基于光學(xué)測(cè)量的微米級(jí)位移測(cè)量方法設(shè)計(jì)00

1、基于光學(xué)測(cè)量的微米級(jí)微位移測(cè)量方法設(shè)計(jì)CONTENTS1應(yīng)用背景與需求情況2工作原理及數(shù)學(xué)分析3實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方案4重要參數(shù)指標(biāo)5方案的優(yōu)缺點(diǎn)分析CONTENTS1應(yīng)用背景與需求情況2工作原理及數(shù)學(xué)分析3實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方案4重要參數(shù)指標(biāo)5方案的優(yōu)缺點(diǎn)分析1.應(yīng)用背景與需求情況 微位移測(cè)量是指對(duì)位移范圍在微米以及微米以下的物體移動(dòng)范圍進(jìn)行測(cè)量的方法。 目前能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)精度位移測(cè)量的方法主要有電學(xué)測(cè)量法、掃描顯微鏡法以及光學(xué)測(cè)量法。納米級(jí)精度位移測(cè)量電學(xué)測(cè)量法掃描顯微鏡法光學(xué)測(cè)量法請(qǐng)?jiān)诖颂砑诱牟⒏鶕?jù)需要調(diào)整字體大小，建議采用1.3倍行距和兩端對(duì)齊方式。1.應(yīng)用背景與需求情況請(qǐng)?jiān)诖颂砑诱牟⒏鶕?jù)需要調(diào)整字體

2、大小，建議采用1.3倍行距和兩端對(duì)齊方式。請(qǐng)?jiān)诖颂砑诱牟⒏鶕?jù)需要調(diào)整字體大小，建議采用1.3倍行距和兩端對(duì)齊方式。11 段小艷, & 任冬梅. (2013). 激光干涉法微位移測(cè)量技術(shù)綜述. 計(jì)測(cè)技術(shù), 32(6), 1-5. CONTENTS2工作原理及數(shù)學(xué)分析1應(yīng)用背景與需求情況3實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方案4重要參數(shù)指標(biāo)5方案的優(yōu)缺點(diǎn)分析2.工作原理及數(shù)學(xué)分析邁克爾遜干涉儀2.工作原理及數(shù)學(xué)分析CONTENTS1應(yīng)用背景與需求情況2工作原理及數(shù)學(xué)分析4重要參數(shù)指標(biāo)5方案的優(yōu)缺點(diǎn)分析3實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方案CONTENTS1應(yīng)用背景與需求情況2工作原理及數(shù)學(xué)分析3實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方案5方案的優(yōu)缺點(diǎn)分析4重要參數(shù)指

3、標(biāo)3.實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方案2 Zhen, S., Chen, B., Yuan, L., Li, M., Liang, J., & Yu, B. (2010). A novel interferometric vibration measurement sensor with quadrature detection based on 1/8 wave plate. Optics & Laser Technology, 42(2), 362-365.3.實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方案3 胡紅波, 于梅. 零差激光干涉儀正交相位誤差的分析J. 光電工程, 2012, 12期(12):55-62. DOI:

4、doi:10.3969/j.issn.1003-501X.2012.12.010.4.重要參數(shù)指標(biāo)輸入：I/Q激光信號(hào)波長(zhǎng) 1550nm線寬小于 2kHzPZT振動(dòng)頻率1kHz帶通濾波器6002500Hz 精度0.3nm不確定度0.01nmCONTENTS1應(yīng)用背景與需求情況2工作原理及數(shù)學(xué)分析4重要參數(shù)指標(biāo)3實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方案5方案的優(yōu)缺點(diǎn)分析5.方案的優(yōu)缺點(diǎn)分析優(yōu)點(diǎn)：采用簡(jiǎn)單的光學(xué)構(gòu)造設(shè)置來產(chǎn)生I / Q信號(hào)，實(shí)驗(yàn)裝置便于調(diào)節(jié)和控制； 反正切算法原理簡(jiǎn)單，解調(diào)信號(hào)受到激光功率波動(dòng)的影響較少。缺點(diǎn)： 光電接收器后的前置放大器只能用直流放大器，對(duì)激光器的頻率穩(wěn)定度和測(cè)量環(huán)境( 溫度、振動(dòng)等) 要求很高，測(cè)量時(shí)不允許干涉儀兩臂的光強(qiáng)有較大變化。謝謝聆