細(xì)絲狀的剩余物;175. sputteretch:濺射刻蝕,從離子轟擊產(chǎn)生的表面除去薄膜;176. stackingfault:堆垛
22、層錯(cuò),原子一般積累規(guī)律的背離產(chǎn)生的2次空間錯(cuò)誤;177. steambath:蒸汽浴,一個(gè)大氣壓下,流淌蒸汽或其他溫度熱源的暴光;178. stepresponsetime:瞬態(tài)特性時(shí)間,大多數(shù)流量掌握器試驗(yàn)中,一般變化時(shí)段到氣流剛到達(dá)特定地帶的那個(gè)時(shí)刻之間的時(shí)間;179. stepper:步進(jìn)光刻機(jī)(按BLOCK來(lái)曝光)180. stresstest:應(yīng)力測(cè)試,包括特定的電壓、溫度、濕度條件;181. surfaceprofile:表面輪廓,指與原片表面垂直的平面的輪廓(沒(méi)有特指的情形下);182. symptom:征兆,人員感覺(jué)到在肯定條件下產(chǎn)生變化的弊病的主觀熟悉;183. tackwe
23、ld:間斷焊,通常在角落上查找預(yù)先有的地點(diǎn)進(jìn)行的點(diǎn)焊(用于連接蓋子);184. Taylortray:泰勒盤(pán),褐拈土組成的高膨脹物質(zhì);185. temperaturecycling:溫度周期變化,測(cè)量出的重復(fù)顯現(xiàn)相類(lèi)似的高低溫循環(huán);186. testability:易測(cè)性,對(duì)于一個(gè)已給電路來(lái)說(shuō),哪些測(cè)試是適用它的;187. thermaldeposition:熱沉積,在超過(guò)950度的高溫下,硅片引入化學(xué)摻雜物的過(guò)程;188. thinfilm:超薄薄膜,積累在原片表面的用于傳導(dǎo)或絕緣的一層特別薄膜;189. titaniumTi:鈦;190. tolueneC6H5CH3:甲苯;有毒、無(wú)色易燃
24、的液體,它不溶于水但溶于酒精和大氣;第5頁(yè),共15頁(yè)|精.|品.|可.|編.|輯.|學(xué).|習(xí).|資.|料.*|*|*|*|歡.|迎.|下.|載.191. 1,1,1-trichloroethaneTCACL3CCH3:有毒、不易燃、有刺激性氣味的液態(tài)溶劑;這種混合物不溶于水但溶于酒精和大氣;192. tungstenW:鎢;193. tungstenhexafluorideWF6:氟化鎢;無(wú)色無(wú)味的氣體或者是淡黃色液體;在CVD中WF6用于淀積硅化物,也可用于鎢傳導(dǎo)的薄膜;194. tinning:金屬性表面掩蓋焊點(diǎn)的薄層;195. totalfixedchargedensityNth:以下是
25、硅表面不行動(dòng)電荷密度的總和:氧化層固定電荷密度Nf、氧化層俘獲的電荷的密度Not、界面負(fù)獲得電荷密度Nit;196. wattW:瓦;能量單位;197. waferflat:從晶片的一面直接切下去,用于說(shuō)明自由載流子的導(dǎo)電類(lèi)型和晶體表面的晶向,也可用于在處理和雕合過(guò)程中的排列晶片;198. waferprocesschamberWPC:對(duì)晶片進(jìn)行工藝的腔體;199. well:阱;200. wetchemicaletch:濕法化學(xué)腐蝕;201. trench:深腐蝕區(qū)域,用于從另一區(qū)域隔離出一個(gè)區(qū)域或者在硅晶片上形成儲(chǔ)備電容器;202. via:通孔;使隔著電介質(zhì)的上下兩層金屬實(shí)現(xiàn)電連接;20
26、3. window:在隔離晶片中,答應(yīng)上下兩層實(shí)現(xiàn)電連接的絕緣的通道;204. torr:托;壓力的單位;205. vaporpressure:當(dāng)固體或液體處于平穩(wěn)態(tài)時(shí)自己擁有的蒸汽所施加的壓力;蒸汽壓力是與物質(zhì)和溫度有關(guān)的函數(shù);206. vacuum:真空;207. transitionmetals:過(guò)渡金屬Yield良率Parameter參數(shù)PAC感光化合物ASIC特別應(yīng)用集成電路Solvent溶劑Carbide碳Refractive折射Expansion膨脹Strip濕式刻蝕法的一種TM:topmental頂層金屬層WEE周邊曝光PSG硼硅玻璃MFG制造部Runcard運(yùn)作卡POD裝晶舟
27、和晶片的盒子Scratch刮傷Reticle光罩Sputter濺射Spin旋轉(zhuǎn)Merge合并A/D軍Analog.Digital,模擬/數(shù)字第6頁(yè),共15頁(yè)|精.|品.|可.|編.|輯.|學(xué).|習(xí).|資.|料.*|*|*|*|歡.|迎.|下.|載.ACMagnitude溝通幅度ACPhase溝通相位Accuracy精度"ActivityModelActivityModel"活動(dòng)模型AdditiveProcess加成工藝Adhesion附著力Aggressor干擾源AnalogSource模擬源AOI,AutomatedOpticalInspection自動(dòng)光學(xué)檢查Assem
28、blyVariant不同的裝配版本輸出Attributes屬性AXI,AutomatedX-rayInspection自動(dòng)X光檢查BIST,Built-inSelfTest內(nèi)建的自測(cè)試BusRoute總線布線Circuit電路基準(zhǔn)circuitdiagram電路圖Clementine專用共形開(kāi)線設(shè)計(jì)ClusterPlacement簇布局CM合約制造商CommonImpedance共模阻抗Concurrent并行設(shè)計(jì)ConstantSource恒壓源CooperPour智能覆銅Crosstalk串?dāng)_CVT,ComponentVerificationandTracking元件確認(rèn)與跟蹤DCMagn
29、itude直流幅度Delay延時(shí)Delays延時(shí)DesignforTesting可測(cè)試性設(shè)計(jì)Designator標(biāo)識(shí)DFC,DesignforCost面對(duì)成本的設(shè)計(jì)DFM,DesignforManufacturing面對(duì)制造過(guò)程的設(shè)計(jì)DFR,DesignforReliability面對(duì)牢靠性的設(shè)計(jì)DFT,DesignforTest面對(duì)測(cè)試的設(shè)計(jì)DFX,DesignforX面對(duì)產(chǎn)品的整個(gè)生命周期或某個(gè)環(huán)節(jié)的設(shè)計(jì)DSM,DynamicSetupManagement動(dòng)態(tài)設(shè)定治理DynamicRoute動(dòng)態(tài)布線EDIF,TheElectronicDesignInterchangeFormat電子設(shè)計(jì)交
30、互格式EIA,ElectronicIndustriesAssociation電子工業(yè)協(xié)會(huì)ElectroDynamicCheck動(dòng)態(tài)電性能分析ElectromagneticDisturbance電磁干擾ElectromagneticNoise電磁噪聲EMC,ElctromagneticCompatibilt電磁兼容第7頁(yè),共15頁(yè)|精.|品.|可.|編.|輯.|學(xué).|習(xí).|資.|料.*|*|*|*|歡.|迎.|下.|載.EMI,ElectromagneticInterference電磁干擾Emulation硬件仿真EngineeringChangeOrder原理圖與PCB版圖的自動(dòng)對(duì)應(yīng)修改Ens
31、emble多層平面電磁場(chǎng)仿真ESD靜電釋放FallTime下降時(shí)間FalseClocking假時(shí)鐘FEP氟化乙丙烯FFT,FastFourierTransform快速傅里葉變換FloatLicense網(wǎng)絡(luò)浮動(dòng)FrequencyDomain頻域GaussianDistribution高斯分布Globalflducial板基準(zhǔn)GroundBounce地彈反射GUI,GraphicalUserInterface圖形用戶界面Harmonica射頻微波電路仿真HFSS三維高頻結(jié)構(gòu)電磁場(chǎng)仿真IBIS,Input/OutputBufferInformationSpecification模型ICAM,Inte
32、gratedComputerAidedManufacturing在ECCE項(xiàng)目里就是指制作PCBIEEE,TheInstituteofElectricalandElectronicEngineers國(guó)際電氣和電子工程師協(xié)會(huì)IGES,InitialGraphicsExchangeSpecification三維立體幾何模型和工程描述的標(biāo)準(zhǔn)ImageFiducial電路基準(zhǔn)Impedance阻抗In-Circuit-Test在線測(cè)試InitialVoltage初始電壓InputRiseTime輸入躍升時(shí)間IPC,TheInstituteforPackagingandInterconnect封裝與互連
33、協(xié)會(huì)IPO,InteractiveProcessOptimizaton交互過(guò)程優(yōu)化ISO,TheInternationalStandardsOrganization國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織Jumper跳線LinearDesignSuit線性設(shè)計(jì)軟件包LocalFiducial個(gè)別基準(zhǔn)manufacturing制造業(yè)MCMs,Multi-ChipModules多芯片組件MDE,MaxwellDesignEnvironmentNonlinearDesignSuit非線性設(shè)計(jì)軟件包ODB+OpenDataBase公開(kāi)數(shù)據(jù)庫(kù)OEM原設(shè)備制造商O(píng)LEAutomation目標(biāo)連接與嵌入On-lineDRC在線設(shè)計(jì)規(guī)
34、章檢查Optimetrics優(yōu)化和參數(shù)掃描Overshoot過(guò)沖Panelfiducial板基準(zhǔn)PCBPCBoardLayoutTools電路板布局布線第8頁(yè),共15頁(yè)|精.|品.|可.|編.|輯.|學(xué).|習(xí).|資.|料.*|*|*|*|歡.|迎.|下.|載.PCB,PrintedCircuitBoard印制電路板Period周期PeriodicPulseSource周期脈沖源PhysicalDesignReuse物理設(shè)計(jì)可重復(fù)PI,PowerIntegrity電源完整性Piece-Wise-linearSource分段線性源Preview輸出預(yù)覽PulseWidth脈沖寬度PulsedVol
35、tage脈沖電壓QuiescentLine靜態(tài)線RadialArrayPlacement極坐標(biāo)方式的元件布局Reflection反射Reuse實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)重用RiseTime上升時(shí)間Rnging振蕩,信號(hào)的振鈴Rounding圍繞振蕩RulesDriven規(guī)章驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)SaxBasicEngine設(shè)計(jì)系統(tǒng)中嵌入SDE,SerenadeDesignEnvironmentSDT,SchematicDesignTools電路原理設(shè)計(jì)工具Setting設(shè)置SettlingTime建立時(shí)間ShapeBase以形狀為基礎(chǔ)的無(wú)網(wǎng)格布線Shove元器件的推擠布局SI,SignalIntegrity信號(hào)完整性Simu
36、lation軟件仿真Sketch草圖法布線Skew偏移SlewRate斜率SPC,StaticticalProcessControl統(tǒng)計(jì)過(guò)程掌握SPI,Signal-PowerIntegrity將信號(hào)完整性和電源完整性集成于一體的分析工具SPICE,SimulationProgramwithIntegratedCircuitEmphasis集成電路模擬的仿真程序Split/MixedLayer多電源/地線的自動(dòng)分隔SSO同步交換STEP,StandardfortheExchangeofProductModelDataSymphony系統(tǒng)仿真Timedomain時(shí)域TimestepSetting
37、步進(jìn)時(shí)間設(shè)置UHDL,VHSICHardwareDescriptionLanguage硬件描述語(yǔ)言Undershoot下沖UniformDistribution勻稱分布Variant派生VIA-VendorIntegrationAlliance程序框架聯(lián)盟Victim被干擾對(duì)象第9頁(yè),共15頁(yè)|精.|品.|可.|編.|輯.|學(xué).|習(xí).|資.|料.*|*|*|*|歡.|迎.|下.|載.VirtualSystemPrototype虛擬系統(tǒng)原型VST,VerficationandSimulationTools驗(yàn)證和仿真工具Wizard智能建庫(kù)工具,向?qū)?. 專業(yè)術(shù)語(yǔ)術(shù)語(yǔ)英文意義中文說(shuō)明LCDLiqu
38、idCrystalDisplay液晶顯示LCMLiquidCrystalModule液晶模塊TNTwistedNematic扭曲向列;液晶分子的扭曲取向偏轉(zhuǎn)90度STNSuperTwistedNematic超級(jí)扭曲向列;約180270度扭曲向列FSTNFormulatedSuperTwistedNematic格式化超級(jí)扭曲向列;一層光程補(bǔ)償偏甲于STN,用于單色顯示TFTThinFilmTransistor薄膜晶體管Backlight-背光Inverter-逆變器OSDOnScreenDisplay在屏上顯示DVIDigitalVisualInterface(VGA)數(shù)字接口TMDSTrans
39、itionMinimizedDifferentialSingnalingLVDSLowVoltageDifferentialSignaling低壓差分信號(hào)Panelink-ICIntegrateCircuit集成電路TCPTapeCarrierPackage柔性線路板COBChipOnBoard通過(guò)綁定將IC裸偏固定于印刷線路板上COFChipOnFPC將IC固定于柔性線路板上COGChipOnGlass將芯偏固定于玻璃上Duty-占空比,高出點(diǎn)亮的閥值電壓的部分在一個(gè)周期中所占的比率LEDLightEmittingDiode發(fā)光二極管ELElextroLuminescence電致發(fā)光;EL層
40、由高分子量薄片構(gòu)成CCFLCCFTColdCathodeFluorescentLight/Tude冷陰極熒光燈PDPPlasmaDisplayPanel等離子顯示屏CRTCathodeRadialTude陰極射線管VGAVideoGraphicAnay視頻圖形陳設(shè)PCBPrintedCircuitBoard印刷電路板Compositevideo-復(fù)合視頻componentvideo-重量視頻S-video-S端子,與復(fù)合視頻信號(hào)比,將對(duì)比和顏色分別傳輸NTSCNationalTelevisionSystemsCommitteeNTSC制式;全國(guó)電視系統(tǒng)委員會(huì)制式PhaseAlrernating
41、LinePAL制式(逐行倒相制式)SEquentialCouleurAvecMemoireSECAM制式(次序與儲(chǔ)備彩色電視系統(tǒng))VideoOnDemand視頻點(diǎn)播DPIDotPerInch點(diǎn)每英寸3. A.M.U原子質(zhì)量數(shù)4. ADIAfterdevelopinspection顯影后檢視5. AEI蝕科后檢查6. Alignment排成始終線,對(duì)平第10頁(yè),共15頁(yè)|精.|品.|可.|編.|輯.|學(xué).|習(xí).|資.|料.*|*|*|*|歡.|迎.|下.|載.7. Alloy融合:電壓與電流成線性關(guān)系,降低接觸的阻值8. ARC:anti-reflectcoating防反射層9. ASHER:一
42、種干法刻蝕方式10. ASI光阻去除后檢查11. Backside晶片背面12. BacksideEtch背面蝕刻13. Beam-Current電子束電流14. BPSG:含有硼磷的硅玻璃15. Break中斷,stepper機(jī)臺(tái)內(nèi)中途停止鍵16. Cassette裝晶片的晶舟17. CD:criticaldimension關(guān)鍵性尺寸18. Chamber反應(yīng)室19. Chart圖表20. Childlot子批21. Chipdie晶粒22. CMP化學(xué)機(jī)械研磨23. Coater光阻掩蓋(機(jī)臺(tái))24. Coating涂布,光阻掩蓋25. ContactHole接觸窗26. ControlW
43、afer控片27. Criticallayer重要層28. CVD化學(xué)氣相淀積29. Cycletime生產(chǎn)周期30. Defect缺陷31. DEP:deposit淀積32. Descum預(yù)處理33. Developer顯影液;顯影(機(jī)臺(tái))34. Development顯影35. DG:dualgate雙門(mén)36. DIwater去離子水37. Diffusion擴(kuò)散38. Doping摻雜39. Dose劑量40. Downgrade降級(jí)41. DRC:designrulecheck設(shè)計(jì)規(guī)章檢查42. DryClean干洗43. Duedate交期44. Dummywafer擋片45. E/
44、R:etchrate蝕刻速率46. EE設(shè)備工程師47. EndPoint蝕刻終點(diǎn)48. ESD:electrostaticdischarge/electrostaticdamage靜電離子損耗49. ET:etch蝕刻50. Exhaust排氣(將管路中的空氣排除)第11頁(yè),共15頁(yè)|精.|品.|可.|編.|輯.|學(xué).|習(xí).|資.|料.*|*|*|*|歡.|迎.|下.|載.51. Exposure曝光52. FAB工廠53. FIB:focusedionbeam聚焦離子束54. FieldOxide場(chǎng)氧化層55. Flatness平整度56. Focus焦距57. Foundry代工58.
45、FSG:含有氟的硅玻璃59. Furnace爐管60. GOI:gateoxideintegrity門(mén)氧化層完整性61. H.M.D.SHexamethyldisilazane,經(jīng)去水烘烤的晶片,將涂上一層增加光阻與晶片表面附著力的化合物,稱H.M.D.S62. HCI:hotcarrierinjection熱載流子注入63. HDP:highdensityplasma高密度等離子體64. High-Voltage高壓65. Hotbake烘烤66. ID辨認(rèn),鑒定67. Implant植入68. Layer層次69. LDD:lightlydopeddrain輕摻雜漏70. Localdef
46、ocus局部失焦因機(jī)臺(tái)或晶片造成之臟污71. LOCOS:localoxidationofsilicon局部氧化72. Loop巡路73. Lot批74. Maskreticle光罩75. Merge合并76. MetalVia金屬接觸窗77. MFG制造部78. Mid-Current中電流79. Module部門(mén)80. NIT:Si3N4氮化硅81. Non-critical非重要82. NP:n-dopedplusN+N型重?fù)诫s83. NW:n-dopedwellN阱84. OD:oxidedefinition定義氧化層85. OM:opticmicroscope光學(xué)顯微鏡86. OOC
47、超出掌握界線87. OOS超出規(guī)格界線88. OverEtch過(guò)蝕刻89. Overflow溢出90. Overlay測(cè)量前層與本層之間曝光的精確度91. OX:SiO2二氧化硅92. P.R.Photoresisit光阻93. P1:poly多晶硅第12頁(yè),共15頁(yè)|精.|品.|可.|編.|輯.|學(xué).|習(xí).|資.|料.*|*|*|*|歡.|迎.|下.|載.94. PA;passivation鈍化層95. Parentlot母批96. Particle含塵量/微塵粒子97. PE:1.processengineer;2.plasmaenhance1、工藝工程師2、等離子體增強(qiáng)98. PH:ph
48、oto黃光或微影99. Pilot試驗(yàn)的100. Plasma電漿101. Pod裝晶舟與晶片的盒子102. Polymer聚合物103. PORProcessofrecord104. PP:p-dopedplusP+P型重?fù)诫s105. PR:photoresist光阻106. PVD物理氣相淀積107. PW:p-dopedwellP阱108. Queuetime等待時(shí)間109. R/C:runcard運(yùn)作卡110. Recipe程式111. Release放行112. Resistance電阻113. Reticle光罩114. RF射頻115. RM:remove.排除116. Rotation旋轉(zhuǎn)117. RTA:rapidthermalanneal快速熱退火118. RTP:rapidthermalprocess快速熱處理119. SA:salicide硅化金屬120. SAB:salicidebloc
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